[實(shí)用新型]硅片清洗機(jī)的供水裝置以及硅片生產(chǎn)系統(tǒng)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201721072488.4
• 申請(qǐng)日: 2017-08-24
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN207204744U
• 公開(kāi)（公告）日: 2018-04-10
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 吳流彬
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 常州協(xié)鑫光伏科技有限公司
• 主分類號(hào): B08B3/10
• 分類號(hào): B08B3/10;B08B13/00;F28D9/00
• 代理公司: 廣州華進(jìn)聯(lián)合專利商標(biāo)代理有限公司44224
• 代理人: 唐清凱

1.一種硅片清洗機(jī)的供水裝置，其特征在于，包括清洗用水加熱機(jī)構(gòu)以及余熱利用機(jī)構(gòu)；

所述余熱利用機(jī)構(gòu)包括：

熱媒水箱，用于存儲(chǔ)熱媒水；

空壓機(jī)余熱器，用于對(duì)熱媒水進(jìn)行加熱；

以及熱媒水泵，用于將所述熱媒水箱中的熱媒水泵入所述空壓機(jī)余熱器中；

所述清洗用水加熱機(jī)構(gòu)包括：

進(jìn)水管路，用于引入清洗用水；

出水管路，用于將清洗用水引入硅片清洗機(jī)中；

以及板式換熱器，用于對(duì)清洗用水進(jìn)行換熱升溫；所述板式換熱器具有與所述進(jìn)水管路連通的清洗用水進(jìn)口、與所述出水管路連通的清洗用水出口、與所述空壓機(jī)余熱器連通以將加熱后的熱媒水引入的熱媒水進(jìn)口、以及用于將換熱后的熱媒水引出的熱媒水出口。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片清洗機(jī)的供水裝置，其特征在于，所述余熱利用機(jī)構(gòu)還包括：

熱媒水回管，兩端分別與所述熱媒水出口、及所述熱媒水箱連通以將換熱后的熱媒水引回所述熱媒水箱中。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片清洗機(jī)的供水裝置，其特征在于，所述熱媒水回管上設(shè)有用于開(kāi)關(guān)所述熱媒水回管的控制閥。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片清洗機(jī)的供水裝置，其特征在于，所述硅片清洗機(jī)的供水裝置還包括熱媒水預(yù)熱機(jī)構(gòu)；

所述熱媒水預(yù)熱機(jī)構(gòu)包括：

預(yù)熱換熱器，用工藝回水對(duì)熱媒水進(jìn)行預(yù)熱；

工藝回水引管，用于將線切割產(chǎn)生的工藝回水引入所述預(yù)熱換熱器中；

工藝回水排管，用于將換熱后的工藝回水排出所述預(yù)熱換熱器；

熱媒水引管，用于將熱媒水引入所述預(yù)熱換熱器中；

以及熱媒水排管，用于將預(yù)熱后的熱媒水排入所述熱媒水箱中。

5.根據(jù)權(quán)利要求1-4任一項(xiàng)所述的硅片清洗機(jī)的供水裝置，其特征在于，所述熱媒水箱上設(shè)有用于對(duì)所述熱媒水箱中的熱媒水進(jìn)行保溫的隔熱保溫層。

6.根據(jù)權(quán)利要求1-4任一項(xiàng)所述的硅片清洗機(jī)的供水裝置，其特征在于，所述熱媒水箱內(nèi)設(shè)有對(duì)所述熱媒水箱中的熱媒水進(jìn)行加熱的加熱器。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的硅片清洗機(jī)的供水裝置，其特征在于，所述熱媒水箱內(nèi)還設(shè)有對(duì)所述熱媒水箱中的熱媒水進(jìn)行溫度檢測(cè)的水溫感測(cè)器；所述余熱利用機(jī)構(gòu)還包括用于當(dāng)所述水溫感測(cè)器檢測(cè)到熱媒水的溫度低于指定溫度時(shí)，控制所述加熱器加熱的控制器。

8.根據(jù)權(quán)利要求1-4任一項(xiàng)所述的硅片清洗機(jī)的供水裝置，其特征在于，所述清洗用水加熱機(jī)構(gòu)包括用于對(duì)硅片清洗機(jī)提供純水的純水子機(jī)構(gòu)、以及用于對(duì)硅片清洗機(jī)提供自來(lái)水的自來(lái)水子機(jī)構(gòu)。

9.根據(jù)權(quán)利要求1-4任一項(xiàng)所述的硅片清洗機(jī)的供水裝置，其特征在于，所述熱媒水箱中設(shè)有用于在所述熱媒水箱的水位低于指定水位時(shí)關(guān)閉所述熱媒水泵的浮球機(jī)構(gòu)。

10.一種硅片生產(chǎn)系統(tǒng)，其特征在于，包括權(quán)利要求1-9任一項(xiàng)所述的硅片清洗機(jī)的供水裝置。