[實用新型]一種真空鍍膜生產線有效
| 申請號： | 201721092253.1 | 申請日： | 2017-08-29 |
| 公開（公告）號： | CN208008894U | 公開（公告）日： | 2018-10-26 |
| 發明（設計）人： | 廖榮新;禤瑞彬;黃進高 | 申請（專利權）人： | 肇慶市前沿真空設備有限公司 |
| 主分類號： | C23C14/56 | 分類號： | C23C14/56;C23C14/35 |
| 代理公司： | 深圳市道臻知識產權代理有限公司 44360 | 代理人： | 陳琳 |
| 地址： | 526000 廣東省肇慶市*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 鍍膜室 出片室 入片室 真空鎖 抽氣機組 真空鍍膜生產線 本實用新型 工件輸送 一端設置 節能效果 生產效率 依次連接 靶組件 真空室 鍍膜 廠房 室內 節約 投資 | ||
1.一種真空鍍膜生產線，其特征在于，包括依次連接的入片室、鍍膜室、出片室；
所述入片室、所述鍍膜室、所述出片室分別連接有入片室抽氣機組、鍍膜室抽氣機組、出片室抽氣機組；
所述入片室的一端設置有第一真空鎖，所述入片室和所述鍍膜室之間設置有第二真空鎖，所述鍍膜室和所述出片室之間設置有第三真空鎖，所述出片室的一端設置有第四真空鎖；
所述鍍膜室內設置有靶組件和可作往復運動的鍍膜室工件輸送組件；
所述鍍膜室抽氣機組包括：與所述鍍膜室連接的精抽泵，與所述精抽泵連接的鍍膜室羅茨泵，以及與所述鍍膜室羅茨泵連接的維持泵；
所述鍍膜室羅茨泵與所述精抽泵之間設置有前置閥，所述精抽泵與所述鍍膜室之間設置有精抽閥。
2.根據權利要求1所述的真空鍍膜生產線，其特征在于，所述真空鍍膜生產線還包括：與所述入片室連接的入片架，和/或與所述出片室連接的出片架。
3.根據權利要求1所述的真空鍍膜生產線，其特征在于，所述入片室抽氣機組包括：與所述入片室連接的入片室羅茨泵，以及與所述入片室羅茨泵連接的入片室粗抽泵；
和/或，所述出片室抽氣機組包括：與所述出片室連接的出片室羅茨泵，以及與所述出片室羅茨泵連接的出片室粗抽泵。
4.根據權利要求3所述的真空鍍膜生產線，其特征在于，所述入片室抽氣機組還包括入片室負壓罐，所述入片室負壓罐的一端連接所述入片室羅茨泵，另一端連接所述入片室；
和/或，所述出片室抽氣機組還包括出片室負壓罐，所述出片室負壓罐的一端連接所述出片室羅茨泵，另一端連接所述出片室。
5.根據權利要求4所述的真空鍍膜生產線，其特征在于，所述入片室負壓罐與所述入片室之間設置有入片室分流閥，所述入片室羅茨泵與所述入片室負壓罐之間設置有入片室負壓罐抽氣閥，所述入片室羅茨泵上設置有入片室旁通閥，所述入片室羅茨泵與所述入片室之間設置有入片室粗抽閥；
和/或，所述出片室負壓罐與所述出片室之間設置有出片室分流閥，所述出片室羅茨泵與所述出片室負壓罐之間設置有出片室負壓罐抽氣閥，所述出片室羅茨泵上設置有出片室旁通閥，所述出片室羅茨泵與所述出片室之間設置有出片室粗抽閥。
6.根據權利要求3所述的真空鍍膜生產線，其特征在于，所述入片室羅茨泵和/或所述出片室羅茨泵具有調速裝置。
7.根據權利要求3所述的真空鍍膜生產線，其特征在于，所述入片室粗抽泵和/或所述出片室粗抽泵為滑閥泵。
8.根據權利要求1所述的真空鍍膜生產線，其特征在于，所述入片室、所述出片室分別設置有入片室蓋板、出片室蓋板，所述入片室蓋板和/或所述出片室蓋板為下凹形。
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