[實用新型]一種清洗管結構及晶圓修邊機臺

有效

• 申請號: 201721059495.0
• 申請日: 2017-08-23
• 公開（公告）號: CN207282463U
• 公開（公告）日: 2018-04-27
• 發明（設計）人: 吳虎;詹明松
• 申請（專利權）人: 武漢新芯集成電路制造有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67
• 代理公司: 上海申新律師事務所31272
• 代理人: 俞滌炯

1.一種清洗管結構，適用于晶圓修邊機臺內，所述晶圓修邊機臺包括一用于放置晶圓的轉盤、一設置于所述轉盤邊緣處的刀具，所述刀具可旋轉地設置于一轉軸上，其特征在于，所述清洗管結構包括：

清洗噴管，設置于所述轉盤的上方并包圍所述刀具的修切區域，所述清洗噴管包括一開口端和一封閉端，并于所述開口端向所述清洗噴管內輸送高壓清洗液；

復數個噴嘴，設置于所述清洗噴管朝向所述刀具的一側上并與所述清洗噴管連通，每個所述噴嘴的噴頭朝向所述刀具的修切區域。

2.如權利要求1所述的清洗管結構，其特征在于，每個所述噴嘴與水平方向的夾角為45度。

3.如權利要求1所述的清洗管結構，其特征在于，還包括一支架，固定于所述轉軸上；

所述支架包括兩個對稱設置的支撐臂，兩個所述支撐臂分別從所述刀具的兩側伸至所述轉盤的上方；

所述清洗噴管跨接于兩個所述支撐臂上。

4.如權利要求3所述的清洗管結構，其特征在于，還包括一輸水管道，所述輸水管道通過所述開口端與所述清洗噴管連通，所述清洗液通過所述輸水管道輸送至所述清洗噴管內；

所述輸水管道固定于所述轉軸以及一個所述支撐臂上。

5.如權利要求1所述的清洗管結構，其特征在于，所述清洗噴管為朝向所述刀具彎曲的弧形結構。

6.如權利要求1所述的清洗管結構，其特征在于，所述清洗液為二氧化碳水溶液。

7.如權利要求1所述的清洗管結構，其特征在于，所述噴嘴為扇型噴嘴。

8.如權利要求1所述的清洗管結構，其特征在于，所述清洗噴管內所述清洗液的壓力為0.5MPa。

9.一種晶圓修邊機臺，其特征在于，包括如權利要求1-8中任一所述的清洗管結構。