[實用新型]用于微電子器件的柔性加載測試裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201720959219.3
• 申請日: 2017-08-03
• 公開（公告）號: CN207037025U
• 公開（公告）日: 2018-02-23
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 李拉香格;李軍輝;劉小鶴;何虎;朱文輝;彭啟發(fā)
• 申請（專利權(quán)）人: 中南大學(xué);湖南建之達節(jié)能科技有限公司
• 主分類號: G01R31/28
• 分類號: G01R31/28;G01R31/26
• 代理公司: 長沙朕揚知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙)43213
• 代理人: 鄧宇

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及微電子器件制造裝備技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種用于微電子器件的柔性加載測試裝置。

背景技術(shù)

IC芯片或晶圓片等微電子器件在測試加載過程中，采用運動位移直接加載進行電學(xué)測試，機械運動過程容易導(dǎo)致沖擊、過載等問題，導(dǎo)致芯片或晶片損傷、破裂，測試信號畸變或誤判，為此如何實現(xiàn)硬沖擊向軟著路的轉(zhuǎn)變，成為加載裝備設(shè)計中的一個關(guān)鍵技術(shù)問題?，F(xiàn)有對微電子器件進行加載的加載裝備主要分為微驅(qū)系統(tǒng)加載和電磁力加載兩種，其中，采用微驅(qū)系統(tǒng)置于一臺精密的微力加載裝備中，可以達到精確加載的目的，但是微驅(qū)系統(tǒng)加載過程太慢，只能滿足實驗室研究的目的，無法滿足現(xiàn)代高效精密設(shè)備的發(fā)展；而高速的電磁力加載，雖然響應(yīng)快，但存在加載沖擊問題。

實用新型內(nèi)容

本實用新型要解決的技術(shù)問題是克服現(xiàn)有技術(shù)存在的不足，提供一種結(jié)構(gòu)簡單緊湊、響應(yīng)靈敏、便于控制、加載無沖擊、可提升測試精準性和可靠性的用于微電子器件的柔性加載測試裝置。

為解決上述技術(shù)問題，本實用新型采用以下技術(shù)方案：

一種用于微電子器件的柔性加載測試裝置，包括測試工具頭和用于驅(qū)動測試工具頭的往復(fù)運動的驅(qū)動機構(gòu)，所述測試工具頭通過一柔性加載組件與驅(qū)動機構(gòu)的驅(qū)動端相連，所述柔性加載組件包括與測試工具頭相連的滑軸以及與驅(qū)動機構(gòu)相連的缸體，所述缸體具有一填充有磁流變液的內(nèi)腔，所述滑軸貫穿所述內(nèi)腔并與缸體滑動密封配合，所述滑軸上繞設(shè)有一組以上內(nèi)線圈組，所述缸體的外部繞設(shè)有一組以上外線圈組，所述柔性加載組件還包括用于向各內(nèi)線圈組和各外線圈組通入線性電流的電源，所有內(nèi)線圈組和所有外線圈組的電流方向繞滑軸軸線相同。

上述的柔性加載測試裝置，優(yōu)選的，所述缸體的外部繞設(shè)有兩組外線圈組，兩組外線圈組在滑軸滑動方向上間隔布置。

上述的柔性加載測試裝置，優(yōu)選的，在滑軸滑動方向上，兩組外線圈組分別自缸體的兩個端部向缸體的中部延伸。

上述的柔性加載測試裝置，優(yōu)選的，所述滑軸上繞設(shè)有一組內(nèi)線圈組，兩組外線圈組在滑軸滑動方向上分設(shè)于所述內(nèi)線圈組的兩端，且兩組外線圈組與所述內(nèi)線圈組在滑軸滑動方向上均具有間距。

上述的柔性加載測試裝置，優(yōu)選的，所述滑軸上設(shè)有位于內(nèi)腔中并與缸體內(nèi)壁配合限制滑軸滑動行程的限位部。

上述的柔性加載測試裝置，優(yōu)選的，所述限位部為一直徑大于滑軸直徑的圓柱體，且圓柱體的軸線與滑軸的軸線重合，所述內(nèi)線圈組繞設(shè)于所述圓柱體上。

上述的柔性加載測試裝置，優(yōu)選的，所述圓柱體具有分別與內(nèi)線圈組兩端相抵以阻止內(nèi)線圈組沿圓柱體移動的凸環(huán)部。

上述的柔性加載測試裝置，優(yōu)選的，所述滑軸具有內(nèi)部通道，所述內(nèi)線圈組的兩端穿過所述內(nèi)部通道延伸至缸體外部并與電源相連。

上述的柔性加載測試裝置，優(yōu)選的，所述磁流變液為納米磁性材料復(fù)合磁流變液。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型的優(yōu)點在于：本實用新型用于微電子器件的柔性加載測試裝置中，測試工具頭通過柔性加載組件與驅(qū)動機構(gòu)的驅(qū)動端相連，在進行加載時，柔性加載組件的內(nèi)線圈組和外線圈組通電產(chǎn)生磁場，使內(nèi)腔中的納米磁流變液磁性固化形成磁流體，測試工具頭的加載力通過滑軸轉(zhuǎn)化為沿軸向剪切磁流體的柔性剪切力，通過滑軸剪切磁流體，能夠緩沖加載時的沖擊和振動，從而達到柔性加載的目的，實現(xiàn)高性能的電學(xué)信號測試。同時，由于柔性加載組件的滑軸和缸體外部分別繞設(shè)有內(nèi)線圈組和外線圈組，通過電源向內(nèi)線圈組和外線圈組通入繞滑軸軸線電流方向相同的線性電流，能夠得到內(nèi)外強化磁場，在保證結(jié)構(gòu)尺寸更小和更緊湊的前提下，可獲得更大的磁場強度，進而滿足實際加載載荷的要求。該柔性加載測試裝置具有響應(yīng)快速、可實現(xiàn)智能控制的特點，利于提升測試的精準性和可靠性，滿足當代IC芯片或晶圓片等微電子器件高性能測試評估要求。

附圖說明

圖1為柔性加載測試裝置的主視圖的局部剖視圖。

圖2為柔性加載組件的放大圖的局部剖視圖。

圖例說明：

1、測試工具頭；2、驅(qū)動機構(gòu)；3、柔性加載組件；31、滑軸；32、缸體；321、內(nèi)腔；33、內(nèi)線圈組；34、外線圈組；35、電源；36、圓柱體；361、凸環(huán)部。

具體實施方式

以下結(jié)合附圖和具體實施例對本實用新型作進一步詳細說明。