[實用新型]一種藍寶石襯底片雙面拋光裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201720959000.3 | 申請日： | 2017-08-02 |
| 公開（公告）號： | CN207372924U | 公開（公告）日： | 2018-05-18 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 向齊濤;沈思情;劉浦鋒;宋洪偉;陳猛 | 申請（專利權(quán)）人： | 上海超硅半導體有限公司 |
| 主分類號： | B24B29/02 | 分類號： | B24B29/02 |
| 代理公司： | 北京品源專利代理有限公司 11332 | 代理人： | 鞏克棟 |
| 地址： | 201604 上海市松*** | 國省代碼： | 上海;31 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 藍寶石 襯底 雙面 拋光 裝置 | ||
1.一種藍寶石襯底片雙面拋光裝置，其特征在于，所述裝置由上至下依次包括上拋光組件、拋光定位模板(1)和下拋光組件；其中上拋光組件包括拋頭(2)，拋頭(2)頂部設(shè)有拋頭固定器件(3)以及與拋頭固定器件(3)相連的氣缸轉(zhuǎn)動軸承(4)，拋頭(2)兩端設(shè)有貫通拋頭(2)的磨料進入口(5)；所述下拋光組件包括磨盤(6)和拋光承載臺(7)，磨盤(6)置于拋光承載臺(7)上，所述拋光承載臺(7)下方中部設(shè)有轉(zhuǎn)動軸承(8)，所述拋光承載臺(7)一側(cè)設(shè)有貫通拋光承載臺(7)的磨料回收管道(9)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的藍寶石襯底片雙面拋光裝置，其特征在于，所述磨料進入口(5)上方設(shè)有磨料輸送管(10)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的藍寶石襯底片雙面拋光裝置，其特征在于，所述拋光定位模板(1)通過模板固定器件(11)固定于拋光組件和承載組件之間。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的藍寶石襯底片雙面拋光裝置，其特征在于，所述拋光定位模板(1)與模板固定器件(11)之間通過齒輪咬合。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的藍寶石襯底片雙面拋光裝置，其特征在于，所述拋頭(2)和磨盤(6)上均貼有拋光布。
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