[實用新型]一種硅電池片濕法刻蝕排風裝置及包含該裝置的濕法刻蝕機

有效

• 申請號: 201721147255.6
• 申請日: 2017-09-08
• 公開（公告）號: CN207183305U
• 公開（公告）日: 2018-04-03
• 發明（設計）人: 桑和偉;許濤;余志;任飛飛;紀羅文
• 申請（專利權）人: 安徽越眾光伏科技有限公司
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18;C23F1/08;C23F1/24
• 代理公司: 南京知識律師事務所32207
• 代理人: 蔣海軍

1.一種硅電池片濕法刻蝕排風裝置，包括設置于刻蝕機側壁的排風孔(4)，其特征在于：上述排風孔(4)所在刻蝕機側壁的外側設有調節板(9)，調節板(9)上加工有與排風孔(4)相對應的通孔，通過移動調節板(9)對排風孔(4)的大小進行調節。

2.根據權利要求1所述的一種硅電池片濕法刻蝕排風裝置，其特征在于：所述排風孔(4)所在刻蝕機側壁上設有滑槽(3)，所述調節板(9)上安裝有調節手柄(2)，該調節手柄(2)包括依次相連的調節部(201)、連接部(204)和固定部(202)，其中固定部(202)與調節板(9)固定相連，所述連接部(204)安裝于滑槽(3)內，該連接部(204)與調節部(201)為螺紋連接，且調節部(201)的直徑大于所述滑槽(3)的寬度。

3.根據權利要求2所述的一種硅電池片濕法刻蝕排風裝置，其特征在于：該裝置還包括調節桿(8)，調節桿(8)上加工有卡槽(803)，所述調節部(201)的兩端對應設有與卡槽(803)相對應的調節耳(203)。

4.根據權利要求3所述的一種硅電池片濕法刻蝕排風裝置，其特征在于：所述的調節桿(8)包括操作手桿(801)以及與操作手桿(801)相連的卡合部(802)，所述的卡槽(803)設于卡合部(802)。

5.根據權利要求2-4中任一項所述的一種硅電池片濕法刻蝕排風裝置，其特征在于：所述的滑槽(3)沿刻蝕機側壁水平或豎直設置。

6.根據權利要求2-4中任一項所述的一種硅電池片濕法刻蝕排風裝置，其特征在于：所述調節部(201)的外表面加工為階梯形，且靠近連接部(204)一端的直徑小于遠離連接部(204)一端的直徑。

7.根據權利要求1-4中任一項所述的一種硅電池片濕法刻蝕排風裝置，其特征在于：該裝置還包括集氣室(6)，所述排風孔(4)與集氣室(6)相連通，且集氣室(6)的頂部設有排氣管(7)。

8.根據權利要求7所述的一種硅電池片濕法刻蝕排風裝置，其特征在于：所述排氣管(7)與抽風機(10)相連，且排氣管(7)上設有壓力計。

9.一種硅電池片濕法刻蝕機，包括刻蝕槽(1)，刻蝕槽(1)內設有傳送裝置(5)，其特征在于：該刻蝕機設有如權利要求1-8中任一項所述的排風裝置。