[實用新型]一種硅片用新型拋光裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201721072115.7
• 申請日: 2017-08-25
• 公開（公告）號: CN207120063U
• 公開（公告）日: 2018-03-20
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 汪偉華
• 申請（專利權(quán)）人: 浙江羿陽太陽能科技有限公司
• 主分類號: B24B1/04
• 分類號: B24B1/04;B24B55/00
• 代理公司: 杭州賽科專利代理事務(wù)所(普通合伙)33230
• 代理人: 陳俊波

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及硅片拋光設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及一種硅片用新型拋光裝置。

背景技術(shù)

微電子技術(shù)正在悄悄走進(jìn)航空、航天、工業(yè)、農(nóng)業(yè)和國防，也正在悄悄進(jìn)入每一個家庭。小小硅片的巨大“魔力”是我們的前人根本無法想象的。硅片制成的芯片是有名的“神算子”，有著驚人的運算能力。無論多么復(fù)雜的數(shù)學(xué)問題、物理問題和工程問題，也無論計算的工作量有多大，工作人員只要通過計算機(jī)鍵盤把問題告訴它，并下達(dá)解題的思路和指令，計算機(jī)就能在極短的時間內(nèi)把答案告訴你。這樣，那些人工計算需要花費數(shù)年、數(shù)十年時間的問題，計算機(jī)可能只需要幾分鐘就可以解決。甚至有些人力無法計算出結(jié)果的問題，計算機(jī)也能很快告訴你答案。在大型電子計算機(jī)的控制下，無人飛機(jī)可以自由地在藍(lán)天飛翔；人造衛(wèi)星、宇宙飛船、航天飛機(jī)可以準(zhǔn)確升空、飛行、定位，并自動向地面發(fā)回各種信息。在電子計算機(jī)的指揮下，火炮、導(dǎo)彈可以彈無虛發(fā)，準(zhǔn)確擊中目標(biāo)，甚至可以準(zhǔn)確擊中空中快速移動目標(biāo)，包括敵方正在飛行中的導(dǎo)彈。工業(yè)中廣泛使用計算機(jī)和各種傳感技術(shù)，可以節(jié)省人力，提高自動化程度及加工精度，大大提高勞動生產(chǎn)效率。機(jī)器人已在許多工業(yè)領(lǐng)域中出現(xiàn)。

目前我國使用的硅片拋光裝置不能夠在對硅片拋光的同時進(jìn)行清洗，容易導(dǎo)致拋光時的磨砂小顆粒對硅片上造成劃痕。

實用新型內(nèi)容

本實用新型的目的就在于為了解決上述問題而提供一種硅片用新型拋光裝置。

本實用新型通過以下技術(shù)方案來實現(xiàn)上述目的：

一種硅片用新型拋光裝置，包括拋光裝置殼體、三相驅(qū)動電機(jī)、超聲波發(fā)生器和液體流出管，所述拋光裝置殼體上方安裝有保護(hù)軸承，所述保護(hù)軸承上方安裝有傳動軸，所述傳動軸上方安裝有所述三相驅(qū)動電機(jī)，所述三相驅(qū)動電機(jī)上方設(shè)置有拋光清洗槽，所述拋光清洗槽上方安裝有拋光磨片，所述拋光磨片上方安裝有超聲傳輸管，所述超聲傳輸管上方連接有所述超聲波發(fā)生器，所述超聲波發(fā)生器下方安裝有超聲波發(fā)射探頭，所述超聲波發(fā)射探頭下方安裝有硅片放置槽，所述硅片放置槽下方連通有減震彈簧，所述拋光裝置殼體外側(cè)安裝有所述液體流出管，所述拋光裝置殼體頂部安裝有外部電源插口。

為了進(jìn)一步提高硅片用新型拋光裝置的使用功能，所述拋光裝置殼體內(nèi)部設(shè)置有所述保護(hù)軸承，所述傳動軸與所述三相驅(qū)動電機(jī)連接。

為了進(jìn)一步提高硅片用新型拋光裝置的使用功能，所述拋光清洗槽內(nèi)部設(shè)置有所述拋光磨片，所述超聲傳輸管與所述超聲波發(fā)射探頭之間卡接。

為了進(jìn)一步提高硅片用新型拋光裝置的使用功能，所述超聲波發(fā)射探頭與所述超聲波發(fā)生器連接，所述減震彈簧與所述硅片放置槽連接。

為了進(jìn)一步提高硅片用新型拋光裝置的使用功能，所述外部電源插口與所述三相驅(qū)動電機(jī)連接。

為了進(jìn)一步提高硅片用新型拋光裝置的使用功能，所述拋光裝置殼體為粉末橡膠壓制而成，表面進(jìn)行噴塑處理。

為了進(jìn)一步提高硅片用新型拋光裝置的使用功能，所述拋光磨片上有兩個通孔，與所述超聲傳輸管連接。

為了進(jìn)一步提高硅片用新型拋光裝置的使用功能，所述拋光磨片可以進(jìn)行左右移動，對硅片進(jìn)行拋光。

本實用新型的有益效果在于：能夠在對硅片拋光的同時對其表面進(jìn)行超聲波清洗，能夠有效防止在拋光時掉落的小顆粒粘附在拋光磨片上，對硅片造成劃痕。

附圖說明

圖1是本實用新型一種硅片用新型拋光裝置的主視圖；

圖2是本實用新型一種硅片用新型拋光裝置的左視圖；

圖3是本實用新型一種硅片用新型拋光裝置的俯視圖。

附圖標(biāo)記說明如下：

1、拋光裝置殼體；2、保護(hù)軸承；3、傳動軸；4、三相驅(qū)動電機(jī)；5、拋光清洗槽；6、拋光磨片；7、超聲傳輸管；8、超聲波發(fā)生器；9、超聲波發(fā)射探頭；10、硅片放置槽；11、減震彈簧；12、液體流出管；13、外部電源插口。

具體實施方式

下面結(jié)合附圖對本實用新型作進(jìn)一步說明：