[實(shí)用新型]硅片上片自動(dòng)預(yù)定位裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201721142014.2
• 申請(qǐng)日: 2017-09-06
• 公開（公告）號(hào): CN207165535U
• 公開（公告）日: 2018-03-30
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 董曉清
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 無錫市江松科技有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/68
• 分類號(hào): H01L21/68;H01L21/677
• 代理公司: 無錫市匯誠(chéng)永信專利代理事務(wù)所(普通合伙)32260
• 代理人: 張歡勇

1.硅片上片自動(dòng)預(yù)定位裝置，包括定位夾具、升降機(jī)構(gòu)和平移機(jī)構(gòu)，其特征在于：所述定位夾具沿傳送帶兩側(cè)均勻間隔設(shè)置，且相對(duì)于該傳送帶對(duì)稱分布；每個(gè)定位夾具包括托板以及垂直設(shè)置于該托板上的上下邊定位夾塊和左右邊定位夾塊，所述上下邊定位夾塊和左右邊定位夾塊的設(shè)置方向分別與硅片的上下邊及左右邊平行，所述托板、上下邊定位夾塊和左右邊定位夾塊圍成一個(gè)或左右對(duì)稱的一對(duì)定位槽，所述定位槽槽壁均為斜面，用于承載硅片四角；所述升降機(jī)構(gòu)用于控制所述定位夾具相對(duì)于傳送帶做垂直升降動(dòng)作，所述平移機(jī)構(gòu)用于控制所述定位夾具相對(duì)于傳送帶做靠近或遠(yuǎn)離的平移動(dòng)作。

2.如權(quán)利要求1所述的硅片上片自動(dòng)預(yù)定位裝置，其特征在于：用于同一片硅片四角定位的四個(gè)所述定位槽槽底邊連線形成的正方形邊長(zhǎng)比硅片邊長(zhǎng)短1mm。

3.如權(quán)利要求1所述的硅片上片自動(dòng)預(yù)定位裝置，其特征在于：所述斜面與槽底面之間的夾角為120°。

4.如權(quán)利要求1所述的硅片上片自動(dòng)預(yù)定位裝置，其特征在于：所述定位槽斜面連接處開設(shè)有讓位孔，用于容納硅片的四角頂端部分。

5.如權(quán)利要求1所述的硅片上片自動(dòng)預(yù)定位裝置，其特征在于：所述升降機(jī)構(gòu)包括升降氣缸和升降導(dǎo)軌，所述平移機(jī)構(gòu)包括平移氣缸和平移導(dǎo)軌。

6.如權(quán)利要求5所述的硅片上片自動(dòng)預(yù)定位裝置，其特征在于：位于傳送帶同側(cè)的所述定位夾具固定于同一升降支撐架上，所述升降支撐架一側(cè)通過所述升降導(dǎo)軌與平移支撐架滑動(dòng)連接，所述平移支撐架通過平移導(dǎo)軌與下方固定座滑動(dòng)連接。

7.如權(quán)利要求6所述的硅片上片自動(dòng)預(yù)定位裝置，其特征在于：所述升降氣缸設(shè)置于所述平移支撐架上，用以推動(dòng)所述升降支撐架做升降動(dòng)作，所述平移氣缸用以推動(dòng)所述平移支撐架做平移動(dòng)作。

8.如權(quán)利要求1所述的硅片上片自動(dòng)預(yù)定位裝置，其特征在于：位于預(yù)定位區(qū)域兩末端的所述定位夾具具有一個(gè)定位槽，用于定位硅片的一角，位于中間段的所述定位夾具具有左右對(duì)稱的一對(duì)定位槽，用于定位傳送帶上相鄰硅片的兩角。

9.如權(quán)利要求1所述的硅片上片自動(dòng)預(yù)定位裝置，其特征在于：所述裝置還包括到位傳感器和PLC控制器，用于檢測(cè)硅片傳送位置，控制所述升降機(jī)構(gòu)和所述平移機(jī)構(gòu)執(zhí)行相應(yīng)操作。