[實用新型]一種晶圓檢測設備的擴晶環(huán)轉送裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201721170192.6
• 申請日: 2017-09-13
• 公開（公告）號: CN207282471U
• 公開（公告）日: 2018-04-27
• 發(fā)明（設計）人: 劉振輝;韋日文;王勝利;楊波
• 申請（專利權）人: 深圳市矽電半導體設備有限公司
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677;H01L21/683
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種晶圓檢測設備的擴晶環(huán)轉送裝置，設于用于承載擴晶環(huán)的料盒(2)和對擴晶環(huán)上的晶圓進行檢測的載片臺組件(1)之間，其特征在于，包括：

用于將所述料盒(2)內(nèi)承載有待檢測晶圓的擴晶環(huán)夾送至中轉工位(3)上、并將所述中轉工位(3)上晶圓檢測完成的擴晶環(huán)返送至所述料盒(2)內(nèi)的第一機械手組件(4)；以及，

用于將所述中轉工位(3)上承載有待檢測晶圓的擴晶環(huán)輸送至所述載片臺組件(1)上進行檢測、并將所述載片臺組件(1)上晶圓檢測完成的擴晶環(huán)返送至所述中轉工位(3)上的第二機械手組件(5)，且所述第二機械手組件(5)與所述第一機械手組件(4)錯位布置。

2.根據(jù)權利要求1所述的一種晶圓檢測設備的擴晶環(huán)轉送裝置，其特征在于，所述第一機械手組件(4)包括：

第一底座(41)；

承載于所述第一底座(41)上的第一導軌(42)；

承載于所述第一底座(41)上的第一電機(43)；

由所述第一電機(43)驅動在兩個第一導向輪(44)之間做循環(huán)往復運動的第一同步帶(45)；

與所述第一同步帶(45)固定連接且隨所述第一同步帶(45)的運動在所述第一導軌(42)上做循環(huán)往復運動的第一機械手臂(46)；以及，

與所述第一機械手臂(46)固定連接、可伸入所述料盒(2)的腔體內(nèi)并將所述料盒(2)內(nèi)的擴晶環(huán)帶出或置入所述料盒(2)的載物部(47)。

3.根據(jù)權利要求2所述的一種晶圓檢測設備的擴晶環(huán)轉送裝置，其特征在于，所述載物部(47)上設有可伸入擴晶環(huán)的內(nèi)圈對擴晶環(huán)進行定位的定位環(huán)(48)。

4.根據(jù)權利要求2所述的一種晶圓檢測設備的擴晶環(huán)轉送裝置，其特征在于，所述第一底座(41)對應于所述第一導軌(42)兩端的位置上設有第一行程開關(6)，所述第一機械手臂(46)上設有隨所述第一機械手臂(46)的運動沿所述第一導軌(42)方向運動的、且當其擋在所述第一行程開關(6)的兩片開關片之間時、可使所述第一行程開關(6)向控制器發(fā)送感應信號以指示控制器控制所述第一電機(43)停止運行的第一擋片(7)。

5.根據(jù)權利要求1所述的一種晶圓檢測設備的擴晶環(huán)轉送裝置，其特征在于，所述第二機械手組件(5)包括：

第二底座(51)；

承載于所述第二底座(51)上的第二導軌(52)；

由一驅動組件(53)驅動在所述第二導軌(52)上滑移的滑移組件(54)；

固定裝配于所述滑移組件(54)上隨所述滑移組件(54)沿所述第二導軌(52)方向運動的升降氣缸(55)；

由所述升降氣缸(55)驅動相對所述滑移組件(54)豎向滑移的、用于吸附或者釋放擴晶環(huán)的第二機械手臂(56)，以及，

設于所述第二機械手臂(56)上、與真空氣源連通的、用于吸附擴晶環(huán)的若干個吸盤(57)。

6.根據(jù)權利要求5所述的一種晶圓檢測設備的擴晶環(huán)轉送裝置，其特征在于，所述驅動組件(53)包括：

第二電機；

由所述第二電機驅動在兩個第二導向輪(531)之間做循環(huán)往復運動的第二同步帶(532)；以及，

與所述第二同步帶(532)固定連接、并隨所述第二同步帶(532)的運動帶動所述滑移組件(54)在所述第二導軌(52)上滑移的同步帶固定塊(533)。

7.根據(jù)權利要求6所述的一種晶圓檢測設備的擴晶環(huán)轉送裝置，其特征在于，所述第二導軌(52)兩端的位置上設有第二行程開關(8)，所述同步帶固定塊(533)上設有隨所述同步帶固定塊(533)的運動沿所述第二導軌(52)方向運動的、且當其擋在所述第二行程開關(8)的兩片開關片之間時、可使所述第二行程開關(8)向控制器發(fā)送感應信號以指示控制器控制所述第二電機停止運行的第二擋片(9)。

8.根據(jù)權利要求5所述的一種晶圓檢測設備的擴晶環(huán)轉送裝置，其特征在于，所述滑移組件(54)上設有第三行程開關(10)，所述第二機械手臂(56)上固定有隨所述第二機械手臂(56)的運動沿所述升降氣缸(55)伸縮桿軸向方向運動的、且當其擋在所述第三行程開關(10)的兩片開關片之間時、可使所述第三行程開關(10)向控制器發(fā)送感應信號以指示控制器控制所述升降氣缸(55)停止運行的第三擋片(11)。