[實用新型]一種CPU制造用晶圓切割設備

有效

• 申請號: 201721092751.6
• 申請日: 2017-08-29
• 公開（公告）號: CN207344878U
• 公開（公告）日: 2018-05-11
• 發明（設計）人: 張金嶺
• 申請（專利權）人: 趙全
• 主分類號: B28D5/00
• 分類號: B28D5/00;B28D7/04;B28D7/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種CPU制造用晶圓切割設備，其特征在于，包括有底板（1）、收集框（2）、側板（3）、頂板（4）、左右移動機構（5）、聯動機構（6）、升降機構（7）、夾緊機構（8）和切割機構（9）；收集框（2）、左右移動機構（5）、側板（3）沿水平方向依次固接于底板（1）頂部，頂板（4）固接于側板（3）頂部，聯動機構（6）固接于側板（3）靠近左右移動機構（5）的一側部；升降機構（7）固接于頂板（4）底部，且升降機構（7）通過聯動機構（6）與左右移動機構（5）傳動式連接；夾緊機構（8）固接于升降機構（7）的輸出端，切割機構（9）固接于左右移動機構（5）的輸出端。

2.根據權利要求1所述的一種CPU制造用晶圓切割設備，其特征在于，左右移動機構（5）包括有第一滑軌（51）、第一滑塊（52）、支撐座（53）、電機（54）、第一轉軸（55）、移動框（58）、第一皮帶輪（56）和凸輪（57）；第一滑軌（51）固接于底板（1）頂部，移動框（58）通過第一滑塊（52）與第一滑軌（51）滑動式連接，支撐座（53）固接于底板（1）頂部，電機（54）固接于支撐座（53）頂部；第一轉軸（55）一端部與電機（54）樞接，凸輪（57）固接于第一轉軸（55）另一端部；凸輪（57）與移動框（58）滾動連接，第一皮帶輪（56）固接于第一轉軸（55），且與聯動機構（6）傳動式連接。

3.根據權利要求2所述的一種CPU制造用晶圓切割設備，其特征在于，聯動機構（6）包括有第二皮帶輪（61）、第二轉軸（62）、第一錐齒輪（63）、第一平皮帶（64）、第一軸承座（65）、第二錐齒輪（66）、第二軸承座（67）、第三轉軸（68）、第四轉軸（69）、第三軸承座（610）、第三皮帶輪（611）、第二平皮帶（612）、棘爪（613）、棘輪（614）和彈性件（615）；第一軸承座（65）、第二軸承座（67）、第三軸承座（610）沿豎直方向依次固接于側板（3）靠近升降機構（7）的一側部；第二轉軸（62）一端部與第一軸承座（65）樞接，第一錐齒輪（63）固接于第二轉軸（62）另一端部；第二皮帶輪（61）固接于第二轉軸（62），且第二皮帶輪（61）通過第一平皮帶（64）與第一皮帶輪（56）傳動式連接；第三轉軸（68）與第二軸承座（67）樞接，第二錐齒輪（66）固接于第三轉軸（68）底端，第二錐齒輪（66）與第一錐齒輪（63）嚙合，棘爪（613）鉸接于第三轉軸（68）頂端；彈性件（615）一端部與棘爪（613）固接，另一端部與第三轉軸（68）固接；第四轉軸（69）與第三軸承座（610）樞接；棘輪（614）固接于第四轉軸（69）底端，且與棘爪（613）嚙合；第三皮帶輪（611）固接于第四轉軸（69）頂端，且通過第二平皮帶（612）與升降機構（7）傳動式連接。

4.根據權利要求3所述的一種CPU制造用晶圓切割設備，其特征在于，升降機構（7）包括有第一安裝板（71）、連接板（72）、第四皮帶輪（74）、絲桿（75）、第二滑軌（76）、第二滑塊（77）、第二安裝板（78）、第四軸承座（711）、第一螺母（79）和連接桿（710）；第一安裝板（71）固接于頂板（4）底部，兩連接板（72）固接于第一安裝板（71）兩端部，靠近側板（3）一側的連接板（72）開設有供第二平皮帶（612）穿過的通孔（73），第二滑軌（76）固接于連接板（72）底部，第二安裝板（78）通過第二滑塊（77）與第二滑軌（76）滑動式連接，第一螺母（79）固接于第二安裝板（78）中部，第四軸承座（711）固接于第二安裝板（78）底部，絲桿（75）頂端與第四軸承座（711）樞接，絲桿（75）與第一螺母（79）螺接；第四皮帶輪（74）固接于絲桿（75），且通過第二平皮帶（612）與第三皮帶輪（611）傳動式連接；連接桿（710）固接于第一螺母（79）底部，且與夾緊機構（8）傳動式連接。