[實用新型]直驅電機取晶裝置

有效

• 申請號: 201720959778.4
• 申請日: 2017-08-03
• 公開（公告）號: CN206921802U
• 公開（公告）日: 2018-01-23
• 發明（設計）人: 賀云波;王波;吳曉明
• 申請（專利權）人: 寧波知了智能科技有限公司
• 主分類號: H01L21/683
• 分類號: H01L21/683
• 代理公司: 寧波市鄞州甬致專利代理事務所(普通合伙)33228
• 代理人: 潘李亮

技術領域

本實用新型涉及半導體封裝技術領域，尤其涉及一種直驅電機取晶裝置。

背景技術

在半導體封裝行業中，主要通過取晶裝置來進行取晶操作，取晶裝置主要包括氣路、電機以及設置在電機轉軸上的擺臂，氣路又包括用于吹吸空氣的動力裝置、設置在擺臂上的氣口以及用于連通動力裝置以及氣口的氣管，由于晶圓非常小，所以控制氣路的穩定性成為晶圓抓取成功率和穩定性的關鍵。現有技術氣管在安裝時需要通過電機然后連接到擺臂的氣口上，這樣氣管會產生彎折，再加上電機運動時，擺臂會隨著轉動，進而帶動氣管不規則收縮，會嚴重影響到氣管內氣流的穩定性。

實用新型內容

本實用新型所要解決的技術問題是：提供一種工作時氣路穩定的直驅電機取晶裝置。

本實用新型所采用的技術方案是：一種直驅電機取晶裝置，包括用于吹吸空氣的動力裝置、電機、設置在電機轉軸上的擺臂、設置在擺臂上的氣口以及用于連通動力裝置與氣口的氣管，氣管分為兩部分，分別為第一氣管以及第二氣管，且電機的轉子內設有供空氣流通的通道，第一氣管一端與動力裝置連通，第一氣管另一端與電機的轉子內的通道一端連通，第二氣管一端與電機的轉子內的通道另一端連通，且第二氣管另一端與擺臂上的氣口連通。

采用以上結構與現有技術相比，本實用新型具有以下優點：首先因為在電機轉子內設置了通道，所以可以將氣管分成兩根，即第一氣管與第二氣管，這樣在布置氣路時，第一氣管與第二氣管均不需要折彎了，而且在電機帶動擺臂擺動時，也只有第二氣管隨著擺臂擺動，而且因為第二氣管是直接沿著擺臂設置的，所以擺臂在擺動時不會帶動第二氣管不規則收縮，這樣取晶裝置工作時氣管內的氣流會比較穩定，取晶效果較好。

作為優選，電機包括外殼以及轉動連接在外殼內的轉子，轉子靠近擺臂一端設有出氣嘴，轉子遠離擺臂一端設有進氣嘴，且進氣嘴分別連接第一氣管以及通道，出氣嘴分別連通第二氣管與通道。在通道兩端設置進氣嘴與出氣嘴，這樣氣管連接比較方便，且氣密性較好。

作為優選，轉子遠離擺臂一端與進氣嘴之間還設有吸嘴連接件，且吸嘴連接件與進氣嘴之間設有防漏氣墊片。這樣設置，進氣嘴連接更加方便，而且進氣嘴與轉子之間的氣密性更好。

作為優選，它還包括控制器、分路閥以及氣動抱緊機構，氣動抱緊機構套設在轉子外，分路閥一端出氣嘴連通，分路閥的另一端兩個出口分別與第二氣管以及氣動抱緊機構連通，且分路閥以及電機均與控制器電連接。這樣設置，當需要停止電機時，控制器收到停止電機信號，然后可以控制分路閥連接氣動抱緊機構一端的出口導通，這樣動力機構可以帶動氣動抱緊機構工作，將轉子抱緊，使得電機能夠快速停止。

附圖說明

圖1為本實用新型直驅電機取晶裝置中的電機的結構示意圖。

如圖所示：1、轉子；2、通道；3、外殼；4、出氣嘴；5、進氣嘴；6、吸嘴連接件；7、防漏氣墊片。

具體實施方式

以下結合附圖與具體實施方式對本實用新型做進一步描述，但是本實用新型不僅限于以下具體實施方式。

一種直驅電機取晶裝置，包括用于吹吸空氣的動力裝置、電機、設置在電機轉軸上的擺臂、設置在擺臂上的氣口以及用于連通動力裝置與氣口的氣管，氣管分為兩部分，分別為第一氣管以及第二氣管，且電機的轉子1內設有供空氣流通的通道2，第一氣管一端與動力裝置連通，第一氣管另一端與電機的轉子內的通道2一端連通，第二氣管一端與電機的轉子內的通道2另一端連通，且第二氣管另一端與擺臂上的氣口連通。

電機包括外殼3以及轉動連接在外殼內的轉子1，轉子1靠近擺臂一端設有出氣嘴4，轉子1遠離擺臂一端設有進氣嘴5，且進氣嘴5分別連接第一氣管以及通道2，出氣嘴4分別連通第二氣管與通道2。

轉子1遠離擺臂一端與進氣嘴5之間還設有吸嘴連接件6，且吸嘴連接件6與進氣嘴5之間設有防漏氣墊片7。

它還包括控制器、分路閥以及氣動抱緊機構，氣動抱緊機構套設在轉子外，分路閥一端出氣嘴連通，分路閥的另一端兩個出口分別與第二氣管以及氣動抱緊機構連通，且分路閥以及電機均與控制器電連接。

其氣路的連接是，首先動力裝置連接第一氣管一端，然后第一氣管另一端連接進氣嘴，進氣嘴連接通道一端，通道另一端連接出氣嘴，出氣嘴連接第二氣管一端，第二氣管另一端連接氣口，實現了一次完整的氣路，而且因為主要產生工作的是電機處，而電機轉動時，進氣嘴是不動的，這樣就不會帶動第一氣管不規則的收縮折彎，而第二氣管因為是沿著擺臂設置的，所以擺動動的時候，第二氣管整體隨著擺動在動，所以第二氣管也不會產生收縮或者彎折的情況，這樣氣路整體就很穩定，進而使得取晶效果較好。