[實用新型]玻璃基板表面濕法剝離裝置

有效

• 申請號: 201721086482.2
• 申請日: 2017-08-25
• 公開（公告）號: CN207571415U
• 公開（公告）日: 2018-07-03
• 發明（設計）人: 李茜茜;王世凱;金童燮;耿軍;梁亞東;劉小寧;王明明;尹浩;許亞東;蔣中任
• 申請（專利權）人: 合肥鑫晟光電科技有限公司;京東方科技集團股份有限公司
• 主分類號: G02F1/13
• 分類號: G02F1/13
• 代理公司: 北京清亦華知識產權代理事務所(普通合伙) 11201
• 代理人: 黃德海

本實用新型公開了一種玻璃基板表面濕法剝離裝置，包括：剝離室、儲液罐、排氣管、回流管，所述儲液罐與所述剝離室之間連接有供藥系統和自回流系統；所述排氣管與所述剝離室連通；所述回流管的入口連接所述排氣管且出口連接所述儲液罐，所述回流管用于排氣管內的藥液回流到所述儲液罐，其中，所述排氣管中位于所述回流管的入口的上游的至少一部分形成為內表面凹凸不平的管段。根據本實用新型實施例的玻璃基板表面濕法剝離裝置，可以提高藥液的回收率。

技術領域

本實用新型涉及顯示板制作技術領域，特別涉及一種玻璃基板表面濕法剝離裝置。

背景技術

隨著九十年代TFT-LCD(Thin Film Transistor-Liquid Crystal Display，薄膜場效應晶體管-液晶顯示器)技術的成熟，液晶顯示面板因其在亮度、對比度、功耗、壽命、體積和重量等綜合性能的優勢，得到了飛速的發展。

近年來，TFT-LCD逐漸朝著大尺寸和高分辨率方向快速發展，如何更好的管控生產成本成了各家公司重點考慮的重中之重。在TFT制造工藝，濕法工藝由于需要消耗大量的化學品，所以BOM費用持續居高不下。尤其以剝離工藝為主，剝離工藝的作用是去除在制程中對Pattern起到保護作用的PR膠，工藝溫度高，約60℃，工藝壓力大，高壓區間可以達到0.9Mpa，由于PVX的PR特性，設備上會設置2-3個高壓剝離區間，同時由于藥液揮發的特性，實際生產中每張Glass的Carry Over(G8.5基準)可達0.6L左右，折合人名幣 6元，120K基準的工廠產能核算，每個月由于藥液帶出導致的剝離液成本損耗約為350萬元！

在TFT-LCD的工藝中，剝離工藝用以去除在制程中對Pattern起保護作用的PR膠，由于工藝條件的特殊性，一般是60℃甚至更高，且由于剝離液本身的有機特性，極易揮發，所以在制程中會有很大的藥液揮發損耗。

相關技術中，剝離設備的排風管路通過常規的阻擋物使蒸汽冷凝之后，通過一個無任何輔助裝置的彎曲氣管回流至Tank內，該方案的問題是冷凝效果差，從Chamber內部排出的蒸汽只有很少部分會冷凝停留在彎曲的氣管內，同時由于Tank內部壓強的緣故，冷凝后的藥液也很難及時的返回到Tank內被充分利用，長時間淤積在氣管內易造成管路接口的腐蝕，導致漏液等嚴重事故的發生。結合G8.5的生產實際，從藥液的回收利用以及安全角度考慮，迫切需要一種更加高效的可以自動回收利用藥液蒸汽的裝置。

實用新型內容

本實用新型旨在至少在一定程度上解決相關技術中的技術問題之一。為此，本實用新型的一個目的在于提出一種玻璃基板表面濕法剝離裝置，提高藥液的回收率。

根據本實用新型實施例的玻璃基板表面濕法剝離裝置，包括：剝離室、儲液罐、排氣管、回流管，所述儲液罐與所述剝離室之間連接有供藥系統和自回流系統；所述排氣管與所述剝離室連通；所述回流管的入口連接所述排氣管且出口連接所述儲液罐，所述回流管用于排氣管內的藥液回流到所述儲液罐，其中，所述排氣管中位于所述回流管的入口的上游的至少一部分形成為內表面凹凸不平的管段。

根據本實用新型實施例的玻璃基板表面濕法剝離裝置，可以提高藥液的回收率。

另外，根據本實用新型上述實施例的玻璃基板表面濕法剝離裝置，還可以具有如下附加的技術特征：

在本實用新型的一個實施例中，所述排氣管上設有冷卻件，且所述冷卻件的至少一部分位于所述回流管的入口的上游。

在本實用新型的一個實施例中，所述冷卻件的至少一部分設在所述排氣管內。

在本實用新型的一個實施例中，所述冷卻件的至少一部分設在所述管段的上游。

在本實用新型的一個實施例中，所述排氣管的內壁上設有阻擋塊，所述阻擋塊設在所述回流管的入口的下游。