[實用新型]一種用于柔性薄膜太陽能電池激光劃線的真空吸附裝置

有效

• 申請號: 201721124724.2
• 申請日: 2017-09-04
• 公開（公告）號: CN207165599U
• 公開（公告）日: 2018-03-30
• 發明（設計）人: 鐘華良;孫朋超;朱家寬;莫品光;高錦龍;劉杰鵬
• 申請（專利權）人: 旭科新能源股份有限公司
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18;H01L21/687
• 代理公司: 杭州九洲專利事務所有限公司33101
• 代理人: 翁霽明

1.一種用于柔性薄膜太陽能電池激光劃線的真空吸附裝置，它包括一塊用于在正面放置膜面的、正面開設有吸氣孔并與內部連通的吸附板，其特征在于所述吸附板的內部通過至少一側邊上開設的負壓氣孔連接一集成分路氣排，并有該集成分路氣排連接一帶有放氣裝置的氣路控制閥機構，該氣路控制閥機構連接一真空泵源。

2.根據權利要求1所述的用于柔性薄膜太陽能電池激光劃線的真空吸附裝置，其特征在于所述吸附板為長方形內部板體，該吸附板的正面開設有均布的孔徑在0.5—5mm的吸氣孔，孔距在1—40mm之間；所述吸附板的兩側配置有用于對放置在吸附板正面上的膜面兩側進行壓制的膜面壓板；所述的吸附板的內部通過兩側邊上開設的負壓氣孔連接所述的集成分路氣排。

3.根據權利要求1或2所述的用于柔性薄膜太陽能電池激光劃線的真空吸附裝置，其特征在于所述的吸附板由鋁、不銹鋼或聚四氟乙烯材料制成；所述吸附板的內部的結構由雕刻氣路結構、鋁蜂窩板加工連通氣路結構或一體成型結構構成。