[實用新型]氮化硅生產用氣體提純裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201721113283.6
• 申請日: 2017-09-01
• 公開（公告）號: CN207153401U
• 公開（公告）日: 2018-03-30
• 發(fā)明（設計）人: 王占營;劉宗才;王占軍;付隨州;王兵;王帥印;王亞輝;王志永
• 申請（專利權）人: 河南中匯新材科技有限公司
• 主分類號: B01D53/02
• 分類號: B01D53/02;C01B21/068
• 代理公司: 鄭州金成知識產權事務所(普通合伙)41121
• 代理人: 郭增欣

1.一種氮化硅生產用氣體提純裝置，包括分子篩和氣瓶，其特征是：所述分子篩至少是兩個且相互串接，進行分級過濾和吸附，首端的所述分子篩與所述氣瓶連接，二者之間設置有控制閥，尾端的所述分子篩與氣體活化器的進氣端連接，所述氣體活化器的排氣端與氮化硅反應爐連通，經過所述分子篩和氣體活化器提純處理的氣體供所述氮化硅反應爐使用。

2.根據(jù)權利要求1所述的氮化硅生產用氣體提純裝置，其特征是：所述氣體活化器包括不銹鋼桶和有色金屬網，所述有色金屬網至少有兩層且密集疊加在一起，氣體通過所述有色金屬網進行凈化提純。

3.根據(jù)權利要求2所述的氮化硅生產用氣體提純裝置，其特征是：所述有色金屬網為銅網，所述分子篩為兩個，分別為一級分子篩和二級分子篩，二者串接在一起。

4.根據(jù)權利要求1所述的氮化硅生產用氣體提純裝置，其特征是：所述氮化硅反應爐包括爐殼、爐膛和爐蓋，所述爐膛的兩側分別設置有側加熱管，所述側加熱管通過電極與外部電源連接，所述爐膛的下部設置有支柱和托板，所述托板上能夠放置料盒，所述托板和所述爐膛的底壁之間設置有下加熱管，所述下加熱管與所述電極連接。