[實用新型]運載裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201721162687.4
• 申請日: 2017-09-12
• 公開（公告）號: CN207233713U
• 公開（公告）日: 2018-04-13
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 黃世欽;陳昶瑋
• 申請（專利權(quán)）人: 中勤實業(yè)股份有限公司
• 主分類號: H01L21/673
• 分類號: H01L21/673
• 代理公司: 北京同立鈞成知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司11205
• 代理人: 馬雯雯,臧建明

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及一種運載裝置，尤其涉及一種用以運載片狀物的運載裝置。

背景技術(shù)

一般易碎型片狀物，例如半導(dǎo)體或光電產(chǎn)業(yè)所使用的晶圓、光罩、玻璃基板等，若要由甲地運送至乙地，必須避免片狀物受到碰撞，否則容易產(chǎn)生碎裂。而且像是晶圓、光罩等容易因為微粒污染而影響品質(zhì)的物品，還需要避免在運送過程中附著灰塵，因此包裝該等物品通常不能使用紙類或泡棉類等容易產(chǎn)生細(xì)屑的緩沖材料。

以晶圓為例說明，目前業(yè)界常見用以裝載多片晶圓的前開式晶圓容器(Front Opening Unified Pod,FOUP)通常包含一盒體及一可重置地蓋合于盒體的蓋體，兩者共同形成一容置空間，并在盒體內(nèi)設(shè)有承載組件用以承載多片晶圓，其中蓋體的內(nèi)側(cè)設(shè)有固持組件，用以固持盒體內(nèi)的晶圓。若晶圓為圓形，則固持組件可內(nèi)嵌于蓋體內(nèi)側(cè)板的凹陷部內(nèi)而不需凸露出凹陷部之外，只要晶圓的凸弧狀邊緣可伸入凹陷部內(nèi)至固持組件處就可被固持組件固持。然而，若欲承裝的片狀物為方形，如方形的硅晶片等，則會因為方形片狀物不具有可伸至內(nèi)嵌于蓋體內(nèi)側(cè)板凹陷部內(nèi)的固持組件處的凸弧狀邊緣，導(dǎo)致固持組件無法對該方形片狀物進行固持。

實用新型內(nèi)容

本實用新型提供一種運載裝置，其蓋體的固持組件可有效對盒體內(nèi)的片狀物進行固持。

本實用新型的運載裝置適于容納至少一片狀物且包括一盒體及一蓋體。盒體具有一開口，片狀物適于通過開口而進入盒體的內(nèi)部。蓋體具有相對的一外側(cè)板及一內(nèi)側(cè)板，且外側(cè)板及內(nèi)側(cè)板間于該蓋體覆蓋該開口時系呈使外側(cè)氣體無法通過該蓋體而進入該盒體內(nèi)。蓋體適于覆蓋開口而使內(nèi)側(cè)板朝向盒體的內(nèi)部。蓋體在內(nèi)側(cè)板朝向盒體內(nèi)部的一側(cè)具有一固持組件，蓋體具有一閂鎖機構(gòu)，閂鎖機構(gòu)包括一操作部，操作部適于由蓋體的外側(cè)進行操作，且操作部連接于固持組件。當(dāng)蓋體覆蓋開口時，操作部適于旋轉(zhuǎn)而使閂鎖機構(gòu)成為干涉于盒體的一閂鎖狀態(tài)，且適于旋轉(zhuǎn)而使閂鎖機構(gòu)成為分離于盒體的一解鎖狀態(tài)。當(dāng)操作部旋轉(zhuǎn)而使閂鎖機構(gòu)成為閂鎖狀態(tài)時，操作部帶動固持組件從蓋體的內(nèi)側(cè)板往盒體的內(nèi)部移動或凸伸而固持位于盒體內(nèi)的片狀物。當(dāng)操作部旋轉(zhuǎn)而使閂鎖機構(gòu)成為解鎖狀態(tài)時，通過操作部的帶動或一復(fù)位組件的驅(qū)動而使固持組件往蓋體的內(nèi)側(cè)板移動或收縮而收合于蓋體。

在本實用新型的一實施例中，上述的蓋體具有至少一推動件，推動件穿過內(nèi)側(cè)板而連接固持組件與操作部，操作部適于旋轉(zhuǎn)而通過推動件帶動固持組件。

在本實用新型的一實施例中，上述的內(nèi)側(cè)板的至少一側(cè)設(shè)有一密封元件，以使內(nèi)側(cè)板的推動件穿過處的兩側(cè)維持氣密。

在本實用新型的一實施例中，上述的推動件包括一桿部及一推動部，推動部抵靠于固持組件，桿部穿過內(nèi)側(cè)板而連接推動部與操作部。

在本實用新型的一實施例中，上述的推動部具有一斜面，推動部適于沿一推動方向移動而通過斜面推動固持組件沿一移動方向從蓋體的內(nèi)側(cè)板往盒體的內(nèi)部移動或凸伸，其中推動方向垂直于移動方向，斜面傾斜于推動方向及移動方向。

在本實用新型的一實施例中，上述的蓋體在內(nèi)側(cè)板具有一連動機構(gòu)，連動機構(gòu)包括設(shè)于內(nèi)側(cè)板上的至少一連動桿，連動桿具有一樞接部，樞接部樞接于蓋體的內(nèi)側(cè)板，且連動桿一端連接于固持組件，操作部適于旋轉(zhuǎn)并通過第二端帶動連動桿樞轉(zhuǎn)，進而驅(qū)動固持組件動作。

在本實用新型的一實施例中，上述的蓋體具有一連動機構(gòu)，連動機構(gòu)包括設(shè)于內(nèi)側(cè)板上的至少一連動桿，連動桿具有一樞接部，樞接部樞接于蓋體的內(nèi)側(cè)板，且連動桿一端連接于固持組件，另一端則與推動件連接，操作部適于旋轉(zhuǎn)并帶動推動件推動連動桿樞轉(zhuǎn)，進而驅(qū)動固持組件動作。

在本實用新型的一實施例中，上述的固持組件適于沿一移動方向從蓋體的內(nèi)側(cè)板往盒體的內(nèi)部移動或凸伸，連動桿沿一樞轉(zhuǎn)軸線樞接于蓋體的內(nèi)側(cè)板，樞轉(zhuǎn)軸線垂直于移動方向。

在本實用新型的一實施例中，上述的操作部具有一斜面且適于旋轉(zhuǎn)而通過斜面推動推動件，斜面傾斜于固持組件移動或凸伸的方向。

在本實用新型的一實施例中，上述的閂鎖機構(gòu)包括至少一插銷，操作部連接插銷，當(dāng)蓋體覆蓋開口時，操作部適于旋轉(zhuǎn)而帶動插銷從蓋體的外緣突伸出以干涉于盒體，且適于旋轉(zhuǎn)而帶動插銷移至蓋體內(nèi)以分離于盒體。

基于上述，在本實用新型的運載結(jié)構(gòu)中，蓋體上的閂鎖機構(gòu)除了用以使蓋體閂鎖或解鎖于盒體，更可帶動蓋體的內(nèi)側(cè)板的固持組件往盒體的內(nèi)部移動或凸伸。藉此，固持組件可有效地對盒體內(nèi)的片狀物進行固持。

為讓本實用新型的上述特征和優(yōu)點能更明顯易懂，下文特舉實施例，并配合附圖作詳細(xì)說明如下。

附圖說明