[實用新型]一種硅片快速翻轉機構

有效

• 申請號: 201720977979.7
• 申請日: 2017-08-07
• 公開（公告）號: CN207116380U
• 公開（公告）日: 2018-03-16
• 發明（設計）人: 張學強;戴軍;張建偉;賈宇鵬
• 申請（專利權）人: 羅博特科智能科技股份有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L31/18
• 代理公司: 北京遠大卓悅知識產權代理事務所(普通合伙)11369
• 代理人: 韓飛

1.一種硅片快速翻轉機構(1)，其特征在于，包括：平行且間隔設置的左支板(11)與右支板(12)，其中，左支板(11)與右支板(12)中可轉動地設有轉軸(13)，轉軸(13)的一端傳動地連接有驅動器(132)，轉軸(13)上固定地套設有至少一組用于放置硅片(2)的翻轉組件(14)，翻轉組件(14)可隨轉軸(13)在驅動器(132)的驅動下按一定規律旋轉從而將硅片(2)從一面翻轉至另一面。

2.如權利要求1所述的硅片快速翻轉機構(1)，其特征在于，翻轉組件(14)包括兩片平行且間隔設置的翻轉盤(141)，兩片翻轉盤(141)的間距不大于硅片(2)的長度。

3.如權利要求2所述的硅片快速翻轉機構(1)，其特征在于，翻轉盤(141)呈圓盤形結構，轉軸(13)從翻轉盤(141)的圓心穿過。

4.如權利要求3所述的硅片快速翻轉機構(1)，其特征在于，翻轉盤(141)上均勻地開設有若干條以其圓心為中心呈放射狀的半封閉式容納槽(1411)，該容納槽(1411)在翻轉盤(141)的邊緣處與外界相連通。

5.如權利要求4所述的硅片快速翻轉機構(1)，其特征在于，轉軸(13)的其中一端固接有角度感應端(131)，與該角度感應端(131)相對應的一側設有轉角傳感器(121)，該轉角傳感器(121)與驅動器(132)電連接。

6.如權利要求5所述的硅片快速翻轉機構(1)，其特征在于，假定容納槽(1411)設有N條，轉角傳感器(121)控制驅動器(132)每轉過角停頓一次。

7.如權利要求6所述的硅片快速翻轉機構(1)，其特征在于，容納槽(1411)設有10條，轉角傳感器(121)控制驅動器(132)每轉過36°角停頓一次。