[實用新型]一種用于透射電子顯微鏡的樣品載體有效
| 申請號： | 201720975570.1 | 申請日： | 2017-08-07 |
| 公開（公告）號： | CN207134325U | 公開（公告）日： | 2018-03-23 |
| 發明（設計）人： | 宋箭葉;顧曉芳;陳宏璘;倪棋梁;龍吟 | 申請（專利權）人： | 上海華力微電子有限公司 |
| 主分類號： | H01J37/20 | 分類號： | H01J37/20;H01J37/26 |
| 代理公司： | 上海申新律師事務所31272 | 代理人： | 俞滌炯 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 用于 透射 電子顯微鏡 樣品 載體 | ||
1.一種用于透射電子顯微鏡的樣品載體，其特征在于：包括半圓形帶兩側左右對稱凹槽(1)與中間的臺階狀樣品放置臺(2)；所述樣品放置臺(2)左右兩側分別與所述凹槽(1)連接；所述樣品放置臺(2)的每級臺階頂端為樣品放置處(4)。
2.根據權利要求1所述的用于透射電子顯微鏡的樣品載體，其特征在于：所述樣品載體為金屬鉬或銅金屬箔材質。
3.根據權利要求1所述的用于透射電子顯微鏡的樣品載體，其特征在于：所述樣品載體的厚度為50um～100um。
4.根據權利要求1所述的用于透射電子顯微鏡的樣品載體，其特征在于：所述臺階狀樣品放置臺(2)為左右對稱兩級臺階狀樣品放置臺(2)。
5.根據權利要求4所述的用于透射電子顯微鏡的樣品載體，其特征在于：所述樣品放置臺(2)用等離子體刻出每級臺階區分標號。
6.根據權利要求5所述的用于透射電子顯微鏡的樣品載體，其特征在于：所述區分標號具體為：字母標記左右位置，數字標記臺階階數，左右對稱兩級臺階用A1，A2，B1，B2表示。
7.根據權利要求1所述的用于透射電子顯微鏡的樣品載體，其特征在于：所述樣品載體下部設兩側為圓弧形的長方形通孔。
8.根據權利要求1所述的用于透射電子顯微鏡的樣品載體，其特征在于：還包括樣品(3)，所述樣品(3)底部與樣品放置臺(2)接觸部分用沉積鎢固定。
9.根據權利要求1所述的用于透射電子顯微鏡的樣品載體，其特征在于：所述樣品(3)為長方體樣品，所述長方體樣品尺寸為10um×5um×2um。
10.根據權利要求9所述的用于透射電子顯微鏡的樣品載體，其特征在于：所述樣品(3)離子刻蝕后小于100nm厚度。
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