[實用新型]一種用于光刻膠剝離液的分離結構有效
| 申請號： | 201721113201.8 | 申請日： | 2017-08-31 |
| 公開（公告）號： | CN207270833U | 公開（公告）日： | 2018-04-27 |
| 發明（設計）人： | 李向峰;黃安寧;高豹;曹慶 | 申請（專利權）人： | 安慶市鑫祥瑞環保科技有限公司 |
| 主分類號： | B01D29/56 | 分類號： | B01D29/56;B01D29/64;G03F7/42 |
| 代理公司： | 合肥市長遠專利代理事務所(普通合伙)34119 | 代理人： | 段曉微,葉美琴 |
| 地址： | 246000 安徽省安*** | 國省代碼： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 用于 光刻 剝離 分離 結構 | ||
【權利要求書】：
1.一種用于光刻膠剝離液的分離結構，其特征在于，包括：過濾主體、過濾擋板(2)；
過濾主體包括多個過濾模塊(1)，多個過濾模塊(1)共同圍成過濾通道，所述過濾通道包括上下依次連通的導流段和出流段，所述導流段內徑從上向下逐漸減小，每個填料模塊具有采用多層陶瓷絲網構成的層狀結構，多層陶瓷絲網向遠離所述過濾通道的方向依次布置；
過濾擋板(2)位于過濾主體上方，過濾擋板(2)與過濾主體之間形成沿所述導流段側壁的液體通道，過濾擋板(2)朝向過濾主體一側設有毛刷(3)結構。
2.根據權利要求1所述的用于光刻膠剝離液的分離結構，其特征在于，所述出流段內壁設有多個過濾片(4)，過濾片(4)沿所述出流段徑向布置，多個過濾片(4)沿所述出流段內壁沿圓周分布。
3.根據權利要求2所述的用于光刻膠剝離液的分離結構，其特征在于，多個過濾片(4)沿所述出流段內壁沿圓周均勻分布。
4.根據權利要求1所述的用于光刻膠剝離液的分離結構，其特征在于，所述出流段內壁設有液流孔。
5.根據權利要求1所述的用于光刻膠剝離液的分離結構，其特征在于，過濾擋板(2)中部向下凹陷，其底面形狀與所述導流段形狀配合。
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