[實用新型]一種具有雙頭機械手的硅片空滿籃互換設(shè)備

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201721021092.7
• 申請日: 2017-08-15
• 公開（公告）號: CN207398102U
• 公開（公告）日: 2018-05-22
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 信廣志;孫榕
• 申請（專利權(quán)）人: 天津創(chuàng)昱達(dá)科技有限公司
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677;H01L21/687
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本實用新型提供一種具有雙頭機械手的硅片空滿籃互換設(shè)備，包括底座、立柱、橫梁、X向驅(qū)動機構(gòu)、X向移動塊、Z向移動機構(gòu)、滿籃取放機構(gòu)、空籃取放機構(gòu)和倒籃機構(gòu)，底座上豎直設(shè)置立柱，立柱的上端水平設(shè)置橫梁，橫梁上設(shè)置X向驅(qū)動機構(gòu)，X向驅(qū)動機構(gòu)上設(shè)置X向移動塊，X向移動塊的前壁面上設(shè)置Z向移動機構(gòu)，Z向移動機構(gòu)上相對應(yīng)設(shè)置滿籃取放機構(gòu)與空籃取放機構(gòu)，滿籃取放機構(gòu)設(shè)置為可旋轉(zhuǎn)90度，倒籃機構(gòu)設(shè)置于底座上，倒籃機構(gòu)可翻轉(zhuǎn)90度，倒籃機構(gòu)設(shè)置于靠近滿籃取放機構(gòu)的一側(cè)。本實用新型采用該設(shè)備，能夠?qū)崿F(xiàn)硅片清洗完成后的一體化空滿籃互換過程，保證生產(chǎn)效率，且使得整體空間占據(jù)較小，降低能耗，并可節(jié)約生產(chǎn)成本。

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及硅片生產(chǎn)用輔助設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種具有雙頭機械手的硅片空滿籃互換設(shè)備。

背景技術(shù)

在半導(dǎo)體器件生產(chǎn)中，因微量污染也會導(dǎo)致器件失效，故硅片須進(jìn)行嚴(yán)格的清洗工藝。硅片清洗的目的在于清除其表面的污染雜質(zhì)，包括有機污染和無機污染，有機污染包括光刻膠、有機溶劑殘留物、合成蠟和人接觸器件、工具、器皿帶來的油脂或纖維，而無機污染包括重金屬金、銅、鐵、鉻等，這些重金屬不僅會嚴(yán)重影響少數(shù)載流子壽命和表面電導(dǎo)，而且會引起嚴(yán)重漏電。清除硅片上污物的方法通常包括物理清洗和化學(xué)清洗兩種，在硅片清洗結(jié)束后，需對其進(jìn)行快速整理收集以避免長時間暴露于環(huán)境中造成二次污染，同時，為保證硅片的批量生產(chǎn)效率，現(xiàn)有硅片插片機常設(shè)置硅片空滿籃互換機械手輔助進(jìn)行硅片清洗后的收集整理，以降低人工勞動強度，提高批量硅片的清洗效率。但是，現(xiàn)有的用于硅片清洗后的空滿籃輔助機械手，其雖然能夠保證空滿籃的互換，縮短換裝速度，然而在換裝工藝中需要多個機械手相互配合，且空滿籃傳送機構(gòu)較多，故使得所需能耗較多，占據(jù)空間較大，對于中小型企業(yè)而言，生產(chǎn)成本較高。

發(fā)明內(nèi)容

本實用新型的主要目的在于解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的問題，提供一種能夠?qū)崿F(xiàn)硅片清洗完成后的一體化空滿籃互換過程，保證生產(chǎn)效率，且使得整體空間占據(jù)較小，降低能耗，并可節(jié)約生產(chǎn)成本的具有雙頭機械手的硅片空滿籃互換設(shè)備。

為解決上述技術(shù)問題，本實用新型采用的技術(shù)方案是：一種具有雙頭機械手的硅片空滿籃互換設(shè)備，其中所述具有雙頭機械手的硅片空滿籃互換設(shè)備包括底座、立柱、橫梁、X向驅(qū)動機構(gòu)、X向移動塊、Z向移動機構(gòu)、滿籃取放機構(gòu)、空籃取放機構(gòu)和倒籃機構(gòu)，所述底座上豎直設(shè)置所述立柱，所述立柱的上端水平設(shè)置所述橫梁，所述橫梁上設(shè)置所述X向驅(qū)動機構(gòu)，所述 X向驅(qū)動機構(gòu)上設(shè)置所述X向移動塊，所述X向移動塊的前壁面上設(shè)置所述Z向移動機構(gòu)，所述Z向移動機構(gòu)上相對應(yīng)設(shè)置所述滿籃取放機構(gòu)與所述空籃取放機構(gòu)，所述滿籃取放機構(gòu)設(shè)置為可旋轉(zhuǎn)90度，所述倒籃機構(gòu)設(shè)置于所述底座上，所述倒籃機構(gòu)可翻轉(zhuǎn)90度，且該倒籃機構(gòu)設(shè)置于靠近所述滿籃取放機構(gòu)的一側(cè)。

進(jìn)一步地，所述滿籃取放機構(gòu)設(shè)置為包括安裝座一、旋轉(zhuǎn)氣缸和氣爪部分一，所述安裝座一設(shè)置于所述Z向移動機構(gòu)上，且該安裝座一上設(shè)置所述旋轉(zhuǎn)氣缸，所述旋轉(zhuǎn)氣缸的下表面上設(shè)置所述氣爪部分一。

進(jìn)一步地，所述倒籃機構(gòu)設(shè)置為包括放置座、輔助倒板、轉(zhuǎn)軸和驅(qū)動電機，所述放置座設(shè)置于所述底座的上表面，所述放置座的橫截面設(shè)置為呈U 型，且該放置座的左端設(shè)置連接部，所述連接部共軸線套設(shè)于所述轉(zhuǎn)軸上，且該連接部的上表面豎直設(shè)置所述輔助倒板，所述輔助倒板的橫截面設(shè)置為呈L型，所述轉(zhuǎn)軸的一端通過聯(lián)軸器連接所述驅(qū)動電機的電機軸的輸出端，且該轉(zhuǎn)軸的另一端通過固定座設(shè)置于所述底座上。

進(jìn)一步地，所述空籃取放機構(gòu)設(shè)置為包括安裝座二和氣爪部分二，所述安裝座二設(shè)置于所述Z向移動機構(gòu)上，且該安裝座二上設(shè)置所述氣爪部分二。

進(jìn)一步地，所述氣爪部分一與所述氣爪部分二均設(shè)置為包括安裝板、左夾爪、左氣缸、右夾爪和右氣缸，所述氣爪部分一的安裝板固定于所述旋轉(zhuǎn)氣缸的下表面，所述氣爪部分二的安裝板固定于所述安裝座二上，所述安裝板的下表面上相對應(yīng)豎直設(shè)置所述左夾爪與所述右夾爪，所述左氣缸的氣缸活塞桿上連接所述左夾爪，所述右氣缸的氣缸活塞桿上連接所述右夾爪，且所述左氣缸與所述右氣缸相對應(yīng)設(shè)置于所述安裝板的下表面。