[實用新型]一種具有雙頭機械手的硅片空滿籃互換設備

有效

• 申請號: 201721021092.7
• 申請日: 2017-08-15
• 公開（公告）號: CN207398102U
• 公開（公告）日: 2018-05-22
• 發明（設計）人: 信廣志;孫榕
• 申請（專利權）人: 天津創昱達科技有限公司
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677;H01L21/687
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種具有雙頭機械手的硅片空滿籃互換設備，其特征在于：所述具有雙頭機械手的硅片空滿籃互換設備包括底座、立柱、橫梁、X向驅動機構、X向移動塊、Z向移動機構、滿籃取放機構、空籃取放機構和倒籃機構，所述底座上豎直設置所述立柱，所述立柱的上端水平設置所述橫梁，所述橫梁上設置所述X向驅動機構，所述X向驅動機構上設置所述X向移動塊，所述X向移動塊的前壁面上設置所述Z向移動機構，所述Z向移動機構上相對應設置所述滿籃取放機構與所述空籃取放機構，所述滿籃取放機構設置為可旋轉90度，所述倒籃機構設置于所述底座上，所述倒籃機構可翻轉90度，且該倒籃機構設置于靠近所述滿籃取放機構的一側。

2.根據權利要求1所述的具有雙頭機械手的硅片空滿籃互換設備，其特征在于：所述滿籃取放機構設置為包括安裝座一、旋轉氣缸和氣爪部分一，所述安裝座一設置于所述Z向移動機構上，且該安裝座一上設置所述旋轉氣缸，所述旋轉氣缸的下表面上設置所述氣爪部分一。

3.根據權利要求1所述的具有雙頭機械手的硅片空滿籃互換設備，其特征在于：所述倒籃機構設置為包括放置座、輔助倒板、轉軸和驅動電機，所述放置座設置于所述底座的上表面，所述放置座的橫截面設置為呈U型，且該放置座的左端設置連接部，所述連接部共軸線套設于所述轉軸上，且該連接部的上表面豎直設置所述輔助倒板，所述輔助倒板的橫截面設置為呈L型，所述轉軸的一端通過聯軸器連接所述驅動電機的電機軸的輸出端，且該轉軸的另一端通過固定座設置于所述底座上。

4.根據權利要求2所述的具有雙頭機械手的硅片空滿籃互換設備，其特征在于：所述空籃取放機構設置為包括安裝座二和氣爪部分二，所述安裝座二設置于所述Z向移動機構上，且該安裝座二上設置所述氣爪部分二。

5.根據權利要求4所述的具有雙頭機械手的硅片空滿籃互換設備，其特征在于：所述氣爪部分一與所述氣爪部分二均設置為包括安裝板、左夾爪、左氣缸、右夾爪和右氣缸，所述氣爪部分一的安裝板固定于所述旋轉氣缸的下表面，所述氣爪部分二的安裝板固定于所述安裝座二上，所述安裝板的下表面上相對應豎直設置所述左夾爪與所述右夾爪，所述左氣缸的氣缸活塞桿上連接所述左夾爪，所述右氣缸的氣缸活塞桿上連接所述右夾爪，且所述左氣缸與所述右氣缸相對應設置于所述安裝板的下表面。

6.根據權利要求5所述的具有雙頭機械手的硅片空滿籃互換設備，其特征在于：所述左夾爪與所述右夾爪的橫截面均設置為呈L型。

7.根據權利要求1所述的具有雙頭機械手的硅片空滿籃互換設備，其特征在于：所述立柱上設置硅片花籃升降裝置，所述硅片花籃升降裝置設置為包括導軌、滑座和鏈傳動部分，所述導軌共軸線設置于所述立柱的前壁面上，且該導軌上滑動設置所述滑座，所述滑座設置為通過所述鏈傳動部分帶動沿所述導軌直線滑動。