[實用新型]一種硅片花籃固定機構

有效

• 申請號: 201721024399.2
• 申請日: 2017-08-15
• 公開（公告）號: CN207082521U
• 公開（公告）日: 2018-03-09
• 發明（設計）人: 信廣志;孫榕
• 申請（專利權）人: 天津創昱達科技有限公司
• 主分類號: H01L21/683
• 分類號: H01L21/683;H01L21/68
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種硅片花籃固定機構，所述花籃固定機構包括豎直設置的硅片花籃固定架以及與所述硅片花籃固定架配套使用的硅片花籃，其特征在于：所述硅片花籃固定架包括：

花籃支撐座，所述花籃支撐座為水平設置的平板，所述花籃支撐座上設置有限位突出桿；

豎直支撐桿，所述豎直支撐桿設置于所述花籃支撐座的一側，與所述花籃支撐座垂直設置；以及

頂部限位板，所述頂部限位板上設置有限位爪以及花籃夾持裝置。

2.根據權利要求1所述的硅片花籃固定機構，其特征在于：所述硅片花籃包括平行設置的上端板和下端板，所述上端板和下端板之間設置有定位桿和加強桿；

所述上端板和下端板為U型板，所述U型板包括橫置的主板以及與所述主板分別垂直的兩個支腳，所述兩個支腳之間形成第一凹槽；

所述加強桿分別設置于所述主板的中部以及兩個支腳上，所述定位桿設置于所述主板的兩個頂角處，所述上端板和下端板上與所述定位桿對應的位置上分別設置有多個掛耳軸。

3.根據權利要求2所述的硅片花籃固定機構，其特征在于：所述花籃支撐座遠離所述豎直支撐桿的一端設置有第二凹槽，所述第二凹槽與所述第一凹槽相匹配。

4.根據權利要求2所述的硅片花籃固定機構，其特征在于：所述限位突出桿頂部設置有安裝部，所述安裝部上安裝有定位輪，所述定位輪上設置有定位卡槽；

所述限位突出桿的高度與所述掛耳軸的高度相等。

5.根據權利要求1所述的硅片花籃固定機構，其特征在于：所述限位爪包括安裝座、支撐桿以及限位尖爪，所述限位爪通過安裝座安裝于所述頂部限位板上，所述支撐桿與所述安裝座垂直設置，所述限位尖爪與所述支撐桿垂直設置。

6.根據權利要求1所述的硅片花籃固定機構，其特征在于：所述花籃夾持裝置設置于所述限位爪中間，所述花籃夾持裝置包括左夾持臂和右夾持臂，所述左夾持臂和所述右夾持臂相對設置，所述左夾持臂和所述右夾持臂相對的一側分別設置有左夾持工裝和右夾持工裝，所述左夾持工裝和所述右夾持工裝相對的一端分別設置有半圓形的夾持口。

7.根據權利要求6所述的硅片花籃固定機構，其特征在于：所述左夾持臂和所述右夾持臂分別連接有驅動氣缸，所述驅動氣缸驅動所述左夾持臂和所述右夾持臂靠近或者遠離。