[實用新型]直驅電機取晶裝置有效
| 申請號： | 201720959778.4 | 申請日： | 2017-08-03 |
| 公開（公告）號： | CN206921802U | 公開（公告）日： | 2018-01-23 |
| 發明（設計）人： | 賀云波;王波;吳曉明 | 申請（專利權）人： | 寧波知了智能科技有限公司 |
| 主分類號： | H01L21/683 | 分類號： | H01L21/683 |
| 代理公司： | 寧波市鄞州甬致專利代理事務所(普通合伙)33228 | 代理人： | 潘李亮 |
| 地址： | 315200 浙江省寧波市鎮海區*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 電機 裝置 | ||
1.一種直驅電機取晶裝置，包括用于吹吸空氣的動力裝置、電機、設置在電機轉軸上的擺臂、設置在擺臂上的氣口以及用于連通動力裝置與氣口的氣管，其特征在于：所述氣管分為兩部分，分別為第一氣管以及第二氣管，且所述電機的轉子（1）內設有供空氣流通的通道（2），所述第一氣管一端與動力裝置連通，第一氣管另一端與電機的轉子內的通道（2）一端連通，所述第二氣管一端與電機的轉子內的通道（2）另一端連通，且第二氣管另一端與擺臂上的氣口連通。
2.根據權利要求1所述的直驅電機取晶裝置，其特征在于：所述電機包括外殼（3）以及轉動連接在外殼內的轉子（1），所述轉子（1）靠近擺臂一端設有出氣嘴（4），所述轉子（1）遠離擺臂一端設有進氣嘴（5），且所述進氣嘴（5）分別連接第一氣管以及通道（2），所述出氣嘴（4）分別連通第二氣管與通道（2）。
3.根據權利要求2所述的直驅電機取晶裝置，其特征在于：所述轉子（1）遠離擺臂一端與進氣嘴（5）之間還設有吸嘴連接件（6），且所述吸嘴連接件（6）與進氣嘴（5）之間設有防漏氣墊片（7）。
4.根據權利要求1所述的直驅電機取晶裝置，其特征在于：它還包括控制器、分路閥以及氣動抱緊機構，所述氣動抱緊機構套設在轉子外，所述分路閥一端出氣嘴連通，所述分路閥的另一端兩個出口分別與第二氣管以及氣動抱緊機構連通，且所述分路閥以及電機均與控制器電連接。
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H01L 半導體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置；專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理；集成電路器件或其特殊部件的制造
