[實用新型]一種半導(dǎo)體制造模具有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201721134200.1 | 申請日: | 2017-09-05 |
| 公開(公告)號: | CN207367922U | 公開(公告)日: | 2018-05-15 |
| 發(fā)明(設(shè)計)人: | 吳航銳 | 申請(專利權(quán))人: | 東莞權(quán)科轉(zhuǎn)影科技有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/56 | 分類號: | H01L21/56 |
| 代理公司: | 北京輕創(chuàng)知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11212 | 代理人: | 談杰 |
| 地址: | 523000 廣*** | 國省代碼: | 廣東;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一種 半導(dǎo)體 制造 模具 | ||
本實用新型公開了一種半導(dǎo)體制造模具,其結(jié)構(gòu)包括壓板、頂板、定位板、固定吸盤,所述壓板設(shè)有伸縮桿、承托板,所述頂板設(shè)有連接桿、防滑橡膠圈、墊片,所述定位板設(shè)有U型板,所述固定吸盤設(shè)有墊圈、連接頭、螺旋連接桿、壓緊螺母、軸圈、橡膠吸盤,本實用新型通過設(shè)有一種固定吸盤,能夠?qū)⒛>吖潭ㄔ谧烂婊蚬ぷ髋_上,能夠避免模具在工作過程中因為震動或人為觸碰而移位,造成工程進度延誤,影響產(chǎn)品質(zhì)量。
技術(shù)領(lǐng)域
本實用新型是一種半導(dǎo)體制造模具,屬于半導(dǎo)體制造模具領(lǐng)域。
背景技術(shù)
隨著半導(dǎo)體行業(yè)的發(fā)展,新產(chǎn)品內(nèi)存芯片體積減小,當前使用基板的設(shè)計和芯片粘貼位置,決定了封裝設(shè)備使用現(xiàn)有模具作業(yè)時,環(huán)氧化樹脂的流動不符合新產(chǎn)品的要求,導(dǎo)致樹脂溢出到基板封裝外側(cè),造成大量不良品產(chǎn)生,為了對應(yīng)新產(chǎn)品生產(chǎn),需要對現(xiàn)有模具進行改造,使環(huán)氧化樹脂流向變更,確保品質(zhì)穩(wěn)定。
現(xiàn)有技術(shù)公開申請?zhí)枮镃N201420782997.6的一種半導(dǎo)體制造模具,本實用新型提供一種半導(dǎo)體制造模具,包括:模具板,具有用于設(shè)置半導(dǎo)體基板的設(shè)置面;多個環(huán)氧化樹脂注膠溝道,設(shè)于所述設(shè)置面;多個定位銷,在平行所述設(shè)置面的平面內(nèi)延伸,用以定位半導(dǎo)體基板;多個真空管道,設(shè)于所述模具板,并從所述設(shè)置面向模具板內(nèi)延伸,用于所述吸附半導(dǎo)體基板固定于設(shè)置面;從而突破了封裝設(shè)備原有基板放置的局限性,能夠在部件改造的情況下,達到基板逆向放置的效果。但是,現(xiàn)有技術(shù)設(shè)備不具有能夠?qū)⒛>吖潭ㄔ谧烂婊蚬ぷ髋_上的裝置,能夠避免模具在工作過程中因為震動或人為觸碰而移位,造成工程進度延誤,影響產(chǎn)品質(zhì)量。
實用新型內(nèi)容
針對現(xiàn)有技術(shù)存在的不足,本實用新型目的是提供一種半導(dǎo)體制造模具,以解決現(xiàn)有技術(shù)不具有能夠?qū)⒛>吖潭ㄔ谧烂婊蚬ぷ髋_上的裝置,能夠避免模具在工作過程中因為震動或人為觸碰而移位,造成工程進度延誤,影響產(chǎn)品質(zhì)量的問題。
為了實現(xiàn)上述目的,本實用新型是通過如下的技術(shù)方案來實現(xiàn):一種半導(dǎo)體制造模具,其結(jié)構(gòu)包括壓板、頂板、定位板、固定吸盤,所述壓板通過螺紋嚙合連接于頂板下方,所述頂板通過螺栓鉚合連接于定位板下方,所述定位板通過螺栓鉚合連接于頂板上表面,所述固定吸盤嵌設(shè)于壓板上,所述壓板設(shè)有伸縮桿、承托板,所述伸縮桿通過螺紋嚙合連接于壓板與頂板之間,所述承托板通過螺栓鉚合連接于壓板上表面;所述頂板設(shè)有連接桿、防滑橡膠圈、墊片,所述連接桿通過螺紋嚙合連接于頂板上表面四個對角上,所述防滑橡膠圈通過過盈配合連接連接桿與頂板之間,所述墊片通過螺栓鉚合連接于連接桿頂部;所述定位板設(shè)有U型板,所述U型板通過螺栓鉚合連接于定位板上表面;所述固定吸盤設(shè)有墊圈、連接頭、螺旋連接桿、壓緊螺母、軸圈、橡膠吸盤,所述墊圈通過螺紋嚙合連接于連接頭上方,所述連接頭通過螺紋嚙合連接于墊圈與螺旋連接桿之間,所述螺旋連接桿通過螺紋嚙合連接于壓緊螺母上,所述壓緊螺母通過螺紋嚙合連接于螺旋連接桿中心部分,所述軸圈通過螺紋嚙合連接于螺旋連接桿底部,所述橡膠吸盤通過螺紋嚙合連接于軸圈底部。
進一步的,所述壓板為矩形結(jié)構(gòu),壓板設(shè)有安裝孔,所述安裝孔均勻等距嵌設(shè)于壓板上表面,安裝孔設(shè)有旋轉(zhuǎn)螺紋,所述旋轉(zhuǎn)螺紋嵌設(shè)于安裝孔內(nèi)部,所述壓板通過伸縮桿貫穿安裝孔與旋轉(zhuǎn)螺紋嚙合連接于頂板底部。
進一步的,所述伸縮桿為圓形桿狀結(jié)構(gòu),伸縮桿設(shè)有伸縮主桿,所述伸縮主桿設(shè)有安裝孔,所述安裝孔嵌設(shè)于伸縮主桿內(nèi)部,所述伸縮主桿通過安裝孔與伸縮支桿相連接,所述伸縮主桿設(shè)有旋轉(zhuǎn)螺紋,所述旋轉(zhuǎn)螺紋設(shè)于伸縮主桿頂部,所述伸縮主桿通過旋轉(zhuǎn)螺紋嚙合連接于頂板底部四個對角上。
進一步的,所述伸縮桿設(shè)有伸縮支桿,所述伸縮支桿為圓形桿狀結(jié)構(gòu),伸縮支桿設(shè)有旋轉(zhuǎn)螺紋,所述旋轉(zhuǎn)螺紋均勻等距嵌設(shè)于伸縮支桿外表面,所述伸縮支桿通過旋轉(zhuǎn)螺紋嚙合連接于壓板與伸縮主桿之間。
進一步的,所述頂板為矩形結(jié)構(gòu),頂板設(shè)有安裝孔,所述安裝孔均勻等距嵌設(shè)于頂板上表面,安裝孔設(shè)有旋轉(zhuǎn)螺紋,所述旋轉(zhuǎn)螺紋嵌設(shè)于安裝孔內(nèi)部,所述頂板通過伸縮桿貫穿安裝孔與旋轉(zhuǎn)螺紋嚙合連接于壓板上方。
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- 專利分類
H01L 半導(dǎo)體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





