[實用新型]一種半導(dǎo)體制造模具

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201721134200.1
• 申請日: 2017-09-05
• 公開（公告）號: CN207367922U
• 公開（公告）日: 2018-05-15
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 吳航銳
• 申請（專利權(quán)）人: 東莞權(quán)科轉(zhuǎn)影科技有限公司
• 主分類號: H01L21/56
• 分類號: H01L21/56
• 代理公司: 北京輕創(chuàng)知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11212
• 代理人: 談杰

1.一種半導(dǎo)體制造模具，其結(jié)構(gòu)包括壓板(1)、頂板(2)、定位板(3)、固定吸盤(4)，所述壓板(1)通過螺紋嚙合連接于頂板(2)下方，所述頂板(2)通過螺栓鉚合連接于定位板(3)下方，所述定位板(3)通過螺栓鉚合連接于頂板(2)上表面，所述固定吸盤(4)嵌設(shè)于壓板(1)上，其特征在于：

所述壓板(1)設(shè)有伸縮桿(10)、承托板(11)，所述伸縮桿(10)通過螺紋嚙合連接于壓板(1)與頂板(2)之間，所述承托板(11)通過螺栓鉚合連接于壓板(1)上表面；

所述頂板(2)設(shè)有連接桿(20)、防滑橡膠圈(21)、墊片(22)，所述連接桿(20)通過螺紋嚙合連接于頂板(2)上表面四個對角上，所述防滑橡膠圈(21)通過過盈配合連接連接桿(20)與頂板(2)之間，所述墊片(22)通過螺栓鉚合連接于連接桿(20)頂部；

所述定位板(3)設(shè)有U型板(30)，所述U型板(30)通過螺栓鉚合連接于定位板(3)上表面；

所述固定吸盤(4)設(shè)有墊圈(40)、連接頭(41)、螺旋連接桿(42)、壓緊螺母(43)、軸圈(44)、橡膠吸盤(45)，所述墊圈(40)通過螺紋嚙合連接于連接頭(41)上方，所述連接頭(41)通過螺紋嚙合連接于墊圈(40)與螺旋連接桿(42)之間，所述螺旋連接桿(42)通過螺紋嚙合連接于壓緊螺母(43)上，所述壓緊螺母(43)通過螺紋嚙合連接于螺旋連接桿(42)中心部分，所述軸圈(44)通過螺紋嚙合連接于螺旋連接桿(42)底部，所述橡膠吸盤(45)通過螺紋嚙合連接于軸圈(44)底部。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體制造模具，其特征在于：所述壓板(1)為矩形結(jié)構(gòu)，壓板(1)設(shè)有安裝孔，所述安裝孔均勻等距嵌設(shè)于壓板(1)上表面，安裝孔設(shè)有旋轉(zhuǎn)螺紋，所述旋轉(zhuǎn)螺紋嵌設(shè)于安裝孔內(nèi)部，所述壓板(1)通過伸縮桿(10)貫穿安裝孔與旋轉(zhuǎn)螺紋嚙合連接于頂板(2)底部。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種半導(dǎo)體制造模具，其特征在于：所述伸縮桿(10)為圓形桿狀結(jié)構(gòu)，伸縮桿(10)設(shè)有伸縮主桿，所述伸縮主桿設(shè)有安裝孔，所述安裝孔嵌設(shè)于伸縮主桿內(nèi)部，所述伸縮主桿通過安裝孔與伸縮支桿相連接，所述伸縮主桿設(shè)有旋轉(zhuǎn)螺紋，所述旋轉(zhuǎn)螺紋設(shè)于伸縮主桿頂部，所述伸縮主桿通過旋轉(zhuǎn)螺紋嚙合連接于頂板(2)底部四個對角上。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種半導(dǎo)體制造模具，其特征在于：所述伸縮桿(10)設(shè)有伸縮支桿，所述伸縮支桿為圓形桿狀結(jié)構(gòu)，伸縮支桿設(shè)有旋轉(zhuǎn)螺紋，所述旋轉(zhuǎn)螺紋均勻等距嵌設(shè)于伸縮支桿外表面，所述伸縮支桿通過旋轉(zhuǎn)螺紋嚙合連接于壓板(1)與伸縮主桿之間。

5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種半導(dǎo)體制造模具，其特征在于：所述頂板(2)為矩形結(jié)構(gòu)，頂板(2)設(shè)有安裝孔，所述安裝孔均勻等距嵌設(shè)于頂板(2)上表面，安裝孔設(shè)有旋轉(zhuǎn)螺紋，所述旋轉(zhuǎn)螺紋嵌設(shè)于安裝孔內(nèi)部，所述頂板(2)通過伸縮桿(10)貫穿安裝孔與旋轉(zhuǎn)螺紋嚙合連接于壓板(1)上方。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體制造模具，其特征在于：所述連接桿(20)為圓形桿狀結(jié)構(gòu)，連接桿(20)設(shè)有安裝孔，所述安裝孔嵌設(shè)于連接桿(20)內(nèi)部，所述連接桿(20)通過螺桿貫穿安裝孔鉚合連接于墊片(22)底部，所述連接桿(20)設(shè)有旋轉(zhuǎn)螺紋，所述旋轉(zhuǎn)螺紋設(shè)于連接桿(20)底部，所述連接桿(20)通過旋轉(zhuǎn)螺紋嚙合連接于頂板(2)上表面四個對角上。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體制造模具，其特征在于：所述防滑橡膠圈(21)為圓環(huán)形結(jié)構(gòu)，防滑橡膠圈(21)設(shè)有安裝孔、鋼珠，所述安裝孔均勻等距嵌設(shè)于防滑橡膠圈外表面上，所述鋼珠通過安裝孔均勻等距嵌設(shè)于防滑橡膠圈(21)外表面上。