[實用新型]一種用于光刻膠剝離液的分離結構

有效

• 申請號: 201721113201.8
• 申請日: 2017-08-31
• 公開（公告）號: CN207270833U
• 公開（公告）日: 2018-04-27
• 發明（設計）人: 李向峰;黃安寧;高豹;曹慶
• 申請（專利權）人: 安慶市鑫祥瑞環保科技有限公司
• 主分類號: B01D29/56
• 分類號: B01D29/56;B01D29/64;G03F7/42
• 代理公司: 合肥市長遠專利代理事務所(普通合伙)34119
• 代理人: 段曉微,葉美琴

技術領域

本實用新型涉及光刻膠回收技術領域，尤其涉及一種用于光刻膠剝離液的分離結構。

背景技術

薄膜晶體管液晶顯示器(TFT-LCD)生產過程中，在玻璃基板表面有清洗、鍍膜、光刻、刻蝕、剝離等工序。其中光刻工序利用曝光和顯影在光刻膠層上刻畫幾何圖形結構，然后采用光刻膠通過刻蝕工藝將光掩模上的圖形完整且精確地復制到玻璃基板上。在光刻膠剝離工序中會產生剝離廢液，為了提高光刻膠剝離廢液中有效成分的回收效率，需要對光刻膠玻璃液進行分離。

實用新型內容

為解決背景技術中存在的技術問題，本實用新型提出一種用于光刻膠剝離液的分離結構。

本實用新型提出的一種用于光刻膠剝離液的分離結構，包括：過濾主體、過濾擋板；

過濾主體包括多個過濾模塊，多個過濾模塊共同圍成過濾通道，所述過濾通道包括上下依次連通的導流段和出流段，所述導流段內徑從上向下逐漸減小，每個填料模塊具有采用多層陶瓷絲網構成的層狀結構，多層陶瓷絲網向遠離所述過濾通道的方向依次布置；

過濾擋板位于過濾主體上方，過濾擋板與過濾主體之間形成沿所述導流段側壁的液體通道，過濾擋板朝向過濾主體一側設有毛刷結構。

優選地，所述出流段內壁設有多個過濾片，過濾片沿所述出流段徑向布置，多個過濾片沿所述出流段內壁沿圓周分布。

優選地，多個過濾片沿所述出流段內壁沿圓周均勻分布。

優選地，所述出流段內壁設有液流孔。

優選地，過濾擋板中部向下凹陷，其底面形狀與所述導流段形狀配合。

本實用新型中，所提出的用于光刻膠剝離液的分離結構，多個過濾模塊共同圍成過濾通道，所述過濾通道包括上下依次連通的導流段和出流段，所述導流段內徑從上向下逐漸減小，每個填料模塊具有采用多層陶瓷絲網構成的層狀結構，多層陶瓷絲網向遠離所述過濾通道的方向依次布置，過濾擋板位于過濾主體上方，過濾擋板與過濾主體之間形成沿所述導流段側壁的液體通道，過濾擋板朝向過濾主體一側設有毛刷結構。通過上述優化設計的用于光刻膠剝離液的分離結構，結構設計優化合理，過濾擋板與過濾主體之間形成沿所述導流段側壁的液體通道，光刻膠剝離液在過濾擋板的作用下沿導流段表面流動，經過多層陶瓷絲網過濾分離，最終液體部分通過出流段流出，有效保證光刻膠剝離液的過濾分離。

附圖說明

圖1為本實用新型提出的一種用于光刻膠剝離液的分離結構的結構示意圖。

圖2為本實用新型提出的一種用于光刻膠剝離液的分離結構的過濾主體的結構示意圖。

具體實施方式

如圖1和2所示，圖1為本實用新型提出的一種用于光刻膠剝離液的分離結構的結構示意圖，圖2為本實用新型提出的一種用于光刻膠剝離液的分離結構的過濾主體的結構示意圖。

參照圖1和2，本實用新型提出的一種用于光刻膠剝離液的分離結構，包括：過濾主體、過濾擋板2；

過濾主體包括多個過濾模塊1，多個過濾模塊1共同圍成過濾通道，所述過濾通道包括上下依次連通的導流段和出流段，所述導流段內徑從上向下逐漸減小，每個填料模塊具有采用多層陶瓷絲網構成的層狀結構，多層陶瓷絲網向遠離所述過濾通道的方向依次布置；

過濾擋板2位于過濾主體上方，過濾擋板2與過濾主體之間形成沿所述導流段側壁的液體通道，過濾擋板2朝向過濾主體一側設有毛刷3結構。

本實施例的用于光刻膠剝離液的分離結構的具體工作過程中，在過濾擋板的作用下，光刻膠剝離液沿導流段表面流動，毛刷設計強迫光刻膠剝離液進入陶瓷絲網間隙內進行過濾，有效保證過濾效果。

在本實施例中，所提出的用于光刻膠剝離液的分離結構，多個過濾模塊共同圍成過濾通道，所述過濾通道包括上下依次連通的導流段和出流段，所述導流段內徑從上向下逐漸減小，每個填料模塊具有采用多層陶瓷絲網構成的層狀結構，多層陶瓷絲網向遠離所述過濾通道的方向依次布置，過濾擋板位于過濾主體上方，過濾擋板與過濾主體之間形成沿所述導流段側壁的液體通道，過濾擋板朝向過濾主體一側設有毛刷結構。通過上述優化設計的用于光刻膠剝離液的分離結構，結構設計優化合理，過濾擋板與過濾主體之間形成沿所述導流段側壁的液體通道，光刻膠剝離液在過濾擋板的作用下沿導流段表面流動，經過多層陶瓷絲網過濾分離，最終液體部分通過出流段流出，有效保證光刻膠剝離液的過濾分離。

在具體實施方式中，所述出流段內壁設有多個過濾片4，過濾片4沿所述出流段徑向布置，多個過濾片4沿所述出流段內壁沿圓周分布。