[實用新型]一種太陽能電池激光劃刻線的缺陷檢測系統有效
| 申請號: | 201721178307.6 | 申請日: | 2017-09-14 |
| 公開(公告)號: | CN207441662U | 公開(公告)日: | 2018-06-01 |
| 發明(設計)人: | 孫朋超;莫品光;劉杰鵬;朱家寬;高錦龍;鐘華良;蔣沈澤 | 申請(專利權)人: | 旭科新能源股份有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/66 | 分類號: | H01L21/66;G01N21/88 |
| 代理公司: | 杭州九洲專利事務所有限公司 33101 | 代理人: | 翁霽明 |
| 地址: | 314031 浙江省嘉興市秀洲*** | 國省代碼: | 浙江;33 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 太陽能電池 劃刻 激光 缺陷檢測系統 數據處理單元 檢測裝置 送料裝置 檢測 數字圖像處理技術 預處理 數據輸出單元 數據輸出檢測 圖像采集單元 圖像處理單元 圖像 抓取 數據庫對比 標記裝置 掃描圖像 圖像采集 圖像處理 樣品圖像 照明單元 雜散光 拼接 去除 輸運 捕獲 采集 補充 | ||
一種太陽能電池激光劃刻線的缺陷檢測系統,包括:送料裝置、檢測裝置、標記裝置,其中:送料裝置用于輸運定位待檢測太陽能電池激光劃刻線樣品;檢測裝置用于抓取捕獲并處理待檢測太陽能電池激光劃刻線樣品;一用于采集待檢測太陽能電池激光劃刻線樣品圖像的圖像采集單元;一用于圖像采集時補充亮度、提高圖像清晰度及識別精度的照明單元;所述的圖像處理單元將獲取的掃描圖像進行拼接并進行預處理,去除雜散光或其他雜點的影響;一數據處理單元通過數字圖像處理技術比較已經完成圖像處理的P1/P2/P3線的圖像,計算出每條線的位置信息,與數據庫對比,判斷3條線的趨勢;一數據輸出單元用于根據數據處理單元給出的數據輸出檢測結果。
技術領域
本實用新型涉及的是一種太陽能電池激光劃線的缺陷檢測系統,主要應用于基于CIGS、CZTS、CdTe等的薄膜太陽能電池組件,屬于太陽能電池激光劃刻線的缺陷檢測技術領域。
背景技術
通常,太陽能電池組件,諸如薄膜太陽能電池組件是通過使用機械/激光劃刻單片互連的電池形成。如圖1、2所示,為現有技術中用于CIGS太陽能電池的常規劃刻工藝,總共存在三條劃線,即P1、P2和P3線;由于浪費了太陽能輻射,所以P1到P3線的區域被稱為死區;如果對P2和P3線機械地劃線,則整個死區通常約為0.2-0.3mm;如果通過使用全激光劃刻技術對它們進行劃線,則整個死區可以減小到0.2mm(0.14-0.2mm)以內。
然而激光劃刻中除了需要死區面積小之外,更重要的一點是保證三條劃刻線之間的相互平行或者不交叉。太陽能電池在生產過程中,由于劃刻線產生形變會造成線條交叉,另一方面,由于工藝或者其他硬件缺陷,部分劃刻線可能存在漏線斷線等缺陷,一旦劃刻線交叉或者存在漏線斷線等缺陷就會造成電池組件效率降低、甚至整片組件報廢;故在組件封裝之前需要檢查劃刻線的缺陷。
傳統流水線上人工肉眼檢測效率慢,且誤檢率高,稍不注意就導致將不良品流入到下一工序或直接到達客戶手中,給下一工序的加工人員帶來相當大的工作量,有可能會導致比較大的返工費用,工作效率也無法提升。
發明內容
本實用新型的目的在于克服現有技術存在的不足,而提供的一種系統組成合理、簡單,效率高,能夠快速準確的識別和判斷劃刻線的情況,基于此可以進行下一步組件封裝的太陽能電池激光劃刻線的缺陷檢測系統。
本實用新型的目的是通過如下技術方案來完成的,一種太陽能電池激光劃刻線的缺陷檢測系統,所述的缺陷檢測系統包括:送料裝置、檢測裝置、標記裝置,其中:
所述的送料裝置用于輸運定位待檢測太陽能電池激光劃刻線樣品;包含輸送單元和定位單元,所述的輸送單元用于輸運和卸載待檢測太陽能電池激光劃刻線樣品;所述的定位單元用于跟蹤定位待檢測太陽能電池激光劃刻線樣品的位置;
所述的檢測裝置用于抓取捕獲并處理待檢測太陽能電池激光劃刻線樣品;包括:一用于固定待檢測太陽能電池激光劃刻線樣品、減少抖動造成的識別誤差的固定單元;一用于采集待檢測太陽能電池激光劃刻線樣品圖像的圖像采集單元;一用于圖像采集時補充亮度、提高圖像清晰度及識別精度的照明單元;所述的圖像處理單元將獲取的掃描圖像進行拼接并進行預處理,去除雜散光或其他雜點的影響;一數據處理單元通過數字圖像處理技術比較已經完成圖像處理的P1/P2/P3線的圖像,計算出每條線的位置信息,與數據庫對比,判斷3條線的趨勢;一數據輸出單元用于根據數據處理單元給出的數據輸出檢測結果。
所述的標記裝置用于根據所述處理結果在所述位置進行標記;它包含有打標單元,且打標單元與檢測裝置固定在一起。
作為優選:所述的缺陷檢測系統還包含有由X軸單元及Y軸運動單元構成的運動裝置,所述的檢測裝置及標記裝置被固定于X軸單元的X軸上,且可沿X軸方向運動;所述的檢測裝置及標記裝置在X-Y方向的平移運動是通過X-Y軸的平移來保證;
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





