[實用新型]一種硅片用新型拋光裝置有效
| 申請號： | 201721072115.7 | 申請日： | 2017-08-25 |
| 公開（公告）號： | CN207120063U | 公開（公告）日： | 2018-03-20 |
| 發明（設計）人： | 汪偉華 | 申請（專利權）人： | 浙江羿陽太陽能科技有限公司 |
| 主分類號： | B24B1/04 | 分類號： | B24B1/04;B24B55/00 |
| 代理公司： | 杭州賽科專利代理事務所(普通合伙)33230 | 代理人： | 陳俊波 |
| 地址： | 313299 浙江省*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 硅片 新型 拋光 裝置 | ||
1.一種硅片用新型拋光裝置，其特征在于：包括拋光裝置殼體（1）、三相驅動電機（4）、超聲波發生器（8）和液體流出管（12），所述拋光裝置殼體（1）上方安裝有保護軸承（2），所述保護軸承（2）上方安裝有傳動軸（3），所述傳動軸（3）上方安裝有所述三相驅動電機（4），所述三相驅動電機（4）上方設置有拋光清洗槽（5），所述拋光清洗槽（5）上方安裝有拋光磨片（6），所述拋光磨片（6）上方安裝有超聲傳輸管（7），所述超聲傳輸管（7）上方連接有所述超聲波發生器（8），所述超聲波發生器（8）下方安裝有超聲波發射探頭（9），所述超聲波發射探頭（9）下方安裝有硅片放置槽（10），所述硅片放置槽（10）下方連通有減震彈簧（11），所述拋光裝置殼體（1）外側安裝有所述液體流出管（12），所述拋光裝置殼體（1）頂部安裝有外部電源插口（13）。
2.根據權利要求1所述的一種硅片用新型拋光裝置，其特征在于：所述拋光裝置殼體（1）內部設置有所述保護軸承（2），所述傳動軸（3）與所述三相驅動電機（4）連接。
3.根據權利要求1所述的一種硅片用新型拋光裝置，其特征在于：所述拋光清洗槽（5）內部設置有所述拋光磨片（6），所述超聲傳輸管（7）與所述超聲波發射探頭（9）之間卡接。
4.根據權利要求1所述的一種硅片用新型拋光裝置，其特征在于：所述超聲波發射探頭（9）與所述超聲波發生器（8）連接，所述減震彈簧（11）與所述硅片放置槽（10）連接。
5.根據權利要求1所述的一種硅片用新型拋光裝置，其特征在于：所述外部電源插口（13）與所述三相驅動電機（4）連接。
6.根據權利要求1所述的一種硅片用新型拋光裝置，其特征在于：所述拋光裝置殼體（1）為粉末橡膠壓制而成，表面進行噴塑處理。
7.根據權利要求1所述的一種硅片用新型拋光裝置，其特征在于：所述拋光磨片（6）上有兩個通孔，與所述超聲傳輸管（7）連接。
8.根據權利要求1所述的一種硅片用新型拋光裝置，其特征在于：所述拋光磨片（6）可以進行左右移動，對硅片進行拋光。
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