[實用新型]一種冷卻液循環系統

有效

• 申請號: 201721065748.5
• 申請日: 2017-08-24
• 公開（公告）號: CN207958287U
• 公開（公告）日: 2018-10-12
• 發明（設計）人: 石海濤;劉曉偉;范猛;劉琦;劉濤;趙朋占;王少剛;辛超;劉沛然;楊旭洲;李建揚;米心愿;劉超;張猛;李彥楠;王宏偉;李海彬;邱長興;孫青格勒;王心;賈瑞波
• 申請（專利權）人: 天津市環歐半導體材料技術有限公司
• 主分類號: C10M175/00
• 分類號: C10M175/00;B28D7/02
• 代理公司: 天津諾德知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 12213
• 代理人: 欒志超

1.一種冷卻液循環系統，其特征在于：包括廢液回收裝置，所述廢液回收裝置一端與線切機廢液出口連接，另一端與廢液收集池連接，所述廢液收集池通過潛水泵與壓濾機連接，所述壓濾機與一次檢驗裝置連接，所述一次檢驗裝置與預調配罐連接，所述預調配罐與調配裝置連接；所述調配裝置和所述預調配罐之間設有濃度檢測裝置；所述調配裝置與二次檢驗裝置連接，所述二次檢驗裝置與精濾器連接，所述精濾器通過供液管道與供給泵連接，所述供給泵前設有流量調節裝置，所述供給泵與線切機進液口連接。

2.根據權利要求1所述冷卻液循環系統，其特征在于：所述壓濾機過濾精度為直徑范圍在100μm～300μm之間的顆粒。

3.根據權利要求1所述冷卻液循環系統，其特征在于：所述精濾器過濾精度為直徑范圍在50μm-100μm之間的顆粒。

4.根據權利要求1-3任一所述冷卻液循環系統，其特征在于：所述一次檢驗裝置和/或所述二次檢驗裝置包括粘度測試儀、電導率測試儀和PH值測試儀。

5.根據權利要求4所述冷卻液循環系統，其特征在于：所述電導率測試儀設置在水浴加熱器內或水浴加熱器后。

6.根據權利要求5所述冷卻液循環系統，其特征在于：所述水浴加熱器的加熱溫度為20-30攝氏度。

7.根據權利要求1-3、5-6任一所述冷卻液循環系統，其特征在于：所述精濾器后設有液體留樣裝置。

8.根據權利要求7所述冷卻液循環系統，其特征在于：所述流量調節裝置為浮子流量計。

9.根據權利要求1-3、5-6、8任一所述冷卻液循環系統，其特征在于：所述流量調節裝置和所述供給泵之間設有無壓過濾器。

10.根據權利要求9所述冷卻液循環系統，其特征在于：所述無壓過濾器為活性炭過濾器。