[實(shí)用新型]一種太陽(yáng)能電池激光劃刻線的缺陷檢測(cè)系統(tǒng)有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201721178307.6 | 申請(qǐng)日: | 2017-09-14 |
| 公開(kāi)(公告)號(hào): | CN207441662U | 公開(kāi)(公告)日: | 2018-06-01 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 孫朋超;莫品光;劉杰鵬;朱家寬;高錦龍;鐘華良;蔣沈澤 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 旭科新能源股份有限公司 |
| 主分類號(hào): | H01L21/66 | 分類號(hào): | H01L21/66;G01N21/88 |
| 代理公司: | 杭州九洲專利事務(wù)所有限公司 33101 | 代理人: | 翁霽明 |
| 地址: | 314031 浙江省嘉興市秀洲*** | 國(guó)省代碼: | 浙江;33 |
| 權(quán)利要求書(shū): | 查看更多 | 說(shuō)明書(shū): | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 太陽(yáng)能電池 劃刻 激光 缺陷檢測(cè)系統(tǒng) 數(shù)據(jù)處理單元 檢測(cè)裝置 送料裝置 檢測(cè) 數(shù)字圖像處理技術(shù) 預(yù)處理 數(shù)據(jù)輸出單元 數(shù)據(jù)輸出檢測(cè) 圖像采集單元 圖像處理單元 圖像 抓取 數(shù)據(jù)庫(kù)對(duì)比 標(biāo)記裝置 掃描圖像 圖像采集 圖像處理 樣品圖像 照明單元 雜散光 拼接 去除 輸運(yùn) 捕獲 采集 補(bǔ)充 | ||
1.一種太陽(yáng)能電池激光劃刻線的缺陷檢測(cè)系統(tǒng),所述的缺陷檢測(cè)系統(tǒng)包括:送料裝置、檢測(cè)裝置、標(biāo)記裝置,其特征在于:
所述的送料裝置用于輸運(yùn)定位待檢測(cè)太陽(yáng)能電池激光劃刻線樣品;包含輸送單元和定位單元,所述的輸送單元用于輸運(yùn)和卸載待檢測(cè)太陽(yáng)能電池激光劃刻線樣品;所述的定位單元用于跟蹤定位待檢測(cè)太陽(yáng)能電池激光劃刻線樣品的位置;
所述的檢測(cè)裝置用于抓取捕獲并處理待檢測(cè)太陽(yáng)能電池激光劃刻線樣品;包括:一用于固定待檢測(cè)太陽(yáng)能電池激光劃刻線樣品、減少抖動(dòng)造成的識(shí)別誤差的固定單元;一用于采集待檢測(cè)太陽(yáng)能電池激光劃刻線樣品圖像的圖像采集單元;一用于圖像采集時(shí)補(bǔ)充亮度、提高圖像清晰度及識(shí)別精度的照明單元;一圖像處理單元將獲取的掃描圖像進(jìn)行拼接并進(jìn)行預(yù)處理,去除雜散光或其他雜點(diǎn)的影響;一數(shù)據(jù)處理單元通過(guò)數(shù)字圖像處理技術(shù)比較已經(jīng)完成圖像處理的P1/P2/P3線的圖像,計(jì)算出每條線的位置信息,與數(shù)據(jù)庫(kù)對(duì)比,判斷3條線的趨勢(shì);一數(shù)據(jù)輸出單元用于根據(jù)數(shù)據(jù)處理單元給出的數(shù)據(jù)輸出檢測(cè)結(jié)果;
所述的標(biāo)記裝置用于根據(jù)所述處理結(jié)果在所述位置進(jìn)行標(biāo)記;它包含有打標(biāo)單元,且打標(biāo)單元與檢測(cè)裝置固定在一起。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的太陽(yáng)能電池激光劃刻線的缺陷檢測(cè)系統(tǒng),其特征在于所述的缺陷檢測(cè)系統(tǒng)還包含有由X軸單元及Y軸運(yùn)動(dòng)單元構(gòu)成的運(yùn)動(dòng)裝置,所述的檢測(cè)裝置及標(biāo)記裝置被固定于X軸單元的X軸上,且可沿X軸方向運(yùn)動(dòng);所述的檢測(cè)裝置及標(biāo)記裝置在X-Y方向的平移運(yùn)動(dòng)是通過(guò)X-Y軸的平移來(lái)保證;
待檢測(cè)太陽(yáng)能電池激光劃刻線樣品進(jìn)入檢測(cè)系統(tǒng)先由固定單元進(jìn)行固定,然后由圖像采集單元進(jìn)行拍照錄取圖像;所述的圖像采集單元由面陣相機(jī)及相機(jī)鏡頭組成;圖像采集單元錄取的圖像會(huì)輸入至電腦端進(jìn)行圖像處理、數(shù)據(jù)處理及數(shù)據(jù)輸出。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的太陽(yáng)能電池激光劃刻線的缺陷檢測(cè)系統(tǒng),其特征在于所述圖像采集單元的面陣相機(jī)、相機(jī)鏡頭與LED光源及激光打標(biāo)裝置均固定在同一塊掛板上,且掛板固定在一線性導(dǎo)軌X軸上;線性導(dǎo)軌X軸在y軸方向的移動(dòng)是通過(guò)線性導(dǎo)軌Y軸完成,從而保證面陣相機(jī)及激光打標(biāo)裝置在X-Y方向的平移;所述的檢測(cè)裝置和標(biāo)記裝置配置有將檢測(cè)裝置及標(biāo)記裝置罩住、用于遮擋外來(lái)光影響的防塵罩;所述的固定單元是一種吸附面板或平壓機(jī)構(gòu)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或2或3所述的太陽(yáng)能電池激光劃刻線的缺陷檢測(cè)系統(tǒng),其特征在于所述的圖像采集單元為一CCD系統(tǒng),包含高速面陣相機(jī)或線掃相機(jī)及鏡頭;所述照明單元為高亮度LED光源;打標(biāo)單元是一種激光打標(biāo)裝置或噴碼打標(biāo)裝置。
該專利技術(shù)資料僅供研究查看技術(shù)是否侵權(quán)等信息,商用須獲得專利權(quán)人授權(quán)。該專利全部權(quán)利屬于旭科新能源股份有限公司,未經(jīng)旭科新能源股份有限公司許可,擅自商用是侵權(quán)行為。如果您想購(gòu)買此專利、獲得商業(yè)授權(quán)和技術(shù)合作,請(qǐng)聯(lián)系【客服】
本文鏈接:http://www.szxzyx.cn/pat/books/201721178307.6/1.html,轉(zhuǎn)載請(qǐng)聲明來(lái)源鉆瓜專利網(wǎng)。
- 上一篇:一種半導(dǎo)體制造用共晶機(jī)
- 下一篇:一種二極管酸洗裝置
- 同類專利
- 專利分類
H01L 半導(dǎo)體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個(gè)器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過(guò)程中的測(cè)試或測(cè)量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過(guò)程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過(guò)程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個(gè)固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





