[實(shí)用新型]光分路器晶圓封裝裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201720965682.9
• 申請(qǐng)日: 2017-08-03
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN207366799U
• 公開(kāi)（公告）日: 2018-05-15
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王森;焦俊濤
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 深圳市中興新地技術(shù)股份有限公司
• 主分類號(hào): G02B6/44
• 分類號(hào): G02B6/44
• 代理公司: 深圳市碩法知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 44321
• 代理人: 尚振東

本實(shí)用新型公開(kāi)了一種光分路器晶圓封裝裝置，包括底座，所述底座一側(cè)向上伸延出一L形懸臂，所述L形懸臂的端部設(shè)置有一螺紋孔，所述螺紋孔內(nèi)螺紋配合有一加壓桿，所述加壓桿的下端部設(shè)置有一膨大的加壓頭；所述底座上表面放置有一封裝盤(pán)，所述封裝盤(pán)包括彈性蓋合的下壓蓋和上壓蓋，所述下壓蓋上表面通過(guò)真空吸附有晶圓，所述上壓蓋下表面通過(guò)真空吸附有對(duì)應(yīng)晶圓的蓋板，所述封裝盤(pán)放置在底座上時(shí)，旋轉(zhuǎn)加壓桿可使加壓桿的加壓頭抵壓上壓蓋中心。本實(shí)用新型具有能夠?qū)崿F(xiàn)精確的膠厚控制、晶圓與蓋板不會(huì)錯(cuò)位、膠層無(wú)氣泡、封裝效率高、一致性好的優(yōu)點(diǎn)。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及光通訊元件的加工設(shè)備，尤其是涉及一種能夠?qū)崿F(xiàn)精確的膠厚控制、晶圓與蓋板不會(huì)錯(cuò)位、膠層無(wú)氣泡、封裝效率高、一致性好的光分路器晶圓封裝裝置。

背景技術(shù)

隨著通信技術(shù)的不斷發(fā)展，光通訊已經(jīng)成為最主要的信息傳遞技術(shù)之一。光分路器是XPON接入技術(shù)中ODN網(wǎng)絡(luò)的基礎(chǔ)功能器件，是具有多個(gè)輸入端和多個(gè)輸出端的光纖匯接器件。光分路器主要由FA(光纖陣列)，單纖(Pigtail)、光分路器芯片組成。光分路器晶圓基于平面光波導(dǎo)技術(shù)(PLC)，在石英、玻璃、高分子等材料襯底上通過(guò)鍍膜、光刻、氣相沉積等工藝制造出不同通道數(shù)目的光分路器晶圓，包括2、4、8、16、32、64通道。光分路器晶圓是通過(guò)使用膠水封裝蓋板，達(dá)到保護(hù)表層波導(dǎo)的目的，再通過(guò)切割、研磨、拋光等工藝制成高性能、高成品率、高穩(wěn)定性的光分路器芯片。現(xiàn)有的晶圓在封裝時(shí)通過(guò)人工壓膠、排氣泡，封裝過(guò)程中，無(wú)法有效的控制膠層厚度和膠層氣泡。

實(shí)用新型內(nèi)容

為克服現(xiàn)有技術(shù)的缺點(diǎn)，本實(shí)用新型目的在于提供一種能夠?qū)崿F(xiàn)精確的膠厚控制、晶圓與蓋板不會(huì)錯(cuò)位、膠層無(wú)氣泡、封裝效率高、一致性好的光分路器晶圓封裝裝置。

本實(shí)用新型通過(guò)以下技術(shù)措施實(shí)現(xiàn)的，一種光分路器晶圓封裝裝置，包括底座，所述底座一側(cè)向上伸延出一L形懸臂，所述L形懸臂的端部設(shè)置有一螺紋孔，所述螺紋孔內(nèi)螺紋配合有一加壓桿，所述加壓桿的下端部設(shè)置有一膨大的加壓頭；所述底座上表面放置有一封裝盤(pán)，所述封裝盤(pán)包括彈性蓋合的下壓蓋和上壓蓋，所述下壓蓋上表面通過(guò)真空吸附有晶圓，所述上壓蓋下表面通過(guò)真空吸附有對(duì)應(yīng)晶圓的蓋板，所述封裝盤(pán)放置在底座上時(shí)，旋轉(zhuǎn)加壓桿可使加壓桿的加壓頭抵壓上壓蓋中心。

作為一種優(yōu)選方式，所述下壓蓋和上壓蓋的邊角上對(duì)稱設(shè)置有至少三根連接柱，所述連接柱穿過(guò)上壓蓋活動(dòng)卡接在下壓蓋上，所述連接柱上套設(shè)有彈性抵壓在下壓蓋表面的彈簧。

作為一種優(yōu)選方式，所述上壓蓋上設(shè)置有多處用于觀察膠水流動(dòng)的鏤空。

作為一種優(yōu)選方式，所述底座的四角設(shè)置有方便封裝盤(pán)定位放置的凹槽，所述下壓盤(pán)底部設(shè)置有對(duì)應(yīng)凹槽的凸起。

作為一種優(yōu)選方式，所述下壓蓋至少在相鄰邊的中部分別設(shè)置有用于調(diào)節(jié)晶圓位置的旋轉(zhuǎn)定位塊，所述上壓蓋至少在相鄰邊的中部分別設(shè)置有用于調(diào)節(jié)蓋板位置的旋轉(zhuǎn)定位塊。

作為一種優(yōu)選方式，所述加壓桿包括螺紋配合在螺紋孔內(nèi)的中空螺桿，所述中空螺桿的螺桿頭設(shè)置在下方，所述中空螺桿內(nèi)滑動(dòng)穿設(shè)有一帶加壓頭的連接桿，所述連接桿上套設(shè)有一彈性抵壓在螺桿頭和加壓頭之間的加壓彈簧。

作為一種優(yōu)選方式，所述L形懸臂上上下滑動(dòng)設(shè)置有一L形調(diào)節(jié)塊，所述L形調(diào)節(jié)塊設(shè)置有一滑動(dòng)在加壓桿上的調(diào)節(jié)孔，所述加壓彈簧套于連接桿上彈性抵壓在L形調(diào)節(jié)塊和加壓頭之間。

作為一種優(yōu)選方式，所述底座上設(shè)置有與其上表面平行的凹槽，所述凹槽內(nèi)放置有水平儀，所述底座的四角螺紋設(shè)置有用于調(diào)節(jié)底座上表面水平的調(diào)節(jié)螺絲腳。

作為一種優(yōu)選方式，下壓蓋和上壓蓋的四角上對(duì)稱設(shè)置有四根導(dǎo)向柱，所述上壓蓋可沿導(dǎo)向柱上下滑動(dòng)。

作為一種優(yōu)選方式，所述上壓蓋上方二側(cè)設(shè)置有多個(gè)手握柱。