[實用新型]一種氣體管道密封結構及干法刻蝕設備

有效

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• 申請日: 2017-08-04
• 公開（公告）號: CN207161923U
• 公開（公告）日: 2018-03-30
• 發(fā)明（設計）人: 江森林;李定斌;張旭升;朱駿;劉東升;彭國發(fā)
• 申請（專利權）人: 上海華力微電子有限公司
• 主分類號: F16L19/06
• 分類號: F16L19/06;H01J37/32
• 代理公司: 上海申新律師事務所31272
• 代理人: 俞滌炯

技術領域

本實用新型涉及半導體制造技術領域，尤其涉及一種適用于干法刻蝕設備的氣體管道密封結構及干法刻蝕設備。

背景技術

在集成電路制造過程中，很多工藝中都需要用到特殊的反應氣體，例如在干法刻蝕工藝中使用的干法刻蝕設備。干法刻蝕設備包括反應室、電源、真空部分，工件送入被真空泵抽空的反應室。工藝氣體被導入反應室并在工件表面發(fā)生反應，反應的揮發(fā)性副產(chǎn)物被真空泵抽走。反應室內(nèi)氣壓及工藝氣體濃度直接影響刻蝕效果，因此干法刻蝕設備的氣體管道需要具備較好的氣密性。

設備的反應室上設置有注氣口，注氣管道與注氣口連通，用于向反應室內(nèi)注入工藝氣體。在連接注氣管道時，通常是先在注氣口上套上一個環(huán)形的緊固螺母，在螺母內(nèi)放置一個環(huán)形壓圈，再在注氣口上套設一個O型密封，O型密封圈放置在壓圈的上端面上，然后將注氣管道套設置于壓圈上，通過螺母與注氣管道上的螺紋固定。通常為了使管道與注氣口之間具有良好的氣密性，管道尾端分為兩個內(nèi)徑不同的套疊部，分別與注氣口和壓圈套疊，兩個套疊部之間為錐面，當螺母向上擰時，O型密封圈同時受到垂直向上的掠奪與橫向擠壓不穩(wěn)定，導致O型密封圈不緊貼注氣口外表面，或是當注氣口外表面粗糙度出現(xiàn)改變后連接處不密封，會導致腔體在維護或是拆裝后出現(xiàn)漏率偏高的狀況。

發(fā)明內(nèi)容

根據(jù)現(xiàn)有技術中存在的上述問題，現(xiàn)提供一種氣體管道密封結構及干法刻蝕設備，所述干法刻蝕設備包括反應室，所述反應室上設置有注氣口，所述氣體管道密封結構包括：

壓圈，為環(huán)狀結構，套設于所述注氣口上；

注氣管道，包括第一套疊部和第二套疊部，所述第一套疊部與所述壓圈相套疊，所述第二套疊部與所述注氣口相套疊；

Y型密封圈，套設于所述注氣口上并設置于所述壓圈的上端面與所述第一套疊部和所述第二套疊部的交接處之間；

所述Y型密封圈擠壓所述注氣口、壓圈及所述注氣管道。

較佳的，上述氣體管道密封結構中，所述Y型密封圈的開口處背向所述壓圈設置。

較佳的，上述氣體管道密封結構中，所述注氣管道內(nèi)部還包括限位部，與所述注氣口的上端面接觸。

較佳的，上述氣體管道密封結構中，還包括一個緊固件，套設于所述注氣口上，所述壓圈設置于所述緊固件內(nèi)；

所述緊固件包括第三套疊部和用于支撐所述壓圈的支撐部；

所述第三套疊部與所述注氣管道的外壁套疊固定。

較佳的，上述氣體管道密封結構中，所述緊固件與所述注氣管道通過螺紋連接固定。

較佳的，上述氣體管道密封結構中，所述第一套疊部的直徑大于所述第二套疊部的直徑；

所述第一套疊部與所述第二套疊部的連接處為錐面。

還包括，一種干法刻蝕設備，其中，包括上述任一所述的氣體管道密封結構。

上述技術方案的有益效果是：使用Y型密封圏，在緊固螺母自下向上鎖緊時，Y型密封圈的開口處會向兩邊張開使密封圈與注氣口外表面貼合密封更好，保證管道拆裝后具有良好的氣密性，避免出現(xiàn)泄漏狀況。

附圖說明

圖1是本實用新型的較佳的實施例中，一種氣體管道密封結構的結構示意圖。

具體實施方式

下面結合附圖和具體實施例對本實用新型作進一步說明，但不作為本實用新型的限定。

本實用新型的較佳的實施例中，如圖1所示，(需要說明的是，圖1所示為氣體管道密封結構的剖面圖，為對稱結構，因此在圖中只對右邊結構作標注，左邊結構與右邊結構對應相同)一種氣體管道密封結構，適用于干法刻蝕設備，干法刻蝕設備包括反應室，反應室上設置有注氣口1，氣體管道密封結構包括：

壓圈2，為環(huán)狀結構，套設于注氣口1上；

注氣管道3，包括第一套疊部31和第二套疊部32，第一套疊部31與壓圈2相套疊，第二套疊部32與注氣口1相套疊；

Y型密封圈4，套設于注氣口1上并設置于壓圈2的上端面與第一套疊部31和第二套疊部32的交接處之間；

Y型密封圈4擠壓注氣口1、壓圈2及注氣管道3。

本實用新型的較佳的實施例中，Y型密封圈4的開口處背向壓圈2設置。

本實用新型的較佳的實施例中，注氣管道3內(nèi)部還包括限位部，與注氣口的上端面接觸。

本實用新型的較佳的實施例中，還包括一個緊固件5，套設于注氣口1上，壓圈2設置于緊固件5內(nèi)；

緊固件5包括第三套疊部和用于支撐壓圈2的支撐部；

第三套疊部與注氣管道的外壁套疊固定。