[實用新型]一種真空半導體焊接裝置

有效

• 申請號: 201721134231.7
• 申請日: 2017-09-05
• 公開（公告）號: CN207233708U
• 公開（公告）日: 2018-04-13
• 發明（設計）人: 呂建方;劉婷;李金志
• 申請（專利權）人: 河南長興建設集團有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67
• 代理公司: 北京卓嵐智財知識產權代理事務所(特殊普通合伙)11624
• 代理人: 任漱晨

技術領域

本實用新型是一種真空半導體焊接裝置，屬于真空半導體焊接裝置領域。

背景技術

半導體器件是將晶塊焊接在瓷板上制成的，現有技術中，整個焊接裝置是在空氣中進行的，這樣的裝置具有結構簡單、容易加工的優點，隨著對半導體器件高性能的要求，這樣的半導體器件不能滿足需要，例如焊接的接觸部分具有氣泡，至使晶塊和瓷板接觸不好，影響了半導體器件的質量。

現有技術公開申請號為CN201120385893.8的一種真空半導體焊接裝置，本實用新型涉及半導體制造技術領域，具體地說是真空半導體焊接裝置，它包括機架，機架上有壓盤，壓盤下方有底座，所述的壓盤和底座外圍有一個箱體，箱體固定在機架上，所述的箱體有門，箱體還有管道連通抽真空裝置，所述的箱體是透明材料制成的，這樣的真空半導體焊接裝置具有晶塊和瓷板接觸更好、質量更優、沒有氣泡的滿足高標準的要求。但是，現有技術設備不具有能夠稱重測力的裝置，能夠測量可承受力和拉力，避免超載的重力使設備損壞。

實用新型內容

針對現有技術存在的不足，本實用新型目的是提供一種真空半導體焊接裝置，以解決現有技術不具有能夠稱重測力的裝置，能夠測量可承受力和拉力，避免超載的重力使設備損壞的問題。

為了實現上述目的，本實用新型是通過如下的技術方案來實現：一種真空半導體焊接裝置，其結構包括連接桿、固定板、波紋管、重力傳感器，所述連接桿通過螺紋嚙合連接于固定板側面上，所述固定板通過螺紋嚙合連接于連接桿與波紋管之間，所述波紋管通過螺紋嚙合連接于固定板與重力傳感器之間，所述重力傳感器通過螺紋嚙合連接于波紋管尾端，所述連接桿設有支桿，所述支桿通過螺紋嚙合連接于連接桿頂端；所述固定板設有固定孔，所述固定孔均勻等距嵌設于固定板四個對角上；所述波紋管設有鋼筘、墊片，所述鋼筘嵌設于波紋管中間部分外表面上，所述墊片通過螺紋嚙合連接于波紋管尾端；所述重力傳感器設有導線、線圈、接頭、軸圈、雙孔接頭，所述導線嵌設于雙孔接頭尾端，所述線圈均勻等距嵌設于接頭與雙孔接頭之間，所述接頭通過螺紋嚙合連接于軸圈外側，所述軸圈通過螺紋嚙合連接于接頭與線圈之間，所述雙孔接頭通過螺紋嚙合連接于線圈端部。

進一步的，所述連接桿為圓形桿狀結構，所述連接桿設有旋轉螺紋，所述旋轉螺紋嵌設于連接桿兩端，所述連接桿通過旋轉螺紋嚙合連接于固定板與支桿之間。

進一步的，所述支桿為圓形桿狀結構，所述支桿設有旋轉螺紋，所述旋轉螺紋嵌設于支桿一端，所述支桿通過旋轉螺紋嚙合連接于連接桿一端上。

進一步的，所述固定板為矩形結構，固定板設有連接孔，所述連接孔嵌設于固定板中心部分，所述連接孔設有旋轉螺紋，所述旋轉螺紋嵌設于連接孔內部，所述固定板通過旋轉螺紋嚙合連接于波紋管與連接桿之間。

進一步的，所述波紋管為圓形桿狀結構，波紋管設有螺紋凸起、旋轉螺紋，所述螺紋凸起均勻等距分布于波紋管外表面，所述旋轉螺紋嵌設于波紋管兩端，所述波紋管通過旋轉螺紋嚙合連接于墊片與固定板之間。

進一步的，所述軸圈為圓形結構，所述軸圈設有連接孔，所述連接孔為圓形結構，所述連接孔嵌設于軸圈中心部分，所述連接孔設有旋轉螺紋，所述旋轉螺紋嵌設于連接孔內部，所述軸圈通過旋轉螺紋嚙合連接于接頭與線圈之間。

進一步的，所述雙孔接頭為圓形結構，所述雙孔接頭設有嵌設孔、旋轉螺紋，所述嵌設孔嵌設于雙孔接頭外表面，所述旋轉螺紋嵌設于雙孔接頭端部，所述雙孔接頭通過旋轉螺紋嚙合連接于線圈端部。

本實用新型的有益效果：通過設有一種重力傳感器，能夠稱重測力，能夠測量可承受力和拉力，避免超載的重力使設備損壞，保護設備的安全使用，方便實用。

附圖說明

通過閱讀參照以下附圖對非限制性實施例所作的詳細描述，本實用新型的其它特征、目的和優點將會變得更明顯：

圖1為本實用新型一種真空半導體焊接裝置的結構示意圖；

圖2為本實用新型一種重力傳感器的結構示意圖。

圖中：1-連接桿、2-固定板、3-波紋管、4-重力傳感器、10-支桿、20-固定孔、30-鋼筘、31-墊片、40-導線、41-線圈、42-接頭、43-軸圈、44-雙孔接頭。

具體實施方式

為使本實用新型實現的技術手段、創作特征、達成目的與功效易于明白了解，下面結合具體實施方式，進一步闡述本實用新型。