[實用新型]一種膜表面缺陷檢測裝置有效
| 申請號： | 201721045488.5 | 申請日： | 2017-08-21 |
| 公開（公告）號： | CN207215722U | 公開（公告）日： | 2018-04-10 |
| 發明（設計）人： | 張梁;董玉靜;李波;溫曄;陳維華 | 申請（專利權）人： | 中導光電設備股份有限公司 |
| 主分類號： | G01N21/88 | 分類號： | G01N21/88;G01N21/95 |
| 代理公司： | 廣州維智林專利代理事務所(普通合伙)44448 | 代理人： | 趙曉慧 |
| 地址： | 526238 廣東省肇慶市*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 表面 缺陷 檢測 裝置 | ||
【權利要求書】：
1.一種膜表面缺陷檢測裝置，其特征在于：
所述裝置包括：暗場照明光路、亮場照明光路、半反半透鏡、全反鏡、成像鏡頭、線掃相機；其中，成像鏡頭和線掃相機位于半反半透鏡的豎直方向上方，成像鏡頭位于線掃相機與半反半透鏡之間；亮場照明光路位于半反半透鏡的水平方向一側，全反鏡位于半反半透鏡的水平方向與亮場照明光路呈180度相位的另一側。
2.根據權利要求1所述的一種膜表面缺陷檢測裝置，其特征在于：
所述半反半透鏡與水平方向呈45度角放置。
3.根據權利要求1或2所述的一種膜表面缺陷檢測裝置，其特征在于：
所述暗場照明光路從下到上包括暗場聚焦透鏡、導光板、暗場線光源，導光板和暗場線光源位于暗場聚焦透鏡的焦平面上，所述暗場聚焦透鏡的焦平面與水平方向呈銳角放置。
4.根據權利要求3所述的一種膜表面缺陷檢測裝置，其特征在于：
所述銳角為45度或60度。
5.根據權利要求1或2所述的一種膜表面缺陷檢測裝置，其特征在于：
所述亮場照明光路包括亮場聚焦透鏡和亮場線光源，其中亮場聚焦透鏡位于亮場線光源和半反半透鏡之間。
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