[實用新型]一種膜表面缺陷檢測裝置

有效

• 申請號: 201721045488.5
• 申請日: 2017-08-21
• 公開（公告）號: CN207215722U
• 公開（公告）日: 2018-04-10
• 發明（設計）人: 張梁;董玉靜;李波;溫曄;陳維華
• 申請（專利權）人: 中導光電設備股份有限公司
• 主分類號: G01N21/88
• 分類號: G01N21/88;G01N21/95
• 代理公司: 廣州維智林專利代理事務所(普通合伙)44448
• 代理人: 趙曉慧

技術領域

本實用新型涉及一種膜表面缺陷檢測裝置，具體涉及一種利用明暗場光源進行膜表面缺陷檢測的裝置。

背景技術

OLED柔性屏采用柔性材料作為基板, 此基板為一層很薄的膜, 此膜表面非常小的突起都會對后續工藝產生影響, 導致良率下降, 因此需要將其檢測并識別出來。現有檢測技術分為高速平面檢測和低速立體檢測，先用高速平面檢測將疑似缺陷檢測出來，再用低速立體檢測識別出來真實缺陷，效率較低，無法滿足產業需求。

現有已公開中國實用新型專利申請號201510412058.1，公開了一種OLED基板蒸鍍結構以及OLED掩膜缺陷檢測方法，該結構包括：基板；貼合于基板表面的掩膜；以及設置于所述基板和所述掩膜之間的壓電感測薄膜。該實用新型的OLED基板蒸鍍結構可以在對基板蒸鍍之前發現掩膜存在的缺陷。這種提前檢測的方式可以避免在制作出成品之后發現掩膜存在的問題，從而產品的穩定性以及良率。

然而上述專利技術中需要特別設立壓電感測薄膜，提高了檢測成本，也是當前需要克服的問題。

另外，本申請人的已公開中國實用新型專利申請號201510320557.8公開了一種玻璃表面缺陷增強裝置及其監測方法，公開了一種玻璃表面缺陷增強檢測裝置，包括明場照明光路、暗場照明光路、掃描成像鏡頭、線陣圖像傳感器。被測玻璃經進料傳送帶輸送到運動臺，依次開啟明場線光源，掃描成像鏡頭、線陣圖像傳感器進行明場成像；隨后關閉明場線光源，激光器發出激光經鮑威爾棱鏡、準直器變換為線光源，掃描成像鏡頭、線陣圖像傳感器進行暗場成像；明場成像、暗場成像后的數據由智能系統統計分析其表面的缺陷信息，并匯總輸出，通過對缺陷的嚴重程度的判斷，提高對不良品的檢出效果，提高產品的質量。

然而，上述方法不能簡單的轉用到膜表面缺陷檢測上，需要對具體的元件設置和檢測方法進行進一步的改進。

發明內容

為解決以上問題，本實用新型結合亮場和暗場側光的特性，采用兩者的混合照明，實現對OLED柔性膜表面小突起的快速檢測和識別。

具體的，根據本實用新型的一個方面，提供了一種膜表面缺陷檢測裝置，所述裝置包括：暗場照明光路、亮場照明光路、半反半透鏡、全反鏡、成像鏡頭、線掃相機；其中，成像鏡頭和線掃相機位于半反半透鏡的豎直方向上方，成像鏡頭位于線掃相機與半反半透鏡之間；亮場照明光路位于半反半透鏡的水平方向一側，全反鏡位于半反半透鏡的水平方向與亮場照明光路呈180度相位的另一側。

優選的，所述半反半透鏡與水平方向呈45度角放置。

優選的，所述暗場照明光路從下到上包括暗場聚焦透鏡、導光板、暗場線光源，導光板和暗場線光源位于暗場聚焦透鏡的焦平面上，所述暗場聚焦透鏡的焦平面與水平方向呈銳角放置。

更優選的，所述銳角為45度或60度。

優選的，所述亮場照明光路包括亮場聚焦透鏡和亮場線光源，其中亮場聚焦透鏡位于亮場線光源和半反半透鏡之間。

本實用新型的優點在于：

本實用新型通過對缺陷的嚴重程度的判斷，實現對OLED柔性膜表面小突起的快速檢測和識別，提高對不良品的檢出效果，提高產品的質量。

附圖說明

通過閱讀下文優選實施方式的詳細描述，各種其他的優點和益處對于本領域普通技術人員將變得清楚明了。附圖僅用于示出優選實施方式的目的，而并不認為是對本實用新型的限制。而且在整個附圖中，用相同的參考符號表示相同的部件。在附圖中：

附圖1示出了根據本實用新型實施方式的膜表面缺陷檢測裝置的光路原理圖。

附圖2示出了根據本實用新型實施方式的膜表面缺陷檢測裝置的側視圖。

附圖3示出了根據本實用新型實施方式的膜表面缺陷檢測裝置的背視圖。

具體實施方式

下面將參照附圖更詳細地描述本公開的示例性實施方式。雖然附圖中顯示了本公開的示例性實施方式，然而應當理解，可以以各種形式實現本公開而不應被這里闡述的實施方式所限制。相反，提供這些實施方式是為了能夠更透徹地理解本公開，并且能夠將本公開的范圍完整的傳達給本領域的技術人員。