[實(shí)用新型]氮化硅生產(chǎn)用氣體提純裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201721113283.6
• 申請(qǐng)日: 2017-09-01
• 公開（公告）號(hào): CN207153401U
• 公開（公告）日: 2018-03-30
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王占營(yíng);劉宗才;王占軍;付隨州;王兵;王帥印;王亞輝;王志永
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 河南中匯新材科技有限公司
• 主分類號(hào): B01D53/02
• 分類號(hào): B01D53/02;C01B21/068
• 代理公司: 鄭州金成知識(shí)產(chǎn)權(quán)事務(wù)所(普通合伙)41121
• 代理人: 郭增欣

技術(shù)領(lǐng)域：

本實(shí)用新型涉及一種氮化硅生產(chǎn)設(shè)備，特別是涉及一種氮化硅生產(chǎn)用氣體提純裝置。

背景技術(shù)：

氮化硅具有良好的抗熱沖擊性、抗氧化性、耐高溫、耐腐蝕、化學(xué)穩(wěn)定性高、強(qiáng)度高等一系列優(yōu)異的熱物理性能，是一種優(yōu)良的高溫結(jié)構(gòu)材料。

目前，氮化硅生產(chǎn)廠家在生產(chǎn)氮化硅時(shí)才有普通氣體，雖然節(jié)約了生產(chǎn)成本，但是由于普通氣體的純度不高，影響了產(chǎn)品品質(zhì)，難以生產(chǎn)高純度及高精度的氮化硅產(chǎn)品。

實(shí)用新型內(nèi)容：

本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問題是：克服現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種設(shè)計(jì)合理、過濾提純效果好且成本較低的氮化硅生產(chǎn)用氣體提純裝置。

本實(shí)用新型的技術(shù)方案是：

所述分子篩至少是兩個(gè)且相互串接，進(jìn)行分級(jí)過濾和吸附，首端的所述分子篩與所述氣瓶連接，二者之間設(shè)置有控制閥，尾端的所述分子篩與氣體活化器的進(jìn)氣端連接，所述氣體活化器的排氣端與氮化硅反應(yīng)爐連通，經(jīng)過所述分子篩和氣體活化器提純處理的氣體供所述氮化硅反應(yīng)爐使用。

所述氣體活化器包括不銹鋼桶和有色金屬網(wǎng)，所述有色金屬網(wǎng)至少有兩層且密集疊加在一起，氣體通過所述有色金屬網(wǎng)進(jìn)行凈化提純。

所述有色金屬網(wǎng)為銅網(wǎng)，所述分子篩為兩個(gè)，分別為一級(jí)分子篩和二級(jí)分子篩，二者串接在一起。

所述氮化硅反應(yīng)爐包括爐殼、爐膛和爐蓋，所述爐膛的兩側(cè)分別設(shè)置有側(cè)加熱管，所述側(cè)加熱管通過電極與外部電源連接，所述爐膛的下部設(shè)置有支柱和托板，所述托板上能夠放置料盒，所述托板和所述爐膛的底壁之間設(shè)置有下加熱管，所述下加熱管與所述電極連接。

本實(shí)用新型的有益效果是：

1、本實(shí)用新型采用多重措施對(duì)普通氣體進(jìn)行提純處理，達(dá)到了所需的99.99%氣體純度的要求，既能生產(chǎn)高品質(zhì)的氮化硅產(chǎn)品，又能降低氣體成本40%，節(jié)能降耗效果明顯。

2、本實(shí)用新型采用兩級(jí)分子篩通過分級(jí)吸附和篩選氣體中的雜質(zhì)，使氣體的純度達(dá)到要求，另外，還采用氣體活化器對(duì)氣體進(jìn)行進(jìn)一步提純，氣體活化器采用有色金屬對(duì)氣體進(jìn)行活化，效果好。

3、本實(shí)用新型結(jié)設(shè)計(jì)合理、過濾提純效果好且成本較低，易于推廣實(shí)施，具有良好的經(jīng)濟(jì)效益。

附圖說明：

圖1為氮化硅生產(chǎn)用氣體提純裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實(shí)施方式：

實(shí)施例：參見圖1，圖中，1-氣瓶，2-一級(jí)分子篩，3-二級(jí)分子篩，4-氣體活化器，5-氮化硅反應(yīng)爐，6-支架。

氮化硅生產(chǎn)用氣體提純裝置包括分子篩和氣瓶1，其中：分子篩至少是兩個(gè)且相互串接，進(jìn)行分級(jí)過濾和吸附，首端的分子篩與氣瓶1連接，二者之間設(shè)置有控制閥，尾端的分子篩與氣體活化器4的進(jìn)氣端連接，氣體活化器4的排氣端與氮化硅反應(yīng)爐5連通，經(jīng)過分子篩和氣體活化器4提純處理的氣體供氮化硅反應(yīng)爐5使用。

優(yōu)選地，氣體活化器4包括不銹鋼桶和有色金屬網(wǎng)，有色金屬網(wǎng)至少有兩層且密集疊加在一起，氣體通過有色金屬網(wǎng)進(jìn)行凈化提純。有色金屬網(wǎng)為銅網(wǎng)，分子篩為兩個(gè)，分別為一級(jí)分子篩2和二級(jí)分子篩3，二者串接在一起。

氮化硅反應(yīng)爐5包括爐殼、爐膛和爐蓋，爐膛的兩側(cè)分別設(shè)置有側(cè)加熱管，側(cè)加熱管通過電極與外部電源連接，爐膛的下部設(shè)置有支柱和托板，托板上能夠放置料盒，托板和爐膛的底壁之間設(shè)置有下加熱管，下加熱管與電極連接。

氮化硅反應(yīng)爐5的爐膛側(cè)面和底部均設(shè)置有加熱管，使下部溫度提高到和上部一樣，降低甚至消除溫差，提高產(chǎn)品質(zhì)量，并且，加熱管采用溫度可調(diào)式結(jié)構(gòu)，便于調(diào)控溫度。

本實(shí)用新型采用多重措施對(duì)普通氣體進(jìn)行提純處理，達(dá)到了所需的99.99%氣體純度的要求，既能生產(chǎn)高品質(zhì)的氮化硅產(chǎn)品，又能降低氣體成本40%，節(jié)能降耗效果明顯。

以上所述，僅是本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例而已，并非對(duì)本實(shí)用新型作任何形式上的限制，凡是依據(jù)本實(shí)用新型的技術(shù)實(shí)質(zhì)對(duì)以上實(shí)施例所作的任何簡(jiǎn)單修改、等同變化與修飾，均仍屬于本實(shí)用新型技術(shù)方案的范圍內(nèi)。