[實用新型]一種冷卻液循環系統

有效

• 申請號: 201721065748.5
• 申請日: 2017-08-24
• 公開（公告）號: CN207958287U
• 公開（公告）日: 2018-10-12
• 發明（設計）人: 石海濤;劉曉偉;范猛;劉琦;劉濤;趙朋占;王少剛;辛超;劉沛然;楊旭洲;李建揚;米心愿;劉超;張猛;李彥楠;王宏偉;李海彬;邱長興;孫青格勒;王心;賈瑞波
• 申請（專利權）人: 天津市環歐半導體材料技術有限公司
• 主分類號: C10M175/00
• 分類號: C10M175/00;B28D7/02
• 代理公司: 天津諾德知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 12213
• 代理人: 欒志超

一種冷卻液循環系統，包括廢液回收裝置，所述廢液回收裝置依次與廢液收集池、壓濾機、一次檢驗裝置、預調配罐、調配裝置、二次檢驗裝置、精濾器、流量調節裝置、供給泵、線切機進液口連接；所述調配裝置和所述預調配罐之間設有濃度檢測裝置；所述供給泵和所述流量調節裝置之間設有無壓過濾器。本實用新型的有益效果是：RO水的回收率能達到90％以上，冷卻液的回收率能達到80％以上，可降低冷卻液成本30％?60％；壓濾機和精濾器的二級過濾能夠保障供液中硅粉含量<1‰。

技術領域

本申請屬于硅片切割技術領域，具體地說，涉及一種冷卻液循環系統。

背景技術

硅晶片廣泛應用在光伏太陽能、液晶顯示和半導體領域，因此采用切割硅塊制得硅片的技術也得以發展。目前光伏行業所用晶體硅片的切割主要采用多線切割技術。多線切割是近年來發展成熟的新型硅片切割技術，其機理為機器槽輪在高速運轉中帶動纏繞在槽輪上的鋼線，從而由鋼線將切割液和碳化硅微粉混合的砂漿送到切割區，在鋼線的高速運轉中與壓在線網上的工件通過連續摩擦完成切割的過程。在此過程中會產生大量的熱量，需要時時進行冷卻。現有硅片加工過程中冷卻需要消耗大量RO水及冷卻液，使用過后的廢液中含有大量有機物，直接排放不僅存在污染環境的問題，還會造成資源的浪費。

發明內容

有鑒于此，本申請所要解決的技術問題是提供了一種冷卻液循環系統，通過對切割廢液回收利用達到降低成本、節約資源、保護環境的效果。

為了解決上述技術問題，本申請公開了一種冷卻液循環系統，并采用以下技術方案來實現。

一種冷卻液循環系統，包括廢液回收裝置，所述廢液回收裝置一端與線切機廢液出口連接，另一端與廢液收集池連接，所述廢液收集池通過潛水泵與壓濾機連接，所述壓濾機與一次檢驗裝置連接，所述一次檢驗裝置與預調配罐連接，所述預調配罐與調配裝置連接；所述調配裝置和所述預調配罐之間設有濃度檢測裝置；所述調配裝置與二次檢驗裝置連接，所述二次檢驗裝置與精濾器連接，所述精濾器通過供液管道與供給泵連接，所述供給泵前設有流量調節裝置，所述供給泵與線切機進液口連接。

進一步的，所述壓濾機過濾精度為直徑范圍在100μm～300μm之間的顆粒。

進一步的，所述精濾器過濾精度為直徑范圍在50μm-100μm之間的顆粒。

進一步的，所述一次檢驗裝置和/或所述二次檢測裝置包括粘度測試儀、電導率測試儀和PH值測試儀。

進一步的，所述電導率測試儀設置在水浴加熱器內或水浴加熱器后。

優選的，所述水浴加熱器的加熱溫度為25攝氏度。

優選的，所述精濾器后設有液體留樣裝置。

進一步的，所述流量調節裝置為浮子流量計。

進一步的，所述流量調節裝置和所述供給泵之間設有無壓過濾器。

優選的，所述無壓過濾器為活性炭過濾器。

與現有技術相比，本申請可以獲得包括以下技術效果：除去硅粉攜帶、蒸發的損失，RO水的回收率能達到90％以上，冷卻液的回收率能達到80％以上，可降低冷卻液成本30％-60％；壓濾機和精濾器的二級過濾精度能夠保障供液中硅粉含量&lt;1‰。

當然，實施本申請的任一產品必不一定需要同時達到以上所述的所有技術效果。

附圖說明

此處所說明的附圖用來提供對本申請的進一步理解，構成本申請的一部分，本申請的示意性實施例及其說明用于解釋本申請，并不構成對本申請的不當限定。在附圖中：

圖1是本申請冷卻液循環系統結構示意圖。

具體實施方式