[實(shí)用新型]一種硅片花籃固定機(jī)構(gòu)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201721024399.2
• 申請(qǐng)日: 2017-08-15
• 公開（公告）號(hào): CN207082521U
• 公開（公告）日: 2018-03-09
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 信廣志;孫榕
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 天津創(chuàng)昱達(dá)科技有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/683
• 分類號(hào): H01L21/683;H01L21/68
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及硅片加工技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種硅片花籃固定機(jī)構(gòu)。

背景技術(shù)

硅片自動(dòng)插片機(jī)包括硅片傳送機(jī)構(gòu)、在線檢測機(jī)構(gòu)、壞片剔除機(jī)構(gòu)以及花籃提升機(jī)構(gòu)，所述硅片傳送機(jī)構(gòu)用于單個(gè)硅片的傳送，將硅片傳送至在線檢測機(jī)構(gòu)處，在線檢測機(jī)構(gòu)對(duì)硅片進(jìn)行檢測，檢測出的壞片經(jīng)過壞片剔除機(jī)構(gòu)剔除，好片繼續(xù)經(jīng)硅片傳送機(jī)構(gòu)傳送至硅片花籃處，硅片花籃安裝于硅片花籃提升機(jī)構(gòu)上，經(jīng)過花籃提成機(jī)構(gòu)一點(diǎn)一點(diǎn)向上提升，每當(dāng)有一篇硅片每插進(jìn)硅片花籃中，所述花籃提升機(jī)構(gòu)攜帶硅片花籃向上移動(dòng)一格。

在將硅片花籃安裝于花籃提升機(jī)構(gòu)上時(shí)，經(jīng)常出現(xiàn)硅片花籃與花籃提升機(jī)構(gòu)之間配合不緊密，花籃傾斜等問題。

實(shí)用新型內(nèi)容

有鑒于此，本實(shí)用新型提供一種硅片花籃固定機(jī)構(gòu)，能夠?qū)崿F(xiàn)對(duì)硅片花籃的精確定位。

本實(shí)用新型提供一種硅片花籃固定機(jī)構(gòu)，所述花籃固定機(jī)構(gòu)包括豎直設(shè)置的硅片花籃固定架以及與所述硅片花籃固定架配套使用的硅片花籃，其特征在于：所述硅片花籃固定架包括：

花籃支撐座，所述花籃支撐座為水平設(shè)置的平板，所述花籃支撐座上設(shè)置有限位突出桿；

豎直支撐桿，所述豎直支撐桿設(shè)置于所述花籃支撐座的一側(cè)，與所述花籃支撐座垂直設(shè)置；以及

頂部限位板，所述頂部限位板上設(shè)置有限位爪以及花籃夾持裝置。

優(yōu)選地，所述硅片花籃包括平行設(shè)置的上端板和下端板，所述上端板和下端板之間設(shè)置有定位桿和加強(qiáng)桿；

所述上端板和下端板為U型板，所述U型板包括橫置的主板以及與所述主板分別垂直的兩個(gè)支腳，所述兩個(gè)支腳之間形成第一凹槽；

所述加強(qiáng)桿分別設(shè)置于所述主板的中部以及兩個(gè)支腳上，所述定位桿設(shè)置于所述主板的兩個(gè)頂角處，所述上端板和下端板上與所述定位桿對(duì)應(yīng)的位置上分別設(shè)置有多個(gè)掛耳軸。

優(yōu)選地，所述花籃支撐座遠(yuǎn)離所述豎直支撐桿的一端設(shè)置有第二凹槽，所述第二凹槽與所述第一凹槽相匹配。

優(yōu)選地，所述限位突出桿頂部設(shè)置有安裝部，所述安裝部上安裝有定位輪，所述定位輪上設(shè)置有定位卡槽；

所述限位突出桿的高度與所述掛耳軸的高度相等。

優(yōu)選地，所述限位爪包括安裝座、支撐桿以及限位尖爪，所述限位爪通過安裝座安裝于所述頂部限位板上，所述支撐桿與所述安裝座垂直設(shè)置，所述限位尖爪與所述支撐桿垂直設(shè)置。

優(yōu)選地，所述花籃夾持裝置設(shè)置于所述限位爪中間，所述花籃夾持裝置包括左夾持臂和右夾持臂，所述左夾持臂和所述右夾持臂相對(duì)設(shè)置，所述左夾持臂和所述右夾持臂相對(duì)的一側(cè)分別設(shè)置有左夾持工裝和右夾持工裝，所述左夾持工裝和所述右夾持工裝相對(duì)的一端分別設(shè)置有半圓形的夾持口。

優(yōu)選地，所述左夾持臂和所述右夾持臂分別連接有驅(qū)動(dòng)氣缸，所述驅(qū)動(dòng)氣缸驅(qū)動(dòng)所述左夾持臂和所述右夾持臂靠近或者遠(yuǎn)離。

本實(shí)用新型具有的優(yōu)點(diǎn)和積極效果是：本實(shí)用新型的硅片花籃固定機(jī)構(gòu)，能夠?qū)杵ɑ@實(shí)現(xiàn)精確的定位以及固定，使得硅片花籃在插片的過程中保持不動(dòng)。

附圖說明

圖1是本實(shí)用新型的硅片花籃固定架的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2是本實(shí)用新型的硅片花籃的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3是本實(shí)用新型的花籃夾持裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實(shí)施方式

為了更好的理解本實(shí)用新型，下面結(jié)合具體實(shí)施例和附圖對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行進(jìn)一步的描述。

如圖1和圖2所示，本實(shí)用新型提供一種硅片花籃固定機(jī)構(gòu)，所述花籃固定機(jī)構(gòu)包括豎直設(shè)置的硅片花籃固定架1以及與所述硅片花籃固定架配套使用的硅片花籃2。

其中，所述硅片花籃固定架1包括：花籃支撐座3、豎直支撐桿4以及頂部限位板5；進(jìn)一步地，所述花籃支撐座3為水平設(shè)置的平板，所述花籃支撐座3上設(shè)置有限位突出桿31；所述豎直支撐桿4設(shè)置于所述花籃支撐座3的一側(cè)，與所述花籃支撐座3垂直設(shè)置；所述頂部限位板5上設(shè)置有限位爪51以及花籃夾持裝置52。

進(jìn)一步地，所述硅片花籃2包括平行設(shè)置的上端板21和下端板22，所述上端板21和下端板22之間設(shè)置有定位桿27和加強(qiáng)桿23；所述上端板21和下端板22為U型板，所述U型板包括橫置的主板24以及與所述主板分別垂直的兩個(gè)支腳25，所述兩個(gè)支腳25之間形成第一凹槽26；所述加強(qiáng)桿23分別設(shè)置于所述主板24的中部以及兩個(gè)支腳25上，所述定位桿27設(shè)置于所述主板24的兩個(gè)頂角處，所述上端板21和下端板22上與所述定位桿27對(duì)應(yīng)的位置上分別設(shè)置有多個(gè)掛耳軸28。