[實(shí)用新型]一種光刻機(jī)光源漏光監(jiān)測系統(tǒng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201721061142.4
• 申請日: 2017-08-23
• 公開（公告）號: CN207281466U
• 公開（公告）日: 2018-04-27
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 牟宏惺
• 申請（專利權(quán)）人: 成都海威華芯科技有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 成都華風(fēng)專利事務(wù)所(普通合伙)51223
• 代理人: 徐豐,張巨箭

1.一種光刻機(jī)光源漏光監(jiān)測系統(tǒng)，包括光刻機(jī)本體，其特征在于，所述光刻機(jī)本體的遮光器遠(yuǎn)離光源的一側(cè)設(shè)置有光電探測器，光電探測器通過光電模塊與光刻機(jī)本體的主控制模塊電連接；所述光電探測器包括圓環(huán)狀的基座，基座的內(nèi)壁上均勻分布有若干沿基座徑向設(shè)置的光電探測針。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光刻機(jī)光源漏光監(jiān)測系統(tǒng)，其特征在于，所述光電探測針至少有2根。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光刻機(jī)光源漏光監(jiān)測系統(tǒng)，其特征在于，所述基座內(nèi)部設(shè)置有若干與光電探測針一一對應(yīng)的第二動力機(jī)構(gòu)，第二動力機(jī)構(gòu)的輸出端與光電探測針連接，且?guī)庸怆娞綔y針做直線運(yùn)動，第二動力機(jī)構(gòu)與所述主控制模塊電連接。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的光刻機(jī)光源漏光監(jiān)測系統(tǒng)，其特征在于，所述第二動力機(jī)構(gòu)為電動絲桿。