[實用新型]一種硅電池片濕法刻蝕排風裝置及包含該裝置的濕法刻蝕機

有效

• 申請號: 201721147255.6
• 申請日: 2017-09-08
• 公開（公告）號: CN207183305U
• 公開（公告）日: 2018-04-03
• 發明（設計）人: 桑和偉;許濤;余志;任飛飛;紀羅文
• 申請（專利權）人: 安徽越眾光伏科技有限公司
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18;C23F1/08;C23F1/24
• 代理公司: 南京知識律師事務所32207
• 代理人: 蔣海軍

技術領域

本實用新型屬于太陽能電池片生產設備技術領域，更具體地說，涉及一種硅電池片濕法刻蝕排風裝置及包含該裝置的濕法刻蝕機。

背景技術

近年來，太陽能電池片生產技術不斷進步，生產成本不斷降低，轉換效率不斷提高，使光伏發電的應用日益普及并迅猛發展，并逐漸成為電力供應的重要來源。太陽能電池片是一種能量轉換的光電元件，能夠通過光電效應或者光化學效應直接將光能轉化成電能，從而實現光伏發電。硅電池片的生產工藝比較復雜，一般包括以下步驟：切片、制絨、擴散、刻蝕、鍍減反射膜、印刷電極、電極燒結和測試。其中，刻蝕是制備硅太陽能電池片的重要工序，其目的是要去除在擴散工藝中電池片背面形成的磷硅玻璃，刻蝕質量的好壞直接影響電池片的轉換效率。

當前硅片的刻蝕方法主要包括干法刻蝕和濕法刻蝕，其中，現有濕法刻蝕方法的生產過程為：經擴散后的硅太陽能電池片從上料端進入刻蝕槽，利用刻蝕槽內HNO₃、HF的混合液體對硅片的下表面和邊緣進行腐蝕，從而去除硅片邊緣的N型硅，使得硅片的上、下表面相互絕緣。但采用上述濕法刻蝕工藝，在實際生產過程中硅片從刻蝕槽流出時，很容易造成硅片邊緣出現有刻蝕印，導致正面金屬柵線與P型硅接觸，容易造成短路，且刻蝕槽的酸氣易腐蝕硅片表面，使刻蝕前后方阻發生變化，影響硅片的使用性能。因此，現有技術中一方面在進行濕法刻蝕前需在硅片上表面噴淋一層水膜，從而隔絕刻蝕工藝過程對硅片正面PN結的破壞，另一方面在刻蝕機上設置排氣管，從而將刻蝕槽內的酸氣抽離至刻蝕槽外部。

如，中國專利申請號為201220106718.5的申請案公開了一種用于濕刻蝕機的排風裝置，該排風裝置包括槽蓋、觀察窗和槽體，槽蓋設于槽體上，在槽蓋上設有觀察窗，伸縮管下端垂直設于槽蓋的定位孔上，調節閥設于伸縮管的下端。該申請案通過在現有濕刻蝕機的混合槽槽蓋上加裝一個排風裝置，使濕刻蝕機產生的酸性或堿性氣體排放出去，提高了硅片方阻的均勻性，避免了硅片因方阻過大而影響生產效率。又如，中國專利申請號為201410428559.4的申請案公開了一種晶圓邊緣的刻蝕裝置，該申請案在刻蝕裝置反應腔室的側壁上設置有排風單元，該排風單元包括依次連接的管道和真空泵，所述管道與反應腔室的側壁相通，通過排風單元將腐蝕性氣體或揮發性的反應副產物抽離所述反應腔室。

但上述現有刻蝕工藝中，硅片上的水膜容易受到槽內排風波動的影響，從而影響水膜的穩定性與均勻性，同時現有濕法刻蝕槽內的排風風量調節不便，且對操作人員存在腐蝕等安全隱患。

實用新型內容

1.實用新型要解決的技術問題

本實用新型的目的在于克服采用現有硅電池片濕法刻蝕機臺對硅片進行刻蝕時，硅片上的水膜容易受到槽內排風波動的影響，且刻蝕槽內排風調節操作不便、不安全的不足，提供了一種硅電池片濕法刻蝕排風裝置及包含該裝置的濕法刻蝕機。通過使用本實用新型的太陽能電池濕法刻蝕的排風裝置，能安全、快速地對排風量進行調節，從而保證水膜的穩定性和均勻性。

2.技術方案

為達到上述目的，本實用新型提供的技術方案為：

本實用新型的一種硅電池片濕法刻蝕排風裝置，包括設置于刻蝕機側壁的排風孔，上述排風孔所在刻蝕機側壁的外側設有調節板，調節板上加工有與排風孔相對應的通孔，通過移動調節板對排風孔的大小進行調節。

更進一步的，所述排風孔所在刻蝕機側壁上設有滑槽，所述調節板上安裝有調節手柄，該調節手柄包括依次相連的調節部、連接部和固定部，其中固定部與調節板固定相連，所述連接部安裝于滑槽內，該連接部與調節部為螺紋連接，且調節部的直徑大于所述滑槽的寬度。

更進一步的，該裝置還包括調節桿，調節桿上加工有卡槽，所述調節部的兩端對應設有與卡槽相對應的調節耳。

更進一步的，所述的調節桿包括操作手桿以及與操作手桿相連的卡合部，所述的卡槽設于卡合部。

更進一步的，所述的滑槽沿刻蝕機側壁水平或豎直設置。

更進一步的，所述調節部的外表面加工為階梯形，且靠近連接部一端的直徑小于遠離連接部一端的直徑。

更進一步的，該裝置還包括集氣室，所述排風孔與集氣室相連通，且集氣室的頂部設有排氣管。

更進一步的，所述排氣管與抽風機相連，且排氣管上設有壓力計。

本實用新型的一種硅電池片濕法刻蝕機，包括刻蝕槽，刻蝕槽內設有傳送裝置，該刻蝕機設有本發明所述的排風裝置。

3.有益效果

采用本實用新型提供的技術方案，與現有技術相比，具有如下有益效果：