[實(shí)用新型]一種氣體管道密封結(jié)構(gòu)及干法刻蝕設(shè)備

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201720970363.7
• 申請(qǐng)日: 2017-08-04
• 公開（公告）號(hào): CN207161923U
• 公開（公告）日: 2018-03-30
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 江森林;李定斌;張旭升;朱駿;劉東升;彭國發(fā)
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 上海華力微電子有限公司
• 主分類號(hào): F16L19/06
• 分類號(hào): F16L19/06;H01J37/32
• 代理公司: 上海申新律師事務(wù)所31272
• 代理人: 俞滌炯

1.一種氣體管道密封結(jié)構(gòu)，適用于干法刻蝕設(shè)備，所述干法刻蝕設(shè)備包括反應(yīng)室，所述反應(yīng)室上設(shè)置有注氣口，其特征在于，所述氣體管道密封結(jié)構(gòu)包括：

壓圈，為環(huán)狀結(jié)構(gòu)，套設(shè)于所述注氣口上；

注氣管道，包括第一套疊部和第二套疊部，所述第一套疊部與所述壓圈相套疊，所述第二套疊部與所述注氣口相套疊；

Y型密封圈，套設(shè)于所述注氣口上并設(shè)置于所述壓圈的上端面與所述第一套疊部和所述第二套疊部的交接處之間；

所述Y型密封圈擠壓所述注氣口、壓圈及所述注氣管道。

2.如權(quán)利要求1所述的氣體管道密封結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述Y型密封圈的開口處背向所述壓圈設(shè)置。

3.如權(quán)利要求1所述的氣體管道密封結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述注氣管道內(nèi)部還包括限位部，與所述注氣口的上端面接觸。

4.如權(quán)利要求1所述的氣體管道密封結(jié)構(gòu)，其特征在于，還包括一個(gè)緊固件，套設(shè)于所述注氣口上，所述壓圈設(shè)置于所述緊固件內(nèi)；

所述緊固件包括第三套疊部和用于支撐所述壓圈的支撐部；

所述第三套疊部與所述注氣管道的外壁套疊固定。

5.如權(quán)利要求4所述的氣體管道密封結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述緊固件與所述注氣管道通過螺紋連接固定。

6.如權(quán)利要求1所述的氣體管道密封結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述第一套疊部的直徑大于所述第二套疊部的直徑；

所述第一套疊部與所述第二套疊部的連接處為錐面。

7.一種干法刻蝕設(shè)備，其特征在于，包括如權(quán)利要求1-6中任一所述的氣體管道密封結(jié)構(gòu)。