[實(shí)用新型]硅片上片自動(dòng)預(yù)定位裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201721142014.2
• 申請(qǐng)日: 2017-09-06
• 公開（公告）號(hào): CN207165535U
• 公開（公告）日: 2018-03-30
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 董曉清
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 無(wú)錫市江松科技有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/68
• 分類號(hào): H01L21/68;H01L21/677
• 代理公司: 無(wú)錫市匯誠(chéng)永信專利代理事務(wù)所(普通合伙)32260
• 代理人: 張歡勇

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及硅片定位裝置，特別涉及一種用于硅片上片自動(dòng)預(yù)定位裝置，屬于太陽(yáng)能硅片生產(chǎn)自動(dòng)化設(shè)備領(lǐng)域。

背景技術(shù)

為了提高晶體硅太陽(yáng)電池的效率，通常需要減少太陽(yáng)電池表面的反射，還需要對(duì)硅片表面進(jìn)行鈍化處理，以降低表面缺陷對(duì)于少數(shù)載流子的復(fù)合作用。板式PECVD系統(tǒng)即將多片硅片放置在一個(gè)石墨或碳纖維支架上(碳框載板)，放入板式PECVD主工藝機(jī)內(nèi)將SiNx分子沉積到硅片表面，SiNx膜被制備在硅表面上起到鈍化作用，以減少表面對(duì)可見光的反射。

未經(jīng)PECVD工藝處理的硅片需通過吸盤自傳送帶準(zhǔn)確轉(zhuǎn)移并放入碳框載板，以實(shí)現(xiàn)硅片的自動(dòng)上片。而硅片在傳送帶上是否處于正確位置，將極大地影響吸盤能否正確吸住吸盤，并精準(zhǔn)地放入裝入碳框。

實(shí)用新型內(nèi)容

針對(duì)上述現(xiàn)有技術(shù)存在的問題，本申請(qǐng)人進(jìn)行研究及改進(jìn)，提供一種硅片上片自動(dòng)預(yù)定位裝置，該裝置可實(shí)現(xiàn)待吸取硅片的精確穩(wěn)定預(yù)定位，自動(dòng)化程度高，可節(jié)省等待時(shí)間，縮短工藝流程。

為了解決上述問題，本實(shí)用新型采用如下方案：

硅片上片自動(dòng)預(yù)定位裝置，包括定位夾具、升降機(jī)構(gòu)和平移機(jī)構(gòu)，所述定位夾具沿傳送帶兩側(cè)均勻間隔設(shè)置，且相對(duì)于該傳送帶對(duì)稱分布；每個(gè)定位夾具包括托板以及垂直設(shè)置于該托板上的上下邊定位夾塊和左右邊定位夾塊，所述上下邊定位夾塊和左右邊定位夾塊的設(shè)置方向分別與硅片的上下邊及左右邊平行，所述托板、上下邊定位夾塊和左右邊定位夾塊圍成一個(gè)或左右對(duì)稱的一對(duì)定位槽，所述定位槽槽壁均為斜面，用于承載硅片四角；所述升降機(jī)構(gòu)用于控制所述定位夾具相對(duì)于傳送帶做垂直升降動(dòng)作，所述平移機(jī)構(gòu)用于控制所述定位夾具相對(duì)于傳送帶做靠近或遠(yuǎn)離的平移動(dòng)作。

優(yōu)選地，用于同一片硅片四角定位的四個(gè)所述定位槽槽底邊連線形成的正方形邊長(zhǎng)比硅片邊長(zhǎng)短1mm。

優(yōu)選地，所述斜面與槽底面之間的夾角為120°。

優(yōu)選地，所述定位槽斜面連接處開設(shè)有讓位孔，用于容納硅片的四角頂端部分。

優(yōu)選地，所述升降機(jī)構(gòu)包括升降氣缸和升降導(dǎo)軌，所述平移機(jī)構(gòu)包括平移氣缸和平移導(dǎo)軌。更優(yōu)選地，位于傳送帶同側(cè)的所述定位夾具固定于同一升降支撐架上，所述升降支撐架一側(cè)通過所述升降導(dǎo)軌與平移支撐架滑動(dòng)連接，所述平移支撐架通過平移導(dǎo)軌與下方固定座滑動(dòng)連接。更優(yōu)選地，所述升降氣缸設(shè)置于所述平移支撐架上，用以推動(dòng)所述升降支撐架做升降動(dòng)作，所述平移氣缸用以推動(dòng)所述平移支撐架做平移動(dòng)作。

優(yōu)選地，位于預(yù)定位區(qū)域兩末端的所述定位夾具具有一個(gè)定位槽，用于定位硅片的一角，位于中間段的所述定位夾具具有左右對(duì)稱的一對(duì)定位槽，用于定位傳送帶上相鄰硅片的兩角。

進(jìn)一步地，所述裝置還包括到位傳感器和PLC控制器，用于檢測(cè)硅片傳送位置，控制所述升降機(jī)構(gòu)和所述平移機(jī)構(gòu)執(zhí)行相應(yīng)操作。

本實(shí)用新型的技術(shù)效果在于：

本實(shí)用新型定位夾具定位槽具有上下邊和左右邊定位夾塊，分別從上下左右四個(gè)方向固定硅片四角，定位槽采用具有一定傾角的斜面，作為硅片四角的承載面，通過升降和平移機(jī)構(gòu)配合將硅片托起固定，吸取完畢后再自動(dòng)復(fù)位，從而實(shí)現(xiàn)了硅片的自動(dòng)化精確穩(wěn)定定位，且在托起定位等待吸取的過程中不影響傳送帶繼續(xù)運(yùn)行，將下一批硅片傳送到托起硅片下層，省去了等待時(shí)間，工藝連續(xù)性好，大大縮短了工藝流程。

附圖說明

圖1為本實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖一。

圖2為本實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖二。

圖3為本實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖三。

圖4為本實(shí)施例定位夾具的局部結(jié)構(gòu)示意圖。

圖中：1、定位夾具；101、托板；102、上下邊定位夾塊；103、左右邊定位夾塊；104、定位槽；105、斜面；106、讓位孔；2、硅片；3、升降氣缸；4、升降導(dǎo)軌；5、平移氣缸；6、平移導(dǎo)軌；7、升降支撐架；8、平移支撐架；9、固定座。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型的具體實(shí)施方式作進(jìn)一步說明。