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[實用新型]一種新型CZ直拉法單晶硅棒切斷夾具平臺裝置有效

專利信息
申請號: 201721099074.0 申請日: 2017-08-30
公開(公告)號: CN207327337U 公開(公告)日: 2018-05-08
發明(設計)人: 馬四海;張笑天;馬青 申請(專利權)人: 馬四海
主分類號: B28D7/04 分類號: B28D7/04;B28D5/00
代理公司: 安徽合肥華信知識產權代理有限公司 34112 代理人: 方琦
地址: 230000 安徽省合肥市新站區*** 國省代碼: 安徽;34
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 一種 新型 cz 直拉法 單晶硅 切斷 夾具 平臺 裝置
【權利要求書】:

1.一種新型CZ直拉法單晶硅棒切斷夾具平臺裝置,包括有工作臺,其特征在于:所述工作臺上鋪設有間隔設置的導槽,所述導槽中分別導向配合有兩組夾具定位塊,所述夾具定位塊上分別設有用于放置單晶硅棒的U形卡槽,所述夾具定位塊上安裝有與U形卡槽配合的卡環,所述工作臺一側的兩端部分別安裝有激光水平裝置,所述工作臺上另一側的兩端部分別安裝有水平調整螺絲。

2.根據權利要求1所述的新型CZ直拉法單晶硅棒切斷夾具平臺裝置,其特征在于:所述的導槽的截面為T形,其與夾具定位塊導向配合,所述導槽一側的工作臺上設置有夾具定位孔,所述夾具定位塊上設有與夾具定位孔配合的長條形固定槽。

3.根據權利要求1所述的新型CZ直拉法單晶硅棒切斷夾具平臺裝置,其特征在于:所述的卡環的兩端分別通過螺絲固定在U形卡槽兩側的夾具定位塊上。

4.根據權利要求1所述的新型CZ直拉法單晶硅棒切斷夾具平臺裝置,其特征在于:所述的激光水平裝置包括有通過支架機構架設安裝有可移動的激光水平尺,所述支架機構包括有位于工作臺外側一端部的圓柱直桿以及另一端部的絲杠,所述圓柱直桿上安裝有沿工作臺長度方向設置的直線滑軌,所述直線滑軌上安裝有與可移動滑動的激光水平尺,所述絲杠轉動安裝在工作臺外側的固定座上,所述絲杠上配合安裝有滑套,所述滑套上設有沿工作臺寬度方向設置的固定桿,所述固定桿上安裝有激光水平尺,所述絲杠由其底端的渦輪裝置驅動。

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