[實用新型]玻璃基板表面濕法剝離裝置

有效

• 申請號: 201721086482.2
• 申請日: 2017-08-25
• 公開（公告）號: CN207571415U
• 公開（公告）日: 2018-07-03
• 發明（設計）人: 李茜茜;王世凱;金童燮;耿軍;梁亞東;劉小寧;王明明;尹浩;許亞東;蔣中任
• 申請（專利權）人: 合肥鑫晟光電科技有限公司;京東方科技集團股份有限公司
• 主分類號: G02F1/13
• 分類號: G02F1/13
• 代理公司: 北京清亦華知識產權代理事務所(普通合伙) 11201
• 代理人: 黃德海

1.一種玻璃基板表面濕法剝離裝置，其特征在于，包括：

剝離室；

儲液罐，所述儲液罐與所述剝離室之間連接有供藥系統和自回流系統；

排氣管，所述排氣管與所述剝離室連通；

回流管，所述回流管的入口連接所述排氣管且出口連接所述儲液罐，所述回流管用于排氣管內的藥液回流到所述儲液罐，

其中，所述排氣管中位于所述回流管的入口的上游的至少一部分形成為內表面凹凸不平的管段。

2.根據權利要求1所述的玻璃基板表面濕法剝離裝置，其特征在于，所述排氣管上設有冷卻件，且所述冷卻件的至少一部分位于所述回流管的入口的上游。

3.根據權利要求2所述的玻璃基板表面濕法剝離裝置，其特征在于，所述冷卻件的至少一部分設在所述排氣管內。

4.根據權利要求2所述的玻璃基板表面濕法剝離裝置，其特征在于，所述冷卻件的至少一部分設在所述管段的上游。

5.根據權利要求1所述的玻璃基板表面濕法剝離裝置，其特征在于，所述排氣管的內壁上設有阻擋塊，所述阻擋塊設在所述回流管的入口的下游。

6.根據權利要求1-5中任一項所述的玻璃基板表面濕法剝離裝置，其特征在于，所述排氣管包括：

第一水平段，所述第一水平段連接所述剝離室；

豎直段，所述豎直段的上端連接所述第一水平段；

第二水平段，所述第二水平段連接所述豎直段的下端；

其中，所述回流管的入口連接于所述排氣管的第二水平段上。

7.根據權利要求1-5中任一項所述的玻璃基板表面濕法剝離裝置，其特征在于，所述管段的內表面形成有內螺旋結構。

8.根據權利要求1-5中任一項所述的玻璃基板表面濕法剝離裝置，其特征在于，所述管段鄰近所述剝離室。

9.根據權利要求1所述的玻璃基板表面濕法剝離裝置，其特征在于，所述回流管上連接有吹氣系統，所述吹氣系統用于向所述回流管內吹送流向所述儲液罐的氣流。

10.根據權利要求9所述的玻璃基板表面濕法剝離裝置，其特征在于，所述吹氣系統鄰近所述回流管的入口。

11.根據權利要求9所述的玻璃基板表面濕法剝離裝置，其特征在于，所述吹氣系統包括：

送氣管，所述送氣管連接所述回流管；

閥門，所述閥門設在所述回流管上，所述閥門在所述吹氣系統吹氣時封閉所述吹氣系統的出口上游。

12.根據權利要求11所述的玻璃基板表面濕法剝離裝置，其特征在于，所述閥門為氣浮擋板，所述氣浮擋板設在所述回流管內并位于所述送氣管的出口處。

13.根據權利要求1-5或9-12中任一項所述的玻璃基板表面濕法剝離裝置，其特征在于，所述回流管為U型管。

14.根據權利要求1-5或9-12中任一項所述的玻璃基板表面濕法剝離裝置，其特征在于，所述儲液罐設在所述剝離室的下方，所述供藥系統包括分別連接所述儲液罐和所述剝離室液體泵，所述自回流系統包括上端連接剝離室底部且下端連接儲液罐上部的直管。