[實用新型]一種清洗系統及手提式清洗裝置有效
| 申請號： | 201720977193.5 | 申請日： | 2017-08-07 |
| 公開（公告）號： | CN207494152U | 公開（公告）日： | 2018-06-15 |
| 發明（設計）人： | 張明 | 申請（專利權）人： | 武漢新芯集成電路制造有限公司 |
| 主分類號： | B08B9/032 | 分類號： | B08B9/032 |
| 代理公司： | 上海申新律師事務所 31272 | 代理人： | 俞滌炯 |
| 地址： | 430205 湖北*** | 國省代碼： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 氣體管道 液體箱 清洗系統 清洗裝置 液體管道 出氣口 出水口 氣體泵 入水口 拆卸 清洗 進氣口 半導體制造設備 本實用新型 進氣口連接 額外提供 清洗槽 箱中 費力 抽出 應用 | ||
1.一種清洗系統，應用于半導體機臺的氣體管道中，所述氣體管道包括進氣口以及出氣口；其特征在于，包括：
液體箱，所述液體箱設置有一出水口以及入水口；
氣體泵，一端通過一液體管道與所述出水口連接，另一端與所述氣體管道的所述進氣口連接，所述出氣口通過一液體管道與所述入水口連接；
所述氣體泵用以將所述液體箱箱中的液體抽出至所述氣體管道，并回流至所述液體箱。
2.根據權利要求1所述的清洗系統，其特征在于，還包括一過濾器，所述過濾器通過液體管道連接與所述氣體泵以及所述進氣口之間。
3.根據權利要求1所述的清洗系統，其特征在于，所述液體箱中存儲的液體為水。
4.根據權利要求1所述的清洗系統，其特征在于，所述進氣口設置有第一密封接頭；
所述液體管道與所述進氣口連接的一端設置有與所述第一密封接頭適配的第二密封接頭。
5.根據權利要求1所述的清洗系統，其特征在于，所述出氣口設置有第一密封接頭；
所述液體管道與所述出氣口連接的一端設置有與所述第一密封接頭適配的第二密封接頭。
6.根據權利要求4或5的所述清洗系統，其特征在于，所述第一密封接頭與所述第二密封接頭為VCR接頭。
7.根據權利要求4或5所述的清洗系統，其特征在于，所述第一密封接頭以及所述第二密封接頭由塑料材質制成。
8.一種手提式清洗裝置，其特征在于，包括如權利要求1-5中任一所述的清洗系統，包括：
箱體本體，所述箱體本體內設置有一容置空間；
所述液體箱固定設置于所述容置空間的底部；
第一通孔，設置于所述箱體本體的側壁并對應進水口的位置；
所述氣體泵固定設置于所述容置空間的底部，并位于所述液體箱的一側；
過濾器可拆卸的設置于所述容置空間內，并位于所述液體箱以及所述氣體泵的上部；
手提把手，固定設置于所述箱體本體的頂部。
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