[實用新型]一種藍寶石襯底片雙面拋光裝置

有效

• 申請號: 201720959000.3
• 申請日: 2017-08-02
• 公開（公告）號: CN207372924U
• 公開（公告）日: 2018-05-18
• 發明（設計）人: 向齊濤;沈思情;劉浦鋒;宋洪偉;陳猛
• 申請（專利權）人: 上海超硅半導體有限公司
• 主分類號: B24B29/02
• 分類號: B24B29/02
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司 11332
• 代理人: 鞏克棟

1.一種藍寶石襯底片雙面拋光裝置，其特征在于，所述裝置由上至下依次包括上拋光組件、拋光定位模板(1)和下拋光組件；其中上拋光組件包括拋頭(2)，拋頭(2)頂部設有拋頭固定器件(3)以及與拋頭固定器件(3)相連的氣缸轉動軸承(4)，拋頭(2)兩端設有貫通拋頭(2)的磨料進入口(5)；所述下拋光組件包括磨盤(6)和拋光承載臺(7)，磨盤(6)置于拋光承載臺(7)上，所述拋光承載臺(7)下方中部設有轉動軸承(8)，所述拋光承載臺(7)一側設有貫通拋光承載臺(7)的磨料回收管道(9)。

2.根據權利要求1所述的藍寶石襯底片雙面拋光裝置，其特征在于，所述磨料進入口(5)上方設有磨料輸送管(10)。

3.根據權利要求1所述的藍寶石襯底片雙面拋光裝置，其特征在于，所述拋光定位模板(1)通過模板固定器件(11)固定于拋光組件和承載組件之間。

4.根據權利要求3所述的藍寶石襯底片雙面拋光裝置，其特征在于，所述拋光定位模板(1)與模板固定器件(11)之間通過齒輪咬合。

5.根據權利要求1所述的藍寶石襯底片雙面拋光裝置，其特征在于，所述拋頭(2)和磨盤(6)上均貼有拋光布。