[實用新型]用于微電子器件的柔性加載測試裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201720959219.3
• 申請日: 2017-08-03
• 公開（公告）號: CN207037025U
• 公開（公告）日: 2018-02-23
• 發(fā)明（設計）人: 李拉香格;李軍輝;劉小鶴;何虎;朱文輝;彭啟發(fā)
• 申請（專利權(quán)）人: 中南大學;湖南建之達節(jié)能科技有限公司
• 主分類號: G01R31/28
• 分類號: G01R31/28;G01R31/26
• 代理公司: 長沙朕揚知識產(chǎn)權(quán)代理事務所(普通合伙)43213
• 代理人: 鄧宇

1.一種用于微電子器件的柔性加載測試裝置，包括測試工具頭（1）和用于驅(qū)動測試工具頭（1）的往復運動的驅(qū)動機構(gòu)（2），其特征在于：所述測試工具頭（1）通過一柔性加載組件（3）與驅(qū)動機構(gòu)（2）的驅(qū)動端相連，所述柔性加載組件（3）包括與測試工具頭（1）相連的滑軸（31）以及與驅(qū)動機構(gòu)（2）相連的缸體（32），所述缸體（32）具有一填充有磁流變液的內(nèi)腔（321），所述滑軸（31）貫穿所述內(nèi)腔（321）并與缸體（32）滑動密封配合，所述滑軸（31）上繞設有一組以上內(nèi)線圈組（33），所述缸體（32）的外部繞設有一組以上外線圈組（34），所述柔性加載組件（3）還包括用于向各內(nèi)線圈組（33）和各外線圈組（34）通入線性電流的電源（35），所有內(nèi)線圈組（33）和所有外線圈組（34）的電流方向繞滑軸（31）軸線相同。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的柔性加載測試裝置，其特征在于：所述缸體（32）的外部繞設有兩組外線圈組（34），兩組外線圈組（34）在滑軸（31）滑動方向上間隔布置。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的柔性加載測試裝置，其特征在于：在滑軸（31）滑動方向上，兩組外線圈組（34）分別自缸體（32）的兩個端部向缸體（32）的中部延伸。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的柔性加載測試裝置，其特征在于：所述滑軸（31）上繞設有一組內(nèi)線圈組（33），兩組外線圈組（34）在滑軸（31）滑動方向上分設于所述內(nèi)線圈組（33）的兩端，且兩組外線圈組（34）與所述內(nèi)線圈組（33）在滑軸（31）滑動方向上均具有間距。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的柔性加載測試裝置，其特征在于：所述滑軸（31）上設有位于內(nèi)腔（321）中并與缸體（32）內(nèi)壁配合限制滑軸（31）滑動行程的限位部。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的柔性加載測試裝置，其特征在于：所述限位部為一直徑大于滑軸（31）直徑的圓柱體（36），且圓柱體（36）的軸線與滑軸（31）的軸線重合，所述內(nèi)線圈組（33）繞設于所述圓柱體（36）上。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的柔性加載測試裝置，其特征在于：所述圓柱體（36）具有分別與內(nèi)線圈組（33）兩端相抵以阻止內(nèi)線圈組（33）沿圓柱體（36）移動的凸環(huán)部（361）。

8.根據(jù)權(quán)利要求1至7中任一項所述的柔性加載測試裝置，其特征在于：所述滑軸（31）具有內(nèi)部通道，所述內(nèi)線圈組（33）的兩端穿過所述內(nèi)部通道延伸至缸體（32）外部并與電源（35）相連。

9.根據(jù)權(quán)利要求1至7中任一項所述的柔性加載測試裝置，其特征在于：所述磁流變液為納米磁性材料復合磁流變液。