[實用新型]一種主動抑制測試光路抖動的裝置有效
| 申請號： | 201721148344.2 | 申請日： | 2017-09-08 |
| 公開（公告）號： | CN207528422U | 公開（公告）日： | 2018-06-22 |
| 發明（設計）人： | 賈建軍;張子玄;吳金才;張亮;強佳 | 申請（專利權）人： | 中國科學院上海技術物理研究所 |
| 主分類號： | G01M11/00 | 分類號： | G01M11/00;G01M11/02 |
| 代理公司： | 上海滬慧律師事務所 31311 | 代理人： | 李秀蘭 |
| 地址： | 200083 *** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 測試光路 抖動 分光器 信標光 主動抑制 反鏡 壓電 控制計算機 測試光 入光端 相機 抖動補償 抖動裝置 有效抑制 質心算法 光斑 耦合 檢測端 量控制 檢測 采集 傳輸 發射 | ||
【權利要求書】：
1.一種主動抑制測試光路抖動的裝置，包括控制計算機(1)、信標光源(2)、第一分光鏡(3)、壓電陶瓷快反鏡(4)、抖動檢測相機(5)和第二分光鏡(6)，其特征在于：
所述壓電陶瓷快反鏡(4)、抖動檢測相機(5)和第二分光鏡(6)安裝于測試光路入射處，測時光路測試光依次經過第二分光鏡(6)和壓電陶瓷快反鏡(4)進入測試光路，再經過第一分光鏡(3)到的測試光路出光端；信標光和測試光路光源采用分光鏡耦合和分離；信標光源(2)、第一分光鏡(3)安裝于測試光路出光處；
所用信標光源(2)的出射光經過第一分光鏡(3)耦合進測試光路，從測試光路的出光端沿測試光路的逆向傳播到測試光路入光端，依次經過壓電陶瓷快反鏡(4)、第二分光鏡(6)被抖動檢測相機(5)捕獲。
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