[實用新型]集電裝置及半導體設備

有效

• 申請號: 201721149829.3
• 申請日: 2017-09-08
• 公開（公告）號: CN207265018U
• 公開（公告）日: 2018-04-20
• 發明（設計）人: 趙旭良
• 申請（專利權）人: 上海新昇半導體科技有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/687
• 代理公司: 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙)31237
• 代理人: 羅磊

1.一種集電裝置，其特征在于，所述集電裝置用于可轉動的工作臺，所述集電裝置包括固定件、連接件和接觸件，所述固定件將所述集電裝置固定在所述工作臺上，所述連接件用于連接所述固定件與所述接觸件，所述接觸件為導輪，所述接觸件連接至導電端。

2.如權利要求1所述的集電裝置，其特征在于，所述連接件為彈性件。

3.如權利要求2所述的集電裝置，其特征在于，所述彈性件包括彈片和/或彈簧。

4.如權利要求1所述的集電裝置，其特征在于，所述連接件和所述接觸件的數量均為多個。

5.如權利要求4所述的集電裝置，其特征在于，多個所述接觸件對稱分布。

6.如權利要求1-5中任意一項所述的集電裝置，其特征在于，所述固定件包括螺絲，通過所述螺絲將所述集電裝置固定在所述工作臺上。

7.一種半導體設備，其特征在于，所述半導體設備包括工作臺、導電端以及如權利要求1-6中任意一項所述的集電裝置，所述工作臺為可轉動的工作臺，所述工作臺通過所述集電裝置連接所述導電端。

8.如權利要求7所述的半導體設備，其特征在于，所述導電端包括一凹槽，所述導輪設置在所述凹槽內。

9.如權利要求7所述的半導體設備，其特征在于，所述半導體設備還包括卡盤，所述卡盤設置在所述工作臺上。

10.如權利要求7-9中任意一項所述的半導體設備，其特征在于，所述集電裝置設置在所述工作臺轉動的軸心上。