[實用新型]一種真空半導體焊接裝置有效
| 申請號: | 201721134231.7 | 申請日: | 2017-09-05 |
| 公開(公告)號: | CN207233708U | 公開(公告)日: | 2018-04-13 |
| 發明(設計)人: | 呂建方;劉婷;李金志 | 申請(專利權)人: | 河南長興建設集團有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/67 | 分類號: | H01L21/67 |
| 代理公司: | 北京卓嵐智財知識產權代理事務所(特殊普通合伙)11624 | 代理人: | 任漱晨 |
| 地址: | 457000 河南省濮陽市*** | 國省代碼: | 河南;41 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 真空 半導體 焊接 裝置 | ||
1.一種真空半導體焊接裝置,其結構包括連接桿(1)、固定板(2)、波紋管(3)、重力傳感器(4),所述連接桿(1)通過螺紋嚙合連接于固定板(2)側面上,所述固定板(2)通過螺紋嚙合連接于連接桿(1)與波紋管(3)之間,所述波紋管(3)通過螺紋嚙合連接于固定板(2)與重力傳感器(4)之間,所述重力傳感器(4)通過螺紋嚙合連接于波紋管(3)尾端,其特征在于:
所述連接桿(1)設有支桿(10),所述支桿(10)通過螺紋嚙合連接于連接桿(1)頂端;
所述固定板(2)設有固定孔(20),所述固定孔(20)均勻等距嵌設于固定板(20)四個對角上;
所述波紋管(3)設有鋼筘(30)、墊片(31),所述鋼筘(30)嵌設于波紋管(3)中間部分外表面上,所述墊片(31)通過螺紋嚙合連接于波紋管(3)尾端;
所述重力傳感器(4)設有導線(40)、線圈(41)、接頭(42)、軸圈(43)、雙孔接頭(44),所述導線(40)嵌設于雙孔接頭(44)尾端,所述線圈(41)均勻等距嵌設于接頭(42)與雙孔接頭(44)之間,所述接頭(42)通過螺紋嚙合連接于軸圈(43)外側,所述軸圈(43)通過螺紋嚙合連接于接頭(42)與線圈(41)之間,所述雙孔接頭(44)通過螺紋嚙合連接于線圈(41)端部。
2.根據權利要求1所述的一種真空半導體焊接裝置,其特征在于:所述連接桿(1)為圓形桿狀結構,所述連接桿(1)設有旋轉螺紋,所述旋轉螺紋嵌設于連接桿(1)兩端,所述連接桿(1)通過旋轉螺紋嚙合連接于固定板(2)與支桿(10)之間。
3.根據權利要求2所述的一種真空半導體焊接裝置,其特征在于:所述支桿(10)為圓形桿狀結構,所述支桿(10)設有旋轉螺紋,所述旋轉螺紋嵌設于支桿(10)一端,所述支桿(10)通過旋轉螺紋嚙合連接于連接桿(1)一端上。
4.根據權利要求2所述的一種真空半導體焊接裝置,其特征在于:所述固定板(2)為矩形結構,固定板(2)設有連接孔,所述連接孔嵌設于固定板(2)中心部分,所述連接孔設有旋轉螺紋,所述旋轉螺紋嵌設于連接孔內部,所述固定板(2)通過旋轉螺紋嚙合連接于波紋管(3)與連接桿(1)之間。
5.根據權利要求4所述的一種真空半導體焊接裝置,其特征在于:所述波紋管(3)為圓形桿狀結構,波紋管(3)設有螺紋凸起、旋轉螺紋,所述螺紋凸起均勻等距分布于波紋管(3)外表面,所述旋轉螺紋嵌設于波紋管(3)兩端,所述波紋管(3)通過旋轉螺紋嚙合連接于墊片(31)與固定板(2)之間。
6.根據權利要求1所述的一種真空半導體焊接裝置,其特征在于:所述軸圈(43)為圓形結構,所述軸圈(43)設有連接孔,所述連接孔為圓形結構,所述連接孔嵌設于軸圈(43)中心部分,所述連接孔設有旋轉螺紋,所述旋轉螺紋嵌設于連接孔內部,所述軸圈(43)通過旋轉螺紋嚙合連接于接頭(42)與線圈(41)之間。
7.根據權利要求1所述的一種真空半導體焊接裝置,其特征在于:所述雙孔接頭(44)為圓形結構,所述雙孔接頭(44)設有嵌設孔、旋轉螺紋,所述嵌設孔嵌設于雙孔接頭(44)外表面,所述旋轉螺紋嵌設于雙孔接頭(44)端部,所述雙孔接頭(44)通過旋轉螺紋嚙合連接于線圈(41)端部。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





