[實用新型]運載裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201721162687.4 | 申請日: | 2017-09-12 |
| 公開(公告)號: | CN207233713U | 公開(公告)日: | 2018-04-13 |
| 發(fā)明(設(shè)計)人: | 黃世欽;陳昶瑋 | 申請(專利權(quán))人: | 中勤實業(yè)股份有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/673 | 分類號: | H01L21/673 |
| 代理公司: | 北京同立鈞成知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司11205 | 代理人: | 馬雯雯,臧建明 |
| 地址: | 中國臺灣桃*** | 國省代碼: | 臺灣;71 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 運載 裝置 | ||
1.一種運載裝置,適于容納至少一片狀物且包括:
盒體,具有開口,其中所述片狀物適于通過所述開口而進(jìn)入所述盒體的內(nèi)部;以及
蓋體,具有相對的外側(cè)板及內(nèi)側(cè)板,并適于覆蓋所述開口而使所述內(nèi)側(cè)板朝向所述盒體的內(nèi)部,且所述外側(cè)板及所述內(nèi)側(cè)板間于所述蓋體覆蓋所述開口時系呈使外側(cè)氣體無法通過所述蓋體而進(jìn)入所述盒體內(nèi)的結(jié)構(gòu),其中所述蓋體在所述內(nèi)側(cè)板朝向所述盒體內(nèi)部的一側(cè)具有固持組件,所述蓋體具有閂鎖機(jī)構(gòu),所述閂鎖機(jī)構(gòu)包括操作部,所述操作部適于由所述蓋體的外側(cè)進(jìn)行操作,且所述操作部連接于所述固持組件,
其中當(dāng)所述蓋體覆蓋所述開口時,所述操作部適于旋轉(zhuǎn)而使所述閂鎖機(jī)構(gòu)成為干涉于所述盒體的閂鎖狀態(tài),且適于旋轉(zhuǎn)而使所述閂鎖機(jī)構(gòu)成為分離于所述盒體的解鎖狀態(tài),
當(dāng)所述操作部旋轉(zhuǎn)而使所述閂鎖機(jī)構(gòu)成為所述閂鎖狀態(tài)時,所述操作部帶動所述固持組件從所述蓋體的所述內(nèi)側(cè)板往所述盒體的內(nèi)部移動或凸伸而固持位于所述盒體內(nèi)的所述片狀物,當(dāng)所述操作部旋轉(zhuǎn)而使所述閂鎖機(jī)構(gòu)成為所述解鎖狀態(tài)時,通過所述操作部的帶動或復(fù)位組件的驅(qū)動而使所述固持組件往所述蓋體的所述內(nèi)側(cè)板移動或收縮而收合于所述蓋體。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的運載裝置,其中所述蓋體具有至少一推動件,所述推動件穿過所述蓋體的所述內(nèi)側(cè)板而連接所述固持組件與所述操作部,所述操作部適于旋轉(zhuǎn)而通過所述推動件帶動所述固持組件。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的運載裝置,其中所述內(nèi)側(cè)板的至少一側(cè)設(shè)有密封元件,以使所述內(nèi)側(cè)板的所述推動件穿過處的兩側(cè)維持氣密。
4.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的運載裝置,其中所述推動件包括桿部及推動部,所述推動部抵靠于所述固持組件,所述桿部穿過所述內(nèi)側(cè)板而連接所述推動部與所述操作部。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的運載裝置,其中所述推動部具有斜面,所述推動部適于沿推動方向移動而通過所述斜面推動所述固持組件沿移動方向從所述蓋體的所述內(nèi)側(cè)板往所述盒體的內(nèi)部移動或凸伸,其中所述推動方向垂直于所述移動方向,所述斜面傾斜于所述推動方向及所述移動方向。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的運載裝置,其中所述蓋體具有連動機(jī)構(gòu),所述連動機(jī)構(gòu)包括設(shè)于所述內(nèi)側(cè)板上的至少一連動桿,所述連動桿具有樞接部,所述樞接部樞接于所述蓋體的所述內(nèi)側(cè)板,且所述連動桿一端連接于所述固持組件,所述操作部適于旋轉(zhuǎn)并帶動所述連動桿樞轉(zhuǎn),進(jìn)而驅(qū)動所述固持組件動作。
7.根據(jù)權(quán)利要求2所述的運載裝置,其中所述蓋體具有連動機(jī)構(gòu),所述連動機(jī)構(gòu)包括設(shè)于所述內(nèi)側(cè)板上的至少一連動桿,所述連動桿具有樞接部,所述樞接部樞接于所述蓋體的所述內(nèi)側(cè)板,且所述連動桿一端連接于所述固持組件,另一端則與所述推動件連接,所述操作部適于旋轉(zhuǎn)并帶動所述推動件推動所述連動桿樞轉(zhuǎn),進(jìn)而驅(qū)動所述固持組件動作。
8.根據(jù)權(quán)利要求6或7所述的運載裝置,其中所述固持組件適于沿移動方向從所述蓋體的所述內(nèi)側(cè)板往所述盒體的內(nèi)部移動或凸伸,所述連動桿沿樞轉(zhuǎn)軸線樞接于所述蓋體的所述內(nèi)側(cè)板,所述樞轉(zhuǎn)軸線垂直于所述移動方向。
9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的運載裝置,其中所述操作部具有斜面且適于旋轉(zhuǎn)而通過所述斜面推動所述推動件,所述斜面傾斜于所述固持組件移動或凸伸的方向。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的運載裝置,其中所述閂鎖機(jī)構(gòu)包括至少一插銷,所述操作部連接所述插銷,當(dāng)所述蓋體覆蓋所述開口時,所述操作部適于旋轉(zhuǎn)而帶動所述插銷從所述蓋體的外緣突伸出以干涉于所述盒體,且適于旋轉(zhuǎn)而帶動所述插銷移至所述蓋體內(nèi)以分離于所述盒體。
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H01L 半導(dǎo)體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





