[實用新型]可精確控制伸縮量的機械手及多管反應室上舟系統

有效

• 申請號: 201720966522.6
• 申請日: 2017-08-04
• 公開（公告）號: CN207223962U
• 公開（公告）日: 2018-04-13
• 發明（設計）人: 肖岳南;張勇
• 申請（專利權）人: 深圳市捷佳偉創新能源裝備股份有限公司
• 主分類號: B25J9/00
• 分類號: B25J9/00;B25J9/08;B25J19/00
• 代理公司: 深圳市康弘知識產權代理有限公司44247
• 代理人: 吳敏,孫潔敏

技術領域

本實用新型涉及機械手技術領域，尤其涉及一種可精確控制伸縮量的機械手及多管反應室上舟系統。

背景技術

機械手是擴散爐或PECVD設備上用于傳送舟的一套機械傳動結構，通過機械手可以實現舟在上下及前后方向各個位置上的傳輸。如圖1所示，其中傳輸前后方向上依次設置有：安裝于立柱4上的暫存架5、中間的升降通道8、推舟機構6的SIC槳，暫存架5用來擺放已工藝或待工藝的舟7，SIC槳用于將已工藝/待工藝的舟7從石英管內取出/送入；升降通道8是機械手上升及下降的運行區域，傳輸的上下位置為每管的SIC槳及各個暫存架位置。機械手在暫存架5或SIC槳上取放舟7后，均需先退回升降通道8，上升或下降至需要的高度，再運行下一步動作。

如圖1所示，理論上每管推舟機構6的SIC槳位置在同一垂直中心上。但是，如圖2所示，由于設備的機架存在變形，且變形的程度根據設備的尺寸加大而增加，所以導致每一管推舟機構6的SIC槳位置存在些許差異，實際每管SIC槳位置的中心可能會在理論的垂直中心上存在偏差。從而機械手在每管推舟機構7的SIC槳上取舟7時所需運行的尺寸也不一致。而傳統的機械手手臂運動時是以限位光電來定位，即A點啟動B點停止，運行尺寸固定，無法控制每管的手臂及手爪運行尺寸，這使得當設備變形較大時現場調試十分困難。

因此，如何設計一種結構簡單、可精確控制伸縮量、且便于調試的機械手是業界亟待解決的技術問題。

實用新型內容

為了解決現有技術中存在的上述缺陷，本實用新型提出一種可精確控制伸縮量的機械手及多管反應室上舟系統，該機械手的伸縮量可精確控制，有效彌補取拿位置不在同一垂直中心時的尺寸偏差。

本實用新型采用的技術方案是，設計一種可精確控制伸縮量的機械手，包括：連接手臂、活動連接在連接手臂上且沿其直線往復運動的活動手爪，連接手臂上安裝有第一磁尺，第一磁尺的長度方向與活動手爪的運動方向相互平行，活動手爪上安裝有第一磁性位移傳感器，第一磁性位移傳感器的檢測端朝向第一磁尺?；顒邮肿υ谶B接手臂上往復運動時，第一磁性位移傳感器的檢測端沿第一磁尺的長度方向移動。

連接手臂的底部設有第一滑軌，活動手爪的頂部固定有活動套在第一滑軌上的第一滑塊，第一滑塊連接有推動其運動的第一電動機構，第一磁尺安裝在連接手臂的底部，第一磁性位移傳感器安裝在活動手爪的頂部。

優選的，連接手臂活動連接在一固定手臂上，且沿固定手臂直線往復運動，固定手臂上安裝有第二磁尺，第二磁尺的長度方向與連接手臂的運動方向相互平行，連接手臂上安裝有第二磁性位移傳感器，第二磁性位移傳感器的檢測端朝向第二磁尺。連接手臂在固定手臂上往復運動時，第二磁性位移傳感器的檢測端沿第二磁尺的長度方向移動。

固定手臂的底部設有第二滑軌，連接手臂的頂部固定有活動套在第二滑軌上的第二滑塊，第二滑塊連接有推動其運動的第二電動機構，固定手臂上還固定有位于連接手臂外側的安裝板，第二磁尺安裝在安裝板的內壁上，第二磁性位移傳感器安裝在連接手臂的一端。

優選的，連接手臂的運動方向和活動手爪的運動方向相互平行。

本實用新型還提出了一種具有上述機械手的多管反應室上舟系統，包括：間隔設置的立柱和機架、由上至下排列在所述立柱上的暫存架、由上至下排列在機架上的推舟機構、設于推舟機構上的SIC槳、活動連接在立柱上且向機架水平伸出的機械手、推動機械手沿所述立柱升降運動的升降電動機構，機械手位于暫存架的一側，機械手的活動手爪在SIC槳和暫存架之間水平伸縮運動。

優選的，SIC槳和暫存架之間還設有與立柱平行的升降通道，活動手爪在升降通道內升降運動。

優選的，多管反應室上舟系統還包括與機械手及升降電動機構連接的控制器，控制器調節所述機械手的高度位置，并通過磁性位移傳感器控制活動手爪的水平伸縮距離。

與現有技術相比，本實用新型在機械手的活動手爪和連接手臂上分別安裝第一磁性位移傳感器和第一磁尺，活動手爪伸縮運動時，第一磁性位移傳感器精確檢測活動手爪的伸縮距離，進一步的，還可以在伸縮量不夠時增加固定手臂，連接手臂和固定手臂上分別安裝第二磁性位移傳感器和第二磁尺，連接手臂伸縮運動時。第二磁性位移傳感器精確檢測連接手臂的伸縮距離。實際使用時，將磁性位移傳感器連接在控制器上，設定機械手在不同高度的伸縮量，即可保證機械手準確運行到指定位置，控制精度高且便于調試。

附圖說明

下面結合實施例和附圖對本實用新型進行詳細說明，其中：